Beschwerdekammern des Europäischen Patentamts Entscheidung vom 03.03.2020 – T 1534/18

Beschwerde-Aktenzeichen: T 1534/18 - 3.4.02

E N T S C H E I D U N G

der Technischen Beschwerdekammer 3.4.02 vom 3. März 2020 Beschwerdeführer:

(Anmelder) Vertreter:

Robert Bosch GmbH Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) Robert Bosch GmbH C/IPE Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) Angefochtene Entscheidung:

Zusammensetzung der Kammer:

Vorsitzender Mitglieder:

R. Bekkering A. Hornung B. Müller Entscheidung der Prüfungsabteilung des Europäischen Patentamts, die am 20. März 2018 zur Post gegeben wurde und mit der die europäische Patentanmeldung Nr. 09761542.1 aufgrund des Artikels 97 (2) EPÜ zurückgewiesen worden ist.

Sachverhalt und Anträge

I. Die Anmelderin hat Prüfungsabteilung über Patentanmeldung Nr. Prüfungsabteilung gegen Entscheidung der die Zurückweisung der europäischen 09761542.1 war die zur Beschwerde Auffassung eingelegt. gekommen, dass Die die Erfordernisse der Artikel 84, 54(1) und 56 EPÜ nicht erfüllt sind.

II. Mit der Beschwerdebegründung beantragte die Anmelderin - die Aufhebung der angefochtenen Entscheidung und die Erteilung eines Patents auf Grundlage der Ansprüche, die der angefochtenen Entscheidung zugrunde lagen, sowie die Rückerstattung der Beschwerdegebühr, - oder, hilfsweise, die Zurückverweisung der Angelegenheit an die erste Instanz in Verbindung mit einer Rückerstattung der Beschwerdegebühr, - oder, weiter hilfsweise, die Erteilung eines Patents im Umfang geänderter Ansprüche gemäß einem von zwei Hilfsanträgen, bezeichnet als "zweiter Hilfsantrag" bzw. "dritter Hilfsantrag", - oder, noch weiter hilfsweise, die Anberaumung einer mündlichen Verhandlung.

III. Am 20. Januar 2020 rief der Berichterstatter die Anmelderin an, um die Antragslage zu klären (siehe Protokoll vom "konkretisierte" die 24. Januar 2020).

IV. Mit Schreiben Anmelderin vom die 7. Februar 2020 Antragslage dahingehend, dass die angefochtene Entscheidung aufzuheben und die Angelegenheit auf Grundlage des mit "drittem Hilfsantrag" bezeichnetem Anspruchssatzes an die erste Instanz zurückzuverweisen sei (Hauptantrag). Hilfsweise beantragte sie einen Termin zur mündlichen Verhandlung zu bestimmen.

Mit Schreiben vom 11. Februar 2020 stellte die Anmelderin klar, dass die Anträge durch mit die der Beschwerdebegründung mit dem Schreiben vom gestellten 7. Februar 2020 gestellten Anträge zu ersetzen sind.

V. Der Wortlaut des Anspruchs 1 gemäß Hauptantrag lautet:

"Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement mit den Schritten:

Bereitstellen eines Siliziumwafers (Wl; Wl'; Wl''; Wl''') mit einer Vielzahl von Halbleiterchips (SC1, SC2, SC3; SC2''; SC1''', SC2'''; SC3'''), wobei der Siliziumwafer eine erste vorderseitige Oberfläche (V1; V1'; V1''; V1''') und eine erste rückseitige Oberfläche (R1; R1'; R1''; R1''') aufweist; Bereitstellen eines Edelstahlwafers (W2; W2') mit einer entsprechenden Vielzahl von Trägersubstraten (SS1, SS2, SS3; SS1''', SS2''', SS3'''), wobei der Edelstahlwafer eine zweite vorderseitige Oberfläche (V2; V2''') und eine zweite rückseitige Oberfläche (R2; R2''') aufweist; Aufbringen einer strukturierten Haftvermittlungsschicht (SG) auf die V1''') erste vorderseitige und/oder die zweite Oberfläche (V1; V1'; V1''; vorderseitige Oberfläche (V2; V2'''), welche Ausgasungskanäle (SK, KG) aufweist; Ausrichten der ersten vorderseitigen Oberfläche (V1; V1'; V1''; V1''') und der zweiten vorderseitige Oberfläche (V2; V2''') entsprechend einer Vielzahl von mikromechanischen Bauelementen, welche jeweils einen Halbleiterchip (SC1, SC2, SC3; SC2''; SC1''', SC2'''; SC3''') und ein entsprechendes Trägersubstrat (SS1, SS2, SS3; SS1''', SS2''', SS3''') aufweisen; Verbinden der ersten vorderseitigen Oberfläche (V1; V1'; V1''; V1''') und der zweiten vorderseitigen Oberfläche (V2; V2''') über die strukturierte Haftvermittlungsschicht (SG) unter Anlegen von Druck derart, dass jeder Halbleiterchip (SC1, SC2, SC3; SC2''; SC1''', SC2'''; SC3''') mit einem entsprechenden SS2''', Trägersubstrat SS3''') (SS1, entsprechend SS2, einem SS3; SS1''', jeweiligen mikromechanischen Bauelement verbunden wird, wobei ein Gas der Umgebungsatmosphäre durch die Ausgasungskanäle (SK, KG) nach außerhalb entweichen kann; Vereinzeln der mikromechanischen Bauelemente".

1. Hauptantrag 1.1 Klarheit 1.1.1 Gemäß der angefochtenen Entscheidung, Punkte 10.1 bis 10.4, waren die Ansprüche 1 bis 15 des damals vorliegenden Anspruchssatzes nicht klar hinsichtlich der Bedeutung des Begriffs "Verbund". In den Ansprüchen 1 bis 11 des vorliegenden Anspruchssatzes befindet sich der Begriff "Verbund" nicht mehr, da er durch die Begriffe "Siliziumwafer" bzw. "Edelstahlwafer" ersetzt wurde.

1.1.2 Gemäß der der angefochtenen Entscheidung, Punkte 10.5 bis 10.9, war der unabhängige Vorrichtungsanspruch 14 des damals vorliegenden Merkmale Anspruchssatzes "strukturierte nicht klar, weil dessen Haftvermittelungsschicht" und "lunkerfrei" einander widersprüchlich gegenüberstanden. Alle Vorrichtungsansprüche, inklusive unabhängigen Vorrichtungsanspruchs vorliegendem Anspruchsatz befindet sich der 14, damaligen wurden gestrichen.

Darüber Begriff "lunkerfrei" 1 bis 11 in der Verfahrensansprüchen des nicht des in dem hinaus in den vorliegenden Anspruchssatzes.

1.1.3 Es folgt, dass alle angefochtenen Entscheidung erhobenen Klarheitseinwände durch entsprechende Änderungen in dem Anspruchssatz des vorliegenden Hauptantrags ausgeräumt worden sind.

1.2 Neuheit Gemäß der angefochtenen Entscheidung, Punkte 11.1 bis 11.5, nimmt die Druckschrift WO2005/040747 A1 (D3) die Neuheit des Gegenstands des damaligen Vorrichtungsanspruchs 14 vorweg. Da der damalige unabhängige Vorrichtungsanspruch 14 gestrichen wurde, ist der in der angefochtenen Entscheidung erhobene Neuheitseinwand ebenfalls ausgeräumt.

1.3 Erfinderische Tätigkeit Gemäß der angefochtenen Entscheidung, Punkt 11.6, legt D3 den Gegenstand des damaligen Vorrichtungsanspruchs 15 nahe. Da der damalige Vorrichtungsanspruch 15 gestrichen wurde, ist der in der angefochtenen Entscheidung erhobene Einwand fehlender erfinderischer Tätigkeit ausgeräumt.

1.4 Zurückverweisung an die erste Instanz 1.4.1 Alle Zurückweisungsgründe der angefochtenen Entscheidung wurden durch entsprechende Änderungen in dem vorliegenden Anspruchssatz ausgeräumt. Somit hat die angefochtene Entscheidung keinen Bestand mehr und muss aufgehoben werden.

1.4.2 Da der vorliegende Sachverhalt sich im Vergleich zu demjenigen, auf Grundlage dessen die Prüfungsabteilung ihre Entscheidung traf, grundsätzlich verändert hat, übt die Kammer das ihr von Artikel 111 (1) EPÜ eingeräumte Ermessen dahingehend aus, dass Entscheidung an sie die Angelegenheit zur weiteren die erste Instanz zurückverweist.

Insbesondere geht aus der angefochtenen Entscheidung nicht hervor, inwiefern die Erfordernisse gemäß den Artikeln 84, 123(2), 54 und 56 EPÜ von dem vorliegenden Anspruchssatz erfüllt sind. Dabei wäre hinsichtlich der Patentierbarkeit des beanspruchten Verfahrens der aus dem japanischen Prüfungsverfahren bekannte Stand entsprechenden der Technik, z.B. die Druckschrift JP09-280986, in Betracht zu ziehen. Angesichts des bedeutenden Ausmaßes der ausstehenden Überprüfung liegen "besondere Gründe" im Sinne des Artikels 11 VOBK 2020 vor, die dafür sprechen, die Angelegenheit zur weiteren Entscheidung an die erste Instanz zurückzuverweisen.

2. Rückzahlung der Beschwerdegebühr 2.1 Ursprünglich hatte Beschwerdegebühr die Anmelderin beantragt die Rückerstattung (siehe der Beschwerdebegründung, Seite 6, dritter Absatz). Diesen Antrag hat die Anmelderin mit Schreiben vom 11. Februar 2020 zurückgezogen.

2.2 Bei der möglichen Überprüfung von Amts Verfahrensfehlers wegen durch die hinsichtlich eines Prüfungsabteilung wegen Verletzung des rechtlichen Gehörs kommt die Kammer zu dem folgenden Schluss:

Wie bereits telefonisch am 20. Januar 2020 mit der Anmelderin besprochen, ist die Kammer der Auffassung, dass trotz der Bitte der Anmelderin in ihrem Antwortschreiben vom 15. Mai 2017 "um einen weiteren Bescheid oder eine telefonische Mitteilung" der sofortigen, auf einen ersten Bescheid folgende Zurückweisung der Patentanmeldung die Prüfungsabteilung kein wesentlicher durch Verfahrensfehler anhaftet. Wenigstens der in den Punkten 10.1 bis 10.4 der angefochtenen Entscheidung beschriebene Klarheitseinwand hinsichtlich des Begriffs "Verbund" stützte sich auf Gründe, die der Anmelderin aus dem einzigen Prüfungsbescheid vom 29. März 2017 bekannt gewesen waren. Ein weiterer Bescheid oder eine telefonische Mitteilung waren nicht veranlasst, da sich die Anmelderin zu dem besagten Klarheitseinwand in ihrem vorgenannten Schreiben vom 15. Mai 2017 geäußert hat (siehe dort, Seite 1 unten bis Seite 3 oben). Sie hat im Übrigen während des erstinstanzlichen Verfahrens keine mündliche Verhandlung beantragt. Insbesondere ist die obige Bitte der Anmelderin "um einen weiteren Bescheid oder eine telefonische Mitteilung" nicht als Antrag auf mündliche Verhandlung zu werten. Es folgt, dass das rechtliche Gehör durch die sofortige, auf einen ersten Bescheid folgende Zurückweisung nicht verletzt wurde.

Auch sonstige Verfahrensfehler sind erkennbar. Insgesamt Verfahrensfehler vor, für die Kammer liegt daher kein der eine Rückerstattung Beschwerdegebühr rechtfertigen würde.

Entscheidungsformel

Aus diesen Gründen wird entschieden:

nicht wesentlicher der 1. Die angefochtene Entscheidung wird aufgehoben.

2. Die Angelegenheit wird an die erste Instanz zur weiteren Entscheidung zurückverwiesen. Die Geschäftsstellenbeamtin:

Der Vorsitzende:

M. Kiehl R. Bekkering