{"status":"available","ecli":"ECLI:DE:BGH:2020:221020UXZR163.18.0","court":"BGH","senate":"10. Zivilsenat","decided":"2020-10-22","aktenzeichen":"X ZR 163/18","doktyp":"Urteil","leitsatz":null,"text_plain":"BUNDESGERICHTSHOF\nIM NAMEN DES VOLKES\nURTEIL\nX ZR 163/18\n\nVerkündet am:\n22. Oktober 2020\nAnderer\nJustizangestellte\nals Urkundsbeamtin\nder Geschäftsstelle\n\nin der Patentnichtigkeitssache\n\nECLI:DE:BGH:2020:221020UXZR163.18.0\n\nDer X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat auf die mündliche Verhandlung\nvom 22. Oktober 2020 durch den Vorsitzenden Richter Dr. Bacher, die\nRichterinnen Dr. Kober-Dehm, Dr. Marx und Dr. Rombach sowie den Richter\nDr. Rensen\n\nfür Recht erkannt:\n\nDie Berufung gegen das Urteil des 3. Senats (Nichtigkeitssenats)\ndes Bundespatentgerichts vom 10. April 2018 wird auf Kosten der\nKlägerin zurückgewiesen.\n\nVon Rechts wegen\n\nTatbestand:\n\n1 Die Beklagte ist Inhaberin des mit Wirkung für die Bundesrepublik\nDeutschland erteilten europäischen Patents 1 412 307 (Streitpatents), das am\n5. September 2002 unter Inanspruchnahme der Priorität einer deutschen Patentanmeldung vom 1. Oktober 2001 angemeldet wurde und ein Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien betrifft. Patentanspruch 1, auf\nden 24 weitere Ansprüche zurückbezogen sind, lautet in der Verfahrenssprache:\n\nVerfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere\nMetall-Keramik-Substraten, bei dem (Verfahren) als Verbindungskomponenten\nwenigstens ein vorzugsweises plattenförmiges Keramiksubstrat mit einer oxidierten Metallfolie verbunden wird, und zwar durch Erhitzen unter Schutzgas auf eine\nProzesstemperatur, die unterhalb des Schmelzpunkts des Metalls der Metallfolie\nliegt, aber wenigstens gleich der Schmelztemperatur des von der Oxidschicht gebildeten Eutektikums ist, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine\nKeramiksubstrat und die mit diesem zu verbindende wenigstens eine Metallfolie\nwährend des Verfahrens in einem von einer Kapsel (1, 1a, 1b, 1c) gebildeten\nReaktionsraum (8, 8c) mit einer inneren Schutzgasatmosphäre untergebracht\nsind, die durch die Kapsel (1, 1a, 1b, 1c) von einer diese Kapsel umgebenden\näußeren Schutzgasatmosphäre getrennt ist.\n\nDie Klägerin hat das Streitpatent wegen nicht ausführbarer Offenbarung\n2 und fehlender Patentfähigkeit angegriffen. Die Beklagte hat das Streitpatent wie\nerteilt und mit drei Hilfsanträgen in geänderten Fassungen verteidigt.\n\n3 Das Patentgericht hat die Klage abgewiesen. In der Berufung verfolgt die\nKlägerin ihr erstinstanzliches Begehren weiter. Die Beklagte tritt dem Rechtsmittel entgegen. Hilfsweise verteidigt sie das Schutzrecht in der Fassung der erstinstanzlichen Hilfsanträge.\n\nEntscheidungsgründe:\n\n4 Die zulässige Berufung ist unbegründet.\n\n5 I. Das Streitpatent betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien.\n\n6 1. Nach den Ausführungen in der Streitpatentschrift waren im Stand\nder Technik verschiedene Verfahren etabliert, um Metall mit Keramik ohne Zwischenschicht zu verbinden (Direct Bonding).\n\n7 Ein Beispiel hierfür sei das Direct Copper Bonding (DCB), bei dem Kupfer\ndirekt mit einer Keramik verbunden werde. Dieses Verfahren werde aufgrund seiner guten Wärmeleitfähigkeit häufig in der Leistungselektronik eingesetzt und\nfinde sich in einer Vielzahl von Anwendungen wieder, etwa in elektrischen Antriebssystemen von Kraftfahrzeugen, Liften und Zügen.\n\n8 Beim Direct-Bonding-Verfahren würden die beiden zu verbindenden Komponenten auf eine Prozesstemperatur gebracht, bei der eine mit Hilfe eines reaktiven Gases erzeugte Oberflächenschicht des Metalls schmelze und die Keramik benetze. Beim anschließenden Abkühlen stelle die aufgeschmolzene Schicht\neine Verbindung zwischen Metall und Keramik her. Die Oberflächenschicht des\nMetalls wirke als Eutektikum, so dass die Prozesstemperatur beim Verbinden\nunterhalb der Schmelztemperatur des Metalls liege (Abs. 2).\n\n9 Beim Einsatz von Kupfer könne die Oberflächenschicht zum Beispiel\ndurch Oxidation in einer Sauerstoff enthaltenden Schutzgasatmosphäre aufgebracht werden, sei es in unmittelbarem Zusammenhang mit dem Bonding-Vorgang, sei es in einem separaten Verfahrensschritt. Bei bekannten Verfahren liege\nder Sauerstoffgehalt der Schutzgasatmosphäre weit über dem Gleichgewichtsgehalt des Systems Kupfer-Sauerstoff (Abs. 7), der im Bereich zwischen 2 und\n6 ppm liege (Abs. 13). Dies führe dazu, dass während des Bonding-Vorgangs\neine Nachoxidation stattfinde (Abs. 14).\n\n10 2. Der Erfindung liegt vor diesem Hintergrund das technische Problem zugrunde, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem Qualitätsverluste\ndurch eine Nachoxidation während des Bonding-Vorgangs möglichst vermieden\nwerden.\n\n11 3. Zur Lösung schlägt Patentanspruch 1 ein Verfahren vor, dessen\nMerkmale sich wie folgt gliedern lassen:\n\n1. Das Verfahren dient dem Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten.\n\n2. Wenigstens ein vorzugsweise plattenförmiges Keramiksubstrat wird mit einer oxidierten Metallfolie verbunden, und zwar\n\n2.1 durch Erhitzen unter Schutzgas\n\n2.1.1 auf eine Prozesstemperatur, die unterhalb des Schmelzpunkts\ndes Metalls der Metallfolie liegt, aber wenigstens gleich der\nSchmelztemperatur des von der Oxidschicht gebildeten\nEutektikums ist.\n\n2.2 Das wenigstens eine Keramiksubstrat und die mit diesem zu\nverbindende wenigstens eine Metallfolie sind während des\nVerfahrens in einem von einer Kapsel gebildeten Reaktionsraum mit einer inneren Schutzgasatmosphäre untergebracht.\n\n2.2.1 Die innere Schutzgasatmosphäre ist durch die Kapsel von\neiner diese umgebenden äußeren Schutzgasatmosphäre getrennt.\n\n12 4. Einige Merkmale bedürfen näherer Betrachtung.\n\n13 a) Schutzgas im Sinn von Merkmal 2.1 ist ein Gas oder Gasgemisch,\ndas unerwünschten chemischen Reaktionen aufgrund des Vorhandenseins von\nLuft entgegenwirkt.\n\n14 Bei dem in der Streitpatentschrift geschilderten Ausführungsbeispiel wird\ndas Schutzgas dazu eingesetzt, die im Ofen und in der Kapsel vorhandene Luft,\nvor allem den darin enthaltenen Sauerstoff zu verdrängen (Abs. 20 Z. 36-37;\nAbs. 23). Auf welche Weise dies geschieht, insbesondere welche Gase und\nDruckverhältnisse für diesen Zweck eingesetzt werden, bleibt nach Patentanspruch 1 dem Fachmann überlassen.\n\n15 Entgegen der Auffassung der Berufung darf die Entfernung der Luft jedoch\nnicht allein dadurch geschehen, dass ein Vakuum hergestellt, also der Druck auf\neinen sehr geringen Wert reduziert wird. Zwar könnte möglicherweise auch auf\ndiesem Weg die vom Streitpatent angestrebte Reduzierung des Sauerstoffgehalts erreicht werden. Patentanspruch 1 sieht zur Erreichung dieses Zwecks aber\nein bestimmtes Mittel vor, nämlich den Einsatz von Schutzgas. Daraus ergibt\nsich, dass ein bloßes Entfernen der vorhandenen Luft nicht ausreicht, sondern\ndie vorhandene Luft jedenfalls zum Teil durch andere Gase ersetzt werden muss.\n\n16 Dass die Beschreibung des Streitpatents bei der Darstellung des Stands\nder Technik auch Verfahren erwähnt, bei denen ein Vakuum eingesetzt wird, führt\nnicht zu einer abweichenden Beurteilung. Der Umstand, dass in diesem Zusammenhang sowohl Verfahren unter Vakuum als auch Verfahren unter Schutzgasatmosphäre angeführt werden, Patentanspruch 1 hingegen ein Verfahren unter\nSchutzatmosphäre vorgibt, bestätigt vielmehr das oben aufgezeigte Auslegungsergebnis.\n\n17 b) Die in Merkmal 2.2 formulierte Anforderung, dass Keramiksubstrat\nund Metallfolie während des Verfahrens in einer Kapsel mit einer inneren Schutzgasatmosphäre untergebracht sind, bezieht sich lediglich auf den Zeitraum, in\ndem die Materialien auf die für den Bonding-Vorgang eingesetzte Prozesstemperatur erhitzt werden, und den nachfolgenden Zeitraum, in dem der Bonding-Vorgang stattfindet. Für eine eventuell vorgelagerte Phase, in dem die Materialien zunächst auf eine niedrigere Temperatur aufgeheizt werden, und für die dem\n\nBonding-Vorgang nachgelagerte Abkühlphase ergeben sich aus diesem Merkmal deshalb entgegen der Auffassung des Patentgerichts keine zwingenden Vorgaben.\n\n18 aa) Für diese Auslegung spricht, wie die Berufung zu Recht geltend\nmacht, der Wortlaut des Anspruchs.\n\n19 Die genannte Anforderung bezieht sich auf die Dauer des geschützten\nVerfahrens. Das Verfahren des Verbindens erfolgt durch Erhitzen unter Schutzgas auf die gewünschte Prozesstemperatur (Merkmal 2.1). Demgemäß gehören\nzu diesem Verfahren nach Patentanspruch 1 nur die Phase des Aufheizens auf\ndie Prozesstemperatur und der Bonding-Vorgang selbst.\n\n20 bb) Aus der Beschreibung können keine weitergehenden Festlegungen\nabgeleitet werden.\n\n21 Das in der Beschreibung geschilderte Ausführungsbeispiel umfasst zwar\nals weiteren Verfahrensschritt das Abkühlen der Kapsel und der darin aufgenommenen Komponenten, und zwar ebenfalls unter Schutzgas (Abs. 19 Z. 31-33).\nDieser Verfahrensschritt hat in Patentanspruch 1 aber keinen Niederschlag gefunden. Angesichts dessen bildet die in Rede stehende Passage der Beschreibung keine taugliche Grundlage für eine einschränkende Auslegung des Patentanspruchs.\n\n22 cc) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts und der Beklagten\nspricht Patentanspruch 24 nicht für, sondern gegen eine einschränkende Auslegung von Patentanspruch 1.\n\n23 Der auf Patentanspruch 1 zurückbezogene Patentanspruch 24 sieht als\nergänzende Merkmale vor, dass in einem Durchlaufofen vor dem Bonding-Vorgang bzw. vor dem Erhitzen auf die Prozesstemperatur eine Aufheizung der Kapsel erfolgt und nach dem Bonding-Vorgang eine Abkühlung, und zwar jeweils in\nder äußeren Schutzgasatmosphäre.\n\n24 Entgegen der Auffassung der Beklagten konkretisiert dieser Anspruch den\nGegenstand von Patentanspruch 1 nicht nur dahin, dass die Heiz- und Abkühlvorgänge in einem Durchlaufofen stattfinden. Er sieht mit dem vorgelagerten Aufheiz- und dem nachgelagerten Abkühlvorgang vielmehr zwei zusätzliche Verfahrensschritte vor. Daraus ist zu folgern, dass diese Schritte nicht zwingend zu dem\nin Patentanspruch 1 geschützten Verfahren gehören.\n\n25 c) Die in Merkmal 2.2.1 vorgesehene Trennung der inneren von der\näußeren Schutzgasatmosphäre durch die in Merkmal 2.2 vorgesehene Kapsel\nmuss nicht zwingend so ausgestaltet sein, dass ein Gasaustausch nicht mehr\nstattfinden darf. Erforderlich und ausreichend ist vielmehr, dass ein Gasaustausch so weit unterbunden wird, dass der Sauerstoffgehalt in der inneren\nSchutzgasatmosphäre näher am Gleichgewichtswert ist als in der äußeren\nSchutzgasatmosphäre.\n\n26 aa) Nach der Beschreibung kann die Trennung nicht nur durch eine\nvollständige Kapselung (Abs. 31) erfolgen, sondern auch durch eine Kapselung,\nbei der nur ein Teil der von der Kapsel umspannten Oberfläche geschlossen ist.\nAls bevorzugt wird eine Kapselung von 60-95 % bezeichnet (Abs. 26 Z. 27). Die\nAuswahl des konkreten Kapselungsgrads bleibt dem Fachmann überlassen. Besondere Bedeutung wird dem Zusammenhang zwischen dem Kapselungsgrad\nund dem Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre beigemessen. So\nwerden beispielhaft folgende Kombinationen als geeignet angeführt (Abs. 27):\n\nKapselung Sauerstoffgehalt\n60 bis 80 % 2 bis 20 ppm\n80 bis 95 % 50 bis 200 ppm oder 1 bis 20 ppm\nÜber 95 % Über 200 ppm oder unter 20 ppm\n\n27 Zur Erläuterung wird ausgeführt, mit zunehmendem Aufheizen der Kapsel\nnehme die Rate der Diffusion zwischen äußerer und innerer Schutzgasat-\n\nmosphäre ab. Deshalb trete auch dann eine Trennung oder nahezu eine Trennung der beiden Atmosphären ein, wenn die Kapsel Öffnungen aufweise\n(Abs. 26).\n\n28 bb) Vor diesem Hintergrund sind die Merkmale 2.2 und 2.2.1 dahin auszulegen, dass nicht die Gasdurchlässigkeit der Kapsel als solche ausschlaggebend ist, sondern die Möglichkeit eines Gasaustauschs während des Aufheizens\nauf die Prozesstemperatur und während des Bonding-Vorgangs. Diese Möglichkeit muss so weit unterbunden werden, dass der Sauerstoffgehalt der inneren\nSchutzgasatmosphäre näher an dem angestrebten Gleichgewichtswert ist als\nderjenige der äußeren Schutzgasatmosphäre.\n\n29 Mit welchen Mitteln diese Funktion verwirklicht wird, überlässt das Streitpatent dem Fachmann. Aus den oben wiedergegebenen Ausführungen zum Zusammenhang zwischen Kapselungsgrad und Sauerstoffgehalt ergibt sich als\neine mögliche Vorgehensweise, den Kapselungsgrad umso höher zu wählen, je\nweiter der Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre von dem angestrebten Zielwert abweicht. Patentanspruch 1 sieht diese Vorgehensweise aber\nnicht zwingend vor.\n\n30 cc) Dass die in der Streitpatentschrift gegebene Erklärung, wie auch\ndie Beklagte nicht in Zweifel zieht, unzutreffend ist, die Diffusionsrate mit zunehmender Temperatur vielmehr steigt, führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n31 Diese Erklärung hat in Patentanspruch 1 keinen Niederschlag gefunden.\nDieser lässt gerade offen, auf welche Weise und mit Hilfe welches naturwissenschaftlichen Effekts der Fachmann die vorgegebene Trennung bewirkt.\n\n32 Darüber hinaus enthält die Beschreibung Hinweise auf eine andere Möglichkeit, um die Trennung zu erreichen, nämlich die Strömungsrichtung des zugeführten Schutzgases. Hierzu wird ausgeführt, der Effekt könne durch eine gezielte Stromführung der äußeren Schutzgasatmosphäre verstärkt werden, und\n\nzwar dadurch, dass am Anfang zum Spülen die Strömung auf die Öffnungen der\njeweiligen Kapsel gerichtet sei, beim eigentlichen Bonding-Vorgang hingegen auf\ndie geschlossene Fläche der Kapsel (Abs. 23 Z. 3-6).\n\n33 dd) Patentanspruch 1 legt keinen Mindestgrad für die Kapselung fest.\n\n34 Die erwähnten Bereichsangaben in der Beschreibung umschreiben nur als\nbesonders vorteilhaft angesehene Werte. Im Patentanspruch haben sie keinen\nNiederschlag gefunden.\n\n35 ee) Aus der oben dargestellten Funktion, die der Kapsel nach dem\nStreitpatent zukommt, ergibt sich allerdings, dass die Kapsel das darin untergebrachte Material auf mehreren Seiten umgeben muss.\n\n36 Dies steht in Einklang mit den Ausführungsbeispielen, die in den Figuren\n1, 3, 4 und 5 dargestellt sind. In den Figuren 3 und 4 weisen die Seitenwände\nzwar zunehmend größere Aussparungen auf und in Figur 5 sind Boden und Deckel nur noch durch vier in den Eckbereichen angebrachte Stützen miteinander\nverbunden. Dennoch umgibt die Kapsel das darin angeordnete Material von allen\nSeiten, wenn auch nicht überall vollflächig.\n\n37 II. Das Patentgericht hat seine Entscheidung im Wesentlichen wie\nfolgt begründet:\n\n38 Der Gegenstand von Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung sei so\ndeutlich und vollständig offenbart, dass der Fachmann, ein Ingenieur der\nMaterialwissenschaften mit mehrjähriger Erfahrung auf dem Gebiet der Leiterplattentechnologie, die Erfindung ausführen könne. Die Streitpatentschrift gebe\nfür die Trennung der inneren und äußeren Atmosphäre eine Kapsel vor, die zumindest zu 60 % geschlossen sei. Damit sei es dem Fachmann möglich, die erfindungsgemäße Lehre auch im Hinblick auf die Merkmalsgruppe 2.2 auszuführen. Für die Realisierung der Trennung seien in der Streitpatentschrift mit den\nAngaben zur Strömungsführung, den Richtwerten für den Sauerstoffgehalt in der\n\näußeren Schutzgasatmosphäre und den angeführten Versuchsergebnissen Parameter genannt, anhand derer die Lehre für den Fachmann ohne weiteres umsetzbar sei. Konkrete Zahlenwerte für die genannten Parameter könne der Fachmann ohne erfinderisches Bemühen auffinden und sich mit Hilfe orientierender\nVersuche Klarheit über deren Größenordnung bei der Durchführung des patentgemäßen Bonding-Verfahrens verschaffen. Die erfindungsgemäße Lehre erfordere keine vollständige Trennung der Atmosphären bei einer teilweise offenen\nKapsel. Der Gasaustausch werde während des Bonding-Prozesses minimiert.\nDie beanspruchte Trennung der Schutzgasatmosphären stelle sich in Folge der\nStrömungsführung und der Regelung des Sauerstoffgehalts in der äußeren\nSchutzgasatmosphäre in Abhängigkeit von dem gewählten Kapselgrad zwangsläufig ein.\n\n39 Der Gegenstand von Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung sei neu.\n\n40 In der japanischen Offenlegungsschrift Hei9-301783 (K4) sei Merkmal 2.2\nnicht offenbart. Metall und Keramiksubstrat seien nur während des Erhitzens auf\neine Temperatur oberhalb der eutektischen Reaktionstemperatur in einer Kapsel\nuntergebracht, nicht aber während des Vorwärmens und Abkühlens. Die japanische Offenlegungsschrift Hei11-60345 (K5) offenbare die Herstellung eines Verbundkörpers aus Keramik- und Metallplatten, in einem Aktivmetall-Hartlöt- oder\nDBC-Verfahren. Die Verbindung erfolge in einem Vakuum, nicht in einer Schutzgasatmosphäre. Die deutsche Offenlegungsschrift 26 33 869 (K6) beschreibe ein\nVerfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien mit Hilfe eines\ndirekten Verbindungsprozesses. Zur Erzielung einer verbesserten Haftfestigkeit\nwerde eine Beschwerung bzw. Einrahmung mit feuerfesten Steinen vorgesehen.\nDiese könnten zwar als kapselförmige Einrahmung aufgefasst werden. Es fehlten\njedoch Angaben, anhand derer der Fachmann eine valide Berechnung des Kapselgrades anstellen könne.\n\n41 Der Gegenstand von Patentanspruch 1 beruhe auch auf erfinderischer Tätigkeit.\n\n42 Die US-amerikanische Patentschrift 4 483 810 (K7) offenbare ein Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien unter Schutzgasatmosphäre mit einem Sauerstoffgehalt von 20 bis 50 ppm. Es fehle jedoch eine\nOffenbarung, die Materialien hierbei in einer Kapsel zu positionieren. Eine solche\nAnregung erhalte der Fachmann nicht aus der japanischen Offenlegungsschrift\nHei5-139849 (K8). Dort sei eine Abdeckung nur für die Herstellung mittels Lötverfahren vorgesehen. Dies veranlasse den Fachmann nicht zur Kapselung bei der\nHerstellung im Direkt-Bonding-Verfahren.\n\n43 Gleiches gelte für die US-amerikanische Patentschrift 4 609 409 (K24).\nDiese betreffe ein Verfahren für die Wärmebehandlung von mit Kupferfilmen beschichteten Keramiken, bei dem die Verbundmaterialien während der Wärmebehandlung in einem Behälter untergebracht seien. Die Kupferfilme würden durch\nstromloses Plattieren, Vakuumverdampfung, Sputtern oder Ionenplattieren erzeugt. Angesichts dessen habe der Fachmann ausgehend von K7 keinen Anlass\ngehabt, auf diese Veröffentlichung zurückzugreifen. Eine andere Betrachtung ergebe sich aus den gleichen Erwägungen auch nicht aus der US-amerikanischen\nPatentschrift 5 741 131 (K3), die ein Stapelsystem für das Sintern von Keramiksubstraten lehre. Gleiches gelte für die japanische Offenlegungsschrift Hei10-\n158073 (K9). Dies betreffe ein Aktivmetall-Hartlötverfahren.\n\n44 Die französische Patentschrift 1 326 156 (K10) offenbare ein Verfahren\nzur Herstellung von keramischen Werkstoffen, bei dem diese in verschiedenen\ngasförmigen Atmosphären behandelt würden. Zur Vereinfachung der bekannten\nVerfahren, bei denen für die jeweilige Atmosphäre ein Ofen benötigt werde,\nschlage die Veröffentlichung die Verwendung von Transportelementen vor, in denen die Werkstoffe durch einen Tunnelofen geleitet würden. Hierdurch bildeten\nsich verschiedene Zonen und Atmosphären mit unterschiedlichen Sauerstoffgehalten innerhalb des Ofens. Dieser liege jedoch mit Werten von 4 % bzw. 14 %\nin einer anderen Größenordnung als beim Direct-Bonding-Verfahren. Der Fachmann werde demgemäß nicht veranlasst, die Transportelemente der K10 in\neinem Verfahren gemäß K7 einzusetzen.\n\n45 Die US-amerikanische Patentschrift 4 860 939 (K13) beschreibe ein\nDirect-Bonding-Verfahren von Kupfer und Aluminium, das in einer Schutzgasatmosphäre stattfinde. Allerdings fehle ein Hinweis auf die Verwendung einer\nKapsel.\n\n46 III. Diese Beurteilung hält den Angriffen der Berufung stand.\n\n47 1. Zu Recht hat das Patentgericht angenommen, dass die Erfindung\nso deutlich und vollständig offenbart ist, dass der Fachmann sie ausführen kann.\n\n48 a) Eine für die Ausführbarkeit hinreichende Offenbarung ist gegeben,\nwenn der Fachmann ohne erfinderisches Zutun und ohne unzumutbare Schwierigkeiten in der Lage ist, die Lehre des Patentanspruchs auf Grund der Gesamtoffenbarung der Patentschrift in Verbindung mit dem allgemeinen Fachwissen\nam Anmelde- oder Prioritätstag praktisch so zu verwirklichen, dass der angestrebte Erfolg erreicht wird (BGH, Urteil vom 11. Mai 2010 - X ZR 51/06, GRUR\n2010, 901 Rn. 31 - Polymerisierbare Zementmischung).\n\n49 b) Diese Anforderungen sind im Streitfall erfüllt.\n\n50 aa) Nach den Feststellungen des Patentgerichts kann der Fachmann\nanhand der in der Patentschrift enthaltenen Hinweise zum Kapselungsgrad, zum\nSauerstoffgehalt und zur Strömungsführung Rahmenbedingungen identifizieren,\nanhand derer er durch Routineversuche geeignete Kapselungen ermitteln kann.\nDiese Feststellungen tragen die vom Patentgericht gezogene Schlussfolgerung,\ndass die Erfindung ausführbar offenbart ist.\n\n51 Dabei kann offenbleiben, ob es für eine ausführbare Offenbarung schon\nausreichend ist, dass, wie auch die Klägerin nicht in Zweifel zieht, eine Trennung\nder Atmosphären durch die Verwendung einer geschlossenen Kapsel erreicht\nwerden kann oder ob der Einsatz einer teilweise offenen Kapsel eine gesondert\nzu bewertende Ausführungsvariante darstellt, für die das Patent ebenfalls einen\n\nausführbaren Weg aufzeigen muss. Aus den genannten Feststellungen des Patentgerichts ergibt sich, dass das Streitpatent auch der zuletzt genannten Anforderung genügt.\n\n52 bb) Die Berufung zeigt keine konkreten Anhaltspunkte auf, die Zweifel\nan der Vollständigkeit und Richtigkeit dieser Feststellungen begründen.\n\n53 (1) Der von der Berufung erhobene Einwand, in einem herkömmlichen\nTunnel- oder Durchlaufofen komme es zwangsläufig zu turbulenten Strömungen,\ndie eine Trennung nicht ermöglichten, ist für die rechtliche Beurteilung unerheblich.\n\n54 Patentanspruch 1 schreibt den Einsatz eines solchen Ofens nicht zwingend vor. Selbst wenn das Vorbringen der Berufung inhaltlich zuträfe, bliebe dem\nFachmann damit die Möglichkeit, einen anderen Ofentyp einzusetzen und - erforderlichenfalls durch modifizierte Anordnung und Ausrichtung der Düsen - die\nStrömung so zu führen, dass im Wesentlichen nur laminare Strömungen auftreten. Dass eine Trennung zumindest bei solchen Strömungen möglich ist, zieht\nauch die Berufung nicht in Zweifel.\n\n55 (2) Der Vortrag der Berufung zu den erstmals in der Berufungsinstanz\nvorgelegten Ergebnissen einer experimentellen Nacharbeitung der in der Beschreibung des Streitpatents geschilderten Beispiele (K27) ist gemäß § 117 PatG\nund § 531 Abs. 2 Nr. 3 ZPO nicht zu berücksichtigen.\n\n56 Das Patentgericht hat bereits in seinem nach § 83 Abs. 1 PatG erteilten\nHinweis mitgeteilt, dass die Ausführbarkeit zu bejahen sein dürfte. Dies gab der\nKlägerin Anlass, ihren Vortrag zur Frage der hinreichenden Offenbarung gegebenenfalls zu ergänzen.\n\n57 Entgegen der Auffassung der Berufung rechtfertigen die Ausführungen\ndes Patentgerichts im angegriffenen Urteil keine abweichende Beurteilung. Das\n\nPatentgericht hat sein Urteil insoweit ausschließlich auf Gesichtspunkte gestützt,\ndie es schon im qualifizierten Hinweis zum Ausdruck gebracht hat.\n\n58 (3) Unabhängig davon führt das ergänzende Vorbringen auch in der\nSache nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n59 Die vorgelegten Untersuchungsergebnisse bestätigen, dass eine hohe Abreißfestigkeit erzielt wird. Dass es in bestimmten Konstellationen zu Oxidationen\nan der Oberfläche kommen kann, ist auch in der Streitpatentschrift vermerkt.\n\n60 (4) Aus der von der Beklagten stammenden internationalen Anmeldung WO 2011/09817 (K18) ergibt sich ebenfalls keine abweichende Beurteilung.\n\n61 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob und inwieweit dieser nach dem Prioritätstag veröffentlichten Entgegenhaltung indizieller Wert für die Ausführbarkeit\nzukommen kann. Abweichend von der Auffassung der Berufung lässt sich der\nEntgegenhaltung jedenfalls nicht entnehmen, dass darin eine Trennung der beiden Atmosphären im Fall einer nur teilweisen Kapselung als nicht möglich angesehen wird.\n\n62 (5) Die bereits oben erwähnten Ausführungen in der Beschreibung des\nStreitpatents zum Zusammenhang zwischen Sauerstoffgehalt und Kapselungsgrad sind entgegen der Auffassung der Berufung nicht in sich sinnwidrig.\n\n63 Wie bereits oben dargelegt wurde, ist diesen Angaben zu entnehmen,\ndass der Kapselungsgrad umso höher sein sollte, je mehr der Sauerstoffgehalt\nder äußeren Schutzgasatmosphäre von dem angestrebten Gleichgewichtswert\nabweicht. Diese Annahme erscheint plausibel, weil ein höherer Kapselungsgrad\neinen geringeren Gasaustausch erwarten lässt.\n\n64 (6) Dass die Patentschrift kein Messverfahren angibt, um die Differenz\ndes Sauerstoffgehalts der beiden Atmosphären zu bestimmen, ist unschädlich.\n\n65 Wie das Patentgericht zutreffend ausgeführt hat, genügt es, wenn eine\nsolche Differenz hergestellt werden kann. Eine Messung ist schon deshalb nicht\nerforderlich, weil Patentanspruch 1 keine bestimmten Werte vorgibt.\n\n66 2. Im Ergebnis zu Recht hat das Patentgericht angenommen, dass der\nGegenstand von Patentanspruch in K4 nicht vollständig offenbart ist.\n\n67 a) K4 offenbart ein Verfahren, bei dem ein Metall direkt mit einem Keramiksubstrat verbunden wird (K4a Abs. 1). Hierfür wird auf das Metall eine Oxidschicht aufgebracht (K4a Abs. 8). Das Erhitzen der Materialien erfolgt in einer\nkombinierten Aufheizvorrichtung 6, die in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 1 (mit übersetzter Beschriftung aus K4a) schematisch dargestellt ist.\n\n68 Die Heizvorrichtung 6 besteht aus einem Durchlaufofen 8 und einer\nMikrowellenvorrichtung 7. Letztere weist zwei Öffnungen 72 und 73 auf, durch\nwelche die Materialien zu- und abgeführt werden können (K4a Abs. 39, 42, 46).\n\n69 In dem Ofen herrscht eine inerte Atmosphäre (K4a Abs. 18, 37) aus Stickstoff und optional Argon mit einem Sauerstoffanteil von 5 bis 20 ppm (K4a\nAbs. 19) bzw. 5 bis 15 ppm (K4a Abs. 37). Zunächst werden die Materialien in\ndem Durchlaufofen 8 vorerwärmt, bevor sie in eine in der Ofenkammer integrierte\nMikrowellenheizvorrichtung 7 eingefahren werden (K4a Abs. 14, 34). Dort werden die Materialien mittels Mikrowellenbestrahlung auf 1075 °C erhitzt (K4a\nAbs. 43). Diese Temperatur ist geringer als der Schmelzpunkt des Metalls, der\nmit 1083 °C angegeben wird, und höher als die Eutektikumtemperatur von\n1065 °C (K4a Abs. 46). Anschließend werden die Materialien aus der Vorrichtung\n7 herausgefahren und zuletzt in der Ofenkammer auf Raumtemperatur abgekühlt\n(K4a Abs. 46).\n\n70 b) Damit sind, wie das Patentgericht unangegriffen angenommen hat,\ndie Merkmale 1, 2, 2.1 und 2.1.1 offenbart.\n\n71 c) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts ist auch Merkmal 2.2\noffenbart.\n\n72 aa) Entgegen der Auffassung der Beklagten bildet das Gehäuse der\nMikrowellenheizvorrichtung 7 eine Kapsel, die die darin befindlichen Produkte\nvon dem umgebenden Raum des Ofens abtrennt.\n\n73 Dass die Kapsel zwei Öffnungen 72 und 73 aufweist, durch die das Material zu- und abgeführt wird, ist unerheblich. Eine erfindungsgemäße Kapsel muss\naus den oben angeführten Gründen nicht vollständig geschlossen sein. Die Darstellung in K4 ermöglicht zwar keine exakte Bemaßung. Sie lässt aber dennoch\nhinreichend deutlich einen Kapselungsgrad erkennen, der innerhalb der in der\nBeschreibung des Streitpatents genannten Größenordnungen liegt.\n\n74 Ob ein Kapselungsgrad von 60 % erreicht wird, ist ebenfalls unerheblich.\nPatentanspruch 1 gibt keinen diesbezüglichen Mindestwert vor.\n\n75 bb) Dass sich das Material nur während der letzten Aufheizphase und\ndes Bonding-Vorgangs in der Kapsel befindet, nicht aber während des Vorwärmund Abkühlvorgangs, steht der Offenbarung von Merkmal 2.2 ebenfalls nicht entgegen.\n\n76 Wie bereits oben aufgezeigt wurde, stellt Patentanspruch 1 hinsichtlich der\nAnwärm- und Abkühlphase keine Vorgaben auf.\n\n77 d) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts fehlt es jedoch an\neiner Offenbarung von Merkmal 2.2.1.\n\n78 aa) K4 enthält keine Angaben zu einer Trennung der Atmosphären innerhalb und außerhalb der Mikrowellenheizvorrichtung 7.\n\n79 bb) Eine solche Trennung lässt sich auch nicht aus dem Zusammenhang entnehmen.\n\n80 K4 beschreibt nur die Zusammensetzung und den Sauerstoffgehalt innerhalb der Mikrowellenheizvorrichtung 7. Dies lässt zwar die Möglichkeit offen, dass\ndie Atmosphäre im übrigen Bereich des Ofens anders zusammengesetzt ist.\nUnmittelbare und eindeutige Angaben dazu lassen sich K4 aber nicht entnehmen.\n\n81 cc) Entgegen der Auffassung der Klägerin ergeben sich aus K4 keine\nhinreichenden Anhaltspunkte dafür, dass sich eine Trennung aufgrund der vorhandenen Kapselung automatisch einstellt.\n\n82 Wie bereits oben dargelegt wurde, hängt die Frage, ob die Kapselung einen Gasaustauch in ausreichendem Maße verhindert, nicht nur vom Kapselungsgrad ab, sondern auch vom Sauerstoffgehalt der äußeren Schutzgasatmosphäre\nund von der Luftströmung. Diesbezüglich finden sich in K4 keine Angaben. Damit\n\nist der Entgegenhaltung nicht eindeutig und unmittelbar zu entnehmen, dass ein\nGasaustausch unterbunden wird.\n\n83 e) K5 nimmt den Gegenstand von Patentanspruch 1 ebenfalls nicht\nvorweg.\n\n84 aa) K5 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers\naus Keramik- und Metallplatten (7, 8) mittels eines Aktivmetall-Hartlöt- oder\nDirect-Bonding-Verfahrens.\n\n85 K5 bezeichnet es als Nachteil bekannter Hartlötverfahren, dass ein chargenweise beladener Ofen verwendet werden müsse, da sonst das Vakuum bzw.\ndie antioxidative Atmosphäre nicht aufrechterhalten werden könne. Dies führe zu\ngroßen Stückzahlen, Mängeln bei der Temperaturregelung und tendenziell größeren Schwankungen in der Produktqualität (K5a Abs. 7). Zur Lösung wird vorgeschlagen, einen oder mehrere Schichtkörper aus Keramik- und Metallplatten\nmit oder ohne Verbundmittel im Innenkasten eines Ofens anzuordnen und durch\neine außerhalb des Innenkastens angeordnete Hauptheizung sowie eine innerhalb des Kastens angebrachte Hilfsheizung zu erhitzen (K5a Abs. 9).\n\n86 Als geeignete Verbindungsmethoden werden DBC und Aktivmetall-Hartlöten benannt (K5a Abs. 14). Der beispielhaft beschriebene Innenkasten weist eine\nfest verschlossene Kistenform auf. Als mögliche Alternative wird eine tischförmige Ausführung mit einer Fläche benannt, die mindestens eine Seite der\nSchichtkörper oder die Hilfsheizung bedecken kann (K5a Abs. 18).\n\n87 Als Vorteil der Hilfsheizung wird angeführt, sie ermögliche eine bessere\nRegelung der Wärmemengen, die den einzelnen Schichtkörpern zugeführt\nwerde, da die Wärme gleichmäßig und ungehindert auf die Metallplatten übertragen werde (K5a Abs. 20).\n\n88\n\nBei einem Ausführungsbeispiel werden die Schichten durch Hartlöten miteinander verbunden (K5a Abs. 27). Während des Erhitzens herrscht ein Vakuum\nvon maximal 1 · 10-5 Torr (K5a Abs. 29).\n\n89 bb) Damit sind die Merkmale 1 und 2 offenbart.\n\n90 cc) Nicht offenbart sind die Merkmale 2.1, 2.2 und 2.2.1.\n\n91 (1) K5 beschreibt lediglich die Durchführung des Verfahrens unter Vakuum. Dies reicht aus den oben angeführten Gründen zur Verwirklichung der\nMerkmale \"Schutzgas\" und \"Schutzgasatmosphäre\" nicht aus.\n\n92 (2) Dass K5 in der Beschreibung des Stands der Technik auch eine\nantioxidante Atmosphäre erwähnt, führt entgegen der Auffassung der Berufung\nnicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n93 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob sich, wie das Patentgericht angenommen hat, aus den Ausführungen in K5 ergibt, dass dieser Begriff dort als Synonym für Vakuum verwendet wird. Den Ausführungen zu der in K5 vorgeschlagenen Lösung lässt sich jedenfalls nicht unmittelbar und eindeutig entnehmen, dass\nauch diese wahlweise unter Vakuum oder unter Schutzgasatmosphäre ausgeführt werden kann.\n\n94 f) K6 nimmt den geschützten Gegenstand ebenfalls nicht vorweg.\n\n95 aa) K6 offenbart ein Verfahren zur direkten Verbindung von Metallen\nmit Substraten (S. 2). Als Verbindungsmittel wird ein Material ausgewählt, das\nmit dem Metall eine eutektische Legierung bildet.\n\n96 Metall und Substrat werden in einer inerten Atmosphäre auf eine Temperatur erhitzt, die unterhalb des Schmelzpunkt des Metalls, vorzugsweise aber relativ nahe bei diesem Punkt liegt (S. 5 Abs. 3). Als Ausführungsbeispiel wird ein\nVerfahren geschildert, bei dem zunächst Kupfer an der Oberfläche oxidiert wird\n\n(S. 19 Abs. 3). Das Oxid wird nur dazu eingesetzt, Sauerstoff für das Verbindungsverfahren zu liefern. Deshalb muss der Sauerstoffvorrat gering sein (S. 20\nAbs. 1). Hierzu muss das Verfahren in einer inerten Atmosphäre durchgeführt\nwerden (S. 20 Abs. 2).\n\n97 Eine abgewandelte Ausführungsform ist in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 17 dargestellt.\n\n98 Das kreisringförmige Keramikgehäuse 132 wird mittels oxidierter Kupferformstücke 145 (S. 30 Abs. 2) mit einer Kupfer-Kontaktscheibe 152 und einem\nKupfer-Kontaktflansch 153 verbunden. Hierzu wird die gestapelte Anordnung\nzwischen zwei Blöcke 154, 155 aus feuerfestem Stein eingefügt. Um während\ndes Verbindungsvorgangs einen Druck zu erhalten und einen hermetisch dichten\n\nVerschluss zu gewährleisten, wird vorzugsweise ein Gewicht 156 aufgelegt\n(S. 31 Abs. 2).\n\n99 bb) Damit sind die Merkmale 1, 2, 2.1 und 2.1.1 offenbart.\n\n100 cc) Jedenfalls im Ergebnis zutreffend hat das Patentgericht angenommen, dass die Merkmalsgruppe 2.2 nicht offenbart ist.\n\n101 Die Ausführungen in K6, wonach die Blöcke 154, 155 und das Gewicht\n156 eine hermetische Abdichtung bewirken, deuten allerdings darauf hin, dass\nein Gasaustauch zwischen dem Bereich innerhalb des oben und unten abgedeckten Keramikgehäuses 132 und der Umgebung unterbunden wird und dies\neine Verbindung dieses Gehäuses mit den beiden Formstücken 145 begünstigt.\n\n102 Bei dieser Anordnung sind das Keramiksubstrat und die mit diesem zu\nverbindenden Metallfolien aber nicht in einem durch eine Kapsel gebildeten Reaktionsraum angeordnet. Vielmehr bilden sie selbst einen Teil der Kapselung.\n\n103 g) Entgegen der Auffassung der Berufung ist der Gegenstand von Patentanspruch 1 auch in K7 nicht vollständig offenbart.\n\n104 aa) K7 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien.\n\n105 Ein mit oxidierter Metallfolie 1 bedecktes Keramiksubstrat 2 wird auf einem\nflachen Träger 3 positioniert und in einen Durchlaufofen 5 verbracht (Sp. 4 Z. 45-\n47), dessen Tunnel 6 eine Vorheizzone I, drei Heizzonen II bis IV und eine Abkühlzone V aufweist (Sp. 4 Z. 5-10). In der zentralen Heizzone III werden die\nTeile auf eine Temperatur erhitzt, die zwischen der eutektischen Temperatur des\nGemischs aus Kupferoxid und Kupfer (1065 °C) und unterhalb der Schmelztemperatur des Metalls (1083 °C) liegt (Sp. 4 Z. 49-56). In den Heizzonen II und III\nherrscht eine Stickstoffatmosphäre mit Zugabe von 20 bis 50 ppm [parts per million by volume] Sauerstoff (Sp. 4 Z. 60-63).\n\n106 bb) Entgegen der Auffassung der Berufung ist damit die Merkmalsgruppe 2.2 nicht offenbart.\n\n107 (1) Wie oben dargelegt wurde, ist eine Kapsel im Sinne von Merkmal\n2.2 ein Gebilde, das das darin untergebrachte Material von mehreren Seiten\numgibt.\n\n108 Der in K7 offenbarte flache Träger 3 erfüllt diese Voraussetzung nicht. Er\nhat weder Seitenwände noch einen Deckel.\n\n109 (2) Darüber hinaus ergibt sich weder aus der Beschreibung von K7\nnoch aus den darin enthaltenen Figuren, dass der Träger 3 so ausgelegt ist, dass\ner eine Trennung zwischen zwei Atmosphärenbereichen bewirken könnte.\n\n110 Entgegen der Auffassung der Berufung kann eine solche Trennung nicht\nschon deshalb angenommen werden, weil sie sich nach der geschützten Lehre\nautomatisch einstellt. Wie bereits oben dargelegt wurde, müssen Kapselungsgrad, Strömungsrichtung und Sauerstoffgehalt gezielt aufeinander abgestimmt\nwerden, um eine Trennung zu erreichen.\n\n111 3. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 beruht auch auf erfinderischer Tätigkeit.\n\n112 a) Allein aus K7 ergab sich keine Anregung zu einer Ausgestaltung\nnach den Vorgaben des Streitpatents.\n\n113 aa) Wie auch die Berufung im Ansatz nicht verkennt, gibt K7 dem Fachmann keinen Hinweis auf die Verwendung einer Kapsel zur Aufnahme von Keramiksubstrat und Metallfolie während des Verfahrens und zur Trennung einer inneren von einer äußeren Schutzgasatmosphäre.\n\n114\n\nbb) Ob, wie die Berufung meint, der vom Streitpatent angestrebte Effekt\nhoher Abreißfestigkeiten und blanker Kupferoberflächen mit dem in K7 offenbarten Verfahren auch ohne Einsatz einer Kapsel erreicht werden kann, ist für die\nBeurteilung unerheblich.\n\n115 Wenn das diesbezügliche Vorbringen der Berufung zuträfe, ergäbe sich\ndaraus lediglich, dass das von Patentanspruch 1 geschützte Verfahren nicht die\neinzige Möglichkeit ist, den angestrebten Erfolg zu erzielen. Letzteres stünde der\nPatentfähigkeit allenfalls dann entgegen, wenn für den Fachmann am Prioritätstag ersichtlich gewesen wäre, dass es letztlich beliebig ist, ob das Material mit\noder ohne Kapsel im Sinne der Merkmalsgruppe 2.2 zusammengefügt wird. Konkrete Anhaltspunkte dafür ergeben sich weder aus dem Berufungsvorbringen\nnoch aus sonstigen Umständen.\n\n116 b) Aus K8 ergab sich keine Anregung zur Ergänzung des in K7 offenbarten Verfahrens um die Merkmalsgruppe 2.2.\n\n117 aa) In K8 wird die Herstellung keramischer Mehrschicht-Leiterplatten\nbeschrieben, auf denen Chipbauteile angebracht und miteinander verdrahtet\nwerden können.\n\n118 K8 befasst sich mit einer aus dem damaligen Stand der Technik bekannten Methode, bei der die einzelnen Keramikschichten mit Kupferoxidpaste in\neinem einheitlichen Brennvorgang zusammengefügt werden und anschließend\nauf die oberste Keramikschicht in einem getrennten Brennvorgang mittels\nKupferpaste eine weitere Leiterschicht aufgebracht wird. Demgegenüber sei es\nwünschenswert, auf der obersten Schicht ebenfalls Kupferoxidpaste aufzutragen\nund alle Sintervorgänge in nur einem Brennvorgang zu bewirken. Bei dieser Vorgehensweise könne es jedoch zu einer inhomogenen Wärmeübertragung und\ndamit zu Verformungen kommen. Um dem entgegenzuwirken, werde die Leiterplatte oben mit einer Aluminiumoxidplatte abgedeckt, bevor sie in den Förder-\n\nband-Sinterofen eingeführt werde. Hierdurch könne aber das organische Bindemittel nicht vollständig entfernt werden, weil eine reduktive Atmosphäre entstehe\n(K8a Abs. 5-9).\n\n119 Zur Lösung dieses Problems schlägt K8 vor, Keramikplatten mit Bohrungen als Unterlage und Deckplatte einzusetzen. Dies bewirke eine günstige Zirkulation geringfügiger Mengen von Sauerstoff (K8a Abs. 11-13).\n\n120 bb) Daraus ergab für den Fachmann keine Anregung, eine Erhöhung\ndes Sauerstoffgehalts durch die Kapselung zu verhindern.\n\n121 K8 verfolgt das Ziel, den Sauerstoffgehalt zu erhöhen. Um das dafür angewendete Lösungsprinzip für das in K7 offenbarte Verfahren nutzbar zu machen, hätte der Fachmann die in K8 vorgeschlagene Lösung in ihr Gegenteil verkehren müssen. Hierzu ergab sich aus K8 keine hinreichende Veranlassung. Dabei kann dahingestellt bleiben, ob der Fachmann aus K8 die allgemeine Erkenntnis ableiten konnte, dass der Sauerstoffgehalt durch Ausgestaltung der Strömungswege beeinflusst werden kann. Auch aus dieser Erkenntnis ergab sich\nnoch nicht die Anregung, den Sauerstoffgehalt bei dem in K7 offenbarten Verfahren durch den Einsatz einer Kapsel zu beeinflussen.\n\n122 c) Aus K3 ergaben sich keine weitergehenden Anregungen.\n\n123 aa) K3 offenbart ein Stapelsystem für das Sintern von Keramiksubstraten. Ein Ausführungsbeispiel ist in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 1\ndargestellt.\n\n124 Das System 10 umfasst einen Träger 14, auf dem mehrere Rahmen 12\nangeordnet sind, die ihrerseits durch Kacheln 16 voneinander getrennt sind. Die\nRahmen weisen seitliche Öffnungen 18 auf, deren Höhe variieren kann. Die\nhierzu angebrachten Aussparungen 20 sind so gestaltet, dass das beim Einbrennen der Substrate entstehende Gas aus einem durch den Rahmen 12 abgegrenzten Raum 22 entweichen kann (Sp. 2 Z. 4-20).\n\n125 bb) Damit ist zwar eine Kapsel im Sinne von Merkmal 2.2 offenbart, deren Kapselungsgrad so gestaltet ist, dass sich in ihrem Innenraum eine für den\nangestrebten Vorgang günstige Gaszusammensetzung bildet. Aus dieser allgemeinen Erkenntnis ergab sich aber keine Anregung, eine solche Kapsel bei dem\nin K7 offenbarten Verfahren einzusetzen, um den Sauerstoffgehalt zu beeinflussen.\n\n126 d) Aus K9 ergaben sich ebenfalls keine diesbezüglichen Anregungen.\n\n127 aa) K9 befasst sich mit der Herstellung von Metall-Keramik-Verbundmaterialien.\n\n128 Als aus dem Stand der Technik bekannte Methode wird das Direct-Bonding-Copper-Verfahren angeführt. Die Anwendung dieses Verfahrens auf Aluminiumnitridsubstrate sei aber schwierig, weil diese eine vorherige Oxidationsbehandlung benötigten und der Toleranzbereich für die Dicke der Oxidschicht sehr\nschmal sei (K9a Abs. 6).\n\n129 Als vorteilhafte Alternative für diesen Einsatzzweck zeigt K9 das Aktivmetall-Hartlöten auf. Bei diesem Verfahren könne es aber leicht zur Oxidation des\nAktivmetalls kommen. Um dem vorzubeugen, sei es notwendig, den Lötvorgang\nim Vakuum durchzuführen, zum Beispiel bei 3 · 10-5 Torr (K9a Abs. 8). Dies habe\nim Stand der Technik den Einsatz von kostengünstigen Carbonöfen ausgeschlossen, weil diese beim Erhitzen Sauerstoff freisetzten (K9a Abs. 12).\n\n130\n\nUm den Einsatz von Carbonöfen zu ermöglichen, schlägt K9 vor, den aus\nKeramiksubstrat, Hartlot und Metallplatte bestehenden Schichtkörper in eine Aufnahmevorrichtung einzuspannen (K9a Abs. 16). Der Grund für die vorteilhafte\nWirkung dieser Vorgehensweise sei vermutlich darin zu sehen, dass in den kleinen Zwischenraum der Aufnahmevorrichtung nur schwer ein Gasstrom eindringen könne und deshalb die Wahrscheinlichkeit, dass das Hartlot in Kontakt mit\numgebendem Sauerstoff gelange, gering sei (K9a Abs. 32).\n\n131 bb) Auch daraus mag sich die allgemeine Erkenntnis ergeben, dass\nunerwünschte Oxidationsvorgänge durch gezielte Strömungsführung vermieden\nwerden können. Hieraus ergab sich aber keine Anregung, dieses Prinzip bei dem\nin K7 offenbarten Verfahren dadurch nutzbar zu machen, dass das zusammenzufügende Material in einer Kapsel im Sinne von Merkmalsgruppe 2.2 untergebracht wird. Dies gilt umso mehr, als K9 zum zugrundeliegenden Wirkungsprinzip\nnur Vermutungen anstellt.\n\n132 e) Eine andere Beurteilung ergibt sich auch nicht aus K10.\n\n133 aa) K10 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von keramischen Werkstoffen, insbesondere Ferriten.\n\n134 Die Werkstoffe werden auf Transportelementen durch einen Tunnelofen\nmit verschiedenen Räumen, unterschiedlichen Temperaturzonen und verschiedenen gasförmigen Atmosphären geleitet. Hierzu wird die natürliche Zirkulation\ndes Gases in Längsrichtung des Ofens durch Transportelemente unterbunden,\nso dass bestimmte gasförmige Atmosphären mit unterschiedlichen Sauerstoffgehalten aufrechterhalten werden können und der Tunnel in verschiedene Zonen\nunterteilt wird.\n\n135 In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Transportelemente 4 L-förmig ausgestaltet, wie dies in der nachfolgend abgebildeten Figur 1 dargestellt ist.\n\n136 Ein Transportelement 4, in dem die Werkstoffe 6 angeordnet werden können, wird durch eine Platte 5 gebildet, die eine vertikale Wand 7 aufweist, die in\nLänge und Breite recht exakt an die Maße des Tunnels angepasst sind (S. 2\nrechts Abs. 3).\n\n137 Eine andere Ausführungsform ist in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 5 dargestellt.\n\n138 Ein solches Transportelement besteht aus einer Gleitplatte 10, auf der ein\nRahmen 13 angeordnet ist. Die Vorder- und Rückseite des Rahmens bilden\nWände eines Raumes in dem Tunnel. Auf diesem Rahmen können zwei Platten\n12 angeordnet sein, zwischen denen ein bestimmter Zwischenraum belassen\nwird, um den Durchtritt des Gases zu gestatten. Auf diesen zwei Platten kann\nerneut ein Rahmen angeordnet werden und hierdurch eine Stapelung der Transportelemente im Ofen erreicht werden (S. 3 links Abs. 3). Ein solcher Stapel ist\nschematisch in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 6 dargestellt.\n\n139 Bei beiden Ausführungsformen wird pro Zeiteinheit jedem Raum eine\nMenge an Behandlungsgas mit einem bestimmten Sauerstoffgehalt zugeführt.\nDer Sauerstoffgehalt des Behandlungsgases bleibt so in jedem Raum konstant\n(S. 3 links Abs. 4). Insbesondere kann in einzelnen Räumen ein Gas aufrechterhalten werden, das 14 % Sauerstoff enthält, und in einem dazwischenliegenden Raum ein Gas, das 4 % Sauerstoff enthält. Es können aber auch andere\nSauerstoffgehalte realisiert werden (S. 3 rechts Abs. 1).\n\n140 bb) Daraus ergab sich, wie das Patentgericht zu Recht angenommen\nhat, schon deshalb keine Anregung zur Weiterentwicklung des in K7 offenbarten\nVerfahrens, weil der Sauerstoffgehalt in K10 weitaus höher ist.\n\n141 Aus dem allgemeinen Hinweis in K10, dass auch andere Sauerstoffgehalte realisiert werden können, ergab sich für den Fachmann allenfalls, dass\n\ner den Sauerstoffgehalt im Prozentbereich variieren kann. Konkrete Anhaltspunkte dafür, dass die offenbarte Vorgehensweise auch im Bereich von weniger\nals einem Promille eingesetzt werden kann, sind demgegenüber nicht ersichtlich.\n\n142 cc) Unabhängig davon hatte der Fachmann entgegen der Auffassung\nder Berufung ausgehend von K7 ohnehin keine Veranlassung, nach Lösungen\nzu suchen, die Verwirbelungen im Tunnelofen vermeiden.\n\n143 Nach der Beschreibung von K7 wird das dort verwendete Gasgemisch\ndurch Verwirbelung gleichmäßig in den Heizzonen I, II und III verteilt (Sp. 5\nZ. 1-3). Durch besondere Düsenanordnungen und -formen an den Gaseintrittsstutzen 15 und 16 sowie durch Anpassung der Volumendurchflüsse kann eine\nTrennung zwischen der Stickstoff-Sauerstoff-Atmosphäre in den Zonen I bis III\nund der reinen Stickstoff-Atmosphäre in den Zonen IV und V ohne zusätzliche\nSperrvorrichtungen bewirkt werden (Sp. 5 Z. 40-47). Vor diesem Hintergrund\nergab sich für den Fachmann keine Anregung, Verwirbelungen innerhalb der\nHeizzonen durch zusätzliche Mittel entgegenzuwirken.\n\n144 f) Aus K24 ergab sich für den Fachmann ebenfalls keine Anregung zu\neiner Abwandlung in Richtung auf die Lehre des Streitpatents.\n\n145 aa) K24 offenbart ein Verfahren zum Metallisieren einer Kupferschicht.\n\n146 Ein keramischer Körper mit einer auf seiner Oberfläche ausgebildeten\nKupferschicht wird in einer abgedichteten Kammer eines Behälters platziert. In\neiner bevorzugten Ausführungsform weist der Behälter einen Deckel mit einer\nÖffnung auf (Sp. 3 Z. 4-10). Hierdurch kann innerhalb des Behälters befindliches\nGas nach außen befördert werden (Sp. 3 Z. 9-19). Dadurch kann die Innenatmosphäre der Kammer konstant gehalten (Sp. 2 Z. 63-64) und von einer äußeren\nAtmosphäre getrennt werden (Sp. 2 Z. 34-41).\n\n147 In einem weiteren Schritt wird dem Behälter Wärme zugeführt, wobei die\nAußenumgebung des Behälters in einer inerten Atmosphäre gehalten wird. Hierdurch werden sowohl der keramische Körper als auch das in der Kammer befindliche Gas auf eine Temperatur erhitzt, die ausreichend ist, damit der Druck des\nGases über den vorbestimmten Wert ansteigt. Hierdurch wird das Gas wenigstens teilweise aus der Kammer evakuiert und die Kupferschicht wird wärmebehandelt (Sp. 2 Z. 44-46; Sp. 2 Z. 56 bis Sp. 3 Z. 3).\n\n148 In einem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Wärmebehandlung in einem Tunnelofen, der mit einem Förderband ausgestattet ist.\nMittig ist eine Heizzone angeordnet. Über zwei Kanäle 27, 27' wird ein inertes\nGas an den sich gegenüberliegenden Seiten der Heizzone eingeleitet. Hierdurch\nstellt sich eine inerte Atmosphäre in der Heizzone ein. Eine Mehrzahl von Kammern 29 wird auf dem Förderband angeordnet (Figur 1). Diese werden beim Passieren der Heizzone aufgeheizt. Als Folge entweicht Luft aus den Kammern.\nGleichzeitig entweicht Sauerstoff. Hierdurch stellt sich in der Kammer eine Art\nVakuum mit einem äußerst geringen Sauerstoffpartialdruck ein (Sp. 5 Z. 55-57).\nDie Verbindung der Kupfer-Metall Schicht wird dadurch optimiert (Sp. 5\nZ. 65-68).\n\n149 bb) Damit sind zwar eine Kapsel und eine Trennung zwischen innerer\nund äußerer Atmosphäre offenbart, nicht aber eine Schutzgasatmosphäre im Inneren der Kapsel.\n\n150 Die Bildung einer inerten Atmosphäre wird in K24 nur für die Außenumgebung des Behälters und die Heizzone offenbart, nicht aber für das Innere der\nKammern. Diese sind beim Einführen in den Ofen bereits verschlossen. Sie lassen nur das Entweichen von Luft und Sauerstoff zu, nicht aber das Eindringen\nvon Schutzgas aus der äußeren Atmosphäre.\n\n151\n\nDies gilt auch für das von der Berufung angeführte Ausführungsbeispiel\ngemäß Figur 4. In dieser Variante weisen die Kammern eine Öffnung auf, die mit\neinem Einwegventil 40 verschlossen ist. Dieses Ventil lässt eine Gasströmung\nebenfalls nur vom Inneren in die Außenumgebung zu (Sp. 6 Z. 29-32).\n\n152 cc) Eine Veranlassung, abweichend von K24 auch im Kapselinneren\neine Schutzgasatmosphäre zu erzeugen und diese Vorgehensweise bei einem\nDirect-Bonding-Verfahren einzusetzen, ist nicht ersichtlich.\n\n153 Wie die Berufungserwiderung zutreffend geltend macht, erschöpft sich die\nZielsetzung von K24 darin, den in der Kapsel vorhandenen Sauerstoff möglichst\nvollständig zu entfernen. Angesichts dessen hatte der Fachmann keinen Anlass,\nden in K24 offenbarten Lösungsansatz auf Direct-Bonding-Vorgänge zu übertragen, die einen bestimmten, wenn auch nur geringen Sauerstoffanteil benötigen.\n\n154 g) Entgegen der Auffassung der Berufung ist der Gegenstand von\nPatentanspruch 1 auch ausgehend von K5 nicht nahegelegt.\n\n155 aa) Wie bereits oben dargelegt wurde, ist in K5 nicht offenbart, dass\ndas dort vorgeschlagene Verfahren auch unter Schutzgasatmosphäre eingesetzt\nwerden kann. Eine diesbezügliche Anregung ist ebenfalls nicht ersichtlich.\n\n156 bb) Unabhängig davon steht bei K5 das Problem der gleichmäßigen\nWärmeverteilung im Vordergrund. Selbst wenn der Fachmann den Einsatz von\nSchutzgas anstelle eines Vakuums erwogen hätte, wäre für ihn aus der Entgegenhaltung folglich nicht ersichtlich gewesen, dass er den inneren Behälter auch\ndazu einsetzen kann, die innere Schutzgasatmosphäre von der äußeren zu trennen.\n\n157 cc) Aus der US-amerikanischen Patentschrift 3,766,634 (K14) und der\njapanischen Patentschrift Sho61-270269 (K15) ergäben sich, wie auch die Berufung nicht verkennt, allenfalls dann weitergehende Anregungen, wenn der Fachmann Veranlassung gehabt hätte, das in K5 offenbarte Verfahren auch unter\n\nSchutzgasatmosphäre einzusetzen. Diese Voraussetzung ist entgegen der Auffassung der Berufung nicht erfüllt.\n\n158 h) Eine andere Beurteilung ergibt sich auch nicht mit Blick auf die deutsche Offenlegungsschrift 30 36 128 (K16) und die japanische Offenlegungsschrift Hei7-80662 (K17).\n\n159 aa) K16 offenbart ein Verfahren zum direkten Verbinden von Kupferfolien mit Oxidkeramiksubstraten.\n\n160 Hierbei wird ein mit einer Kupferfolie belegtes Oxidkeramiksubstrat in\nsauerstoffhaltiger Atmosphäre erhitzt bis zu einer Temperatur oberhalb der eutektischen Temperatur von Kupfer und Kupferoxid, aber unterhalb der Schmelztemperatur von Kupfer (S. 2 Z. 4-10). Das Erhitzen erfolgt in einem Vakuumofen\nbei einem Druck von höchstens 1 mbar. In der Ofenatmosphäre wird ein Sauerstoff-Partialdruck zwischen 0,001 und 0,1 mbar aufrechterhalten (S. 6 Z. 23-27).\n\n161 bb) Damit fehlt es entgegen der Auffassung der Berufung an einer\nOffenbarung der Merkmale 2.1, 2.2 und 2.2.1.\n\n162 Wie bereits oben dargelegt wurde, stellt ein Vakuum keine Schutzgasatmosphäre im Sinne dieser Merkmale dar.\n\n163 cc) Angesichts dessen bedarf es keiner Entscheidung, ob der Fachmann Anlass hatte, das in K16 offenbarte Verfahren mit dem Verfahren aus K17\nzu kombinieren, das ebenfalls in einem Vakuumofen ausgeführt wird.\n\n164 IV. Die Kostenentscheidung beruht auf § 121 Abs. 2 PatG in Verbindung mit § 97 Abs. 1 ZPO.\n\nBacher Kober-Dehm Marx\n\nRombach Rensen\n\nVorinstanz:\nBundespatentgericht, Entscheidung vom 10.04.2018 - 3 Ni 29/16 (EP) -","source":null,"source_url":null,"url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2020-10-22/x-zr-163-18","cited_norms":[{"jurabk":"PatG","ref":"§ 117","ref_norm":"117","n":1},{"jurabk":"PatG","ref":"§ 121","ref_norm":"121","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 97","ref_norm":"97","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 531","ref_norm":"531","n":1},{"jurabk":"PatG","ref":"§ 83","ref_norm":"83","n":1}],"authoritative_source":null,"attribution":null,"source_info":{"name":"nu:legal Deutsches Recht","operator":"Nulegal GmbH","terms":"https://recht.nulegal.eu/nutzungsbedingungen","attribution":"Source: nu:legal – recht.nulegal.eu","license_url":"https://recht.nulegal.eu/license","url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2020-10-22/x-zr-163-18","retrieved":"2026-10-24 08:01:37.523052+00:00"},"card":{"id":"bgh/2020-10-22/x-zr-163-18","court":"BGH","court_id":"bgh","court_as_stated":"BGH","panel":"10. 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