{"status":"available","ecli":"ECLI:DE:BGH:2020:010920UXZR153.18.0","court":"BGH","senate":"10. Zivilsenat","decided":"2020-09-01","aktenzeichen":"X ZR 153/18","doktyp":"Urteil","leitsatz":null,"text_plain":"BUNDESGERICHTSHOF\nIM NAMEN DES VOLKES\nURTEIL\nX ZR 153/18 Verkündet am:\n1. September 2020\nZöller\nJustizangestellte\nals Urkundsbeamtin\nder Geschäftsstelle\n\nin der Patentnichtigkeitssache\n\nECLI:DE:BGH:2020:010920UXZR153.18.0\n\nDer X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat auf die mündliche Verhandlung\nvom 1. September 2020 durch den Vorsitzenden Richter Dr. Bacher, die Richter\nDr. Grabinski und Hoffmann, die Richterin Dr. Marx und den Richter Dr. Rensen\n\nfür Recht erkannt:\n\nAuf die Berufung des Beklagten wird das Urteil des 6. Senats\n(Nichtigkeitssenats) des Bundespatentgerichts vom 16. Mai 2018\nabgeändert.\n\nDas europäische Patent 2 004 542 wird mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland dadurch teilweise für nichtig erklärt, dass\ndie Patentansprüche folgende Fassung erhalten:\n\n1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so durch einen hermetisch\nschließenden Bondrahmen miteinander verbunden sind, dass\nsie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung\nabgedichtet sind, wobei in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor und in dem zweiten Hohlraum ein Beschleunigungssensor angeordnet ist und wobei der erste Hohlraum einen anderen Innendruck aufweist als der zweite Hohlraum, dadurch\ngekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und dass sein Innendruck aufgrund dieses Gettermaterials anders ist als der Innendruck des\nzweiten Hohlraums.\n\n2. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der\nerste Hohlraum aufgrund dieses Gettermaterials auch eine\nandere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.\n\n3. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume kein Gettermaterial enthält.\n\n4. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume ein zweites Gettermaterial\nenthält, dessen Gasabsorptionseigenschaften sich von denen\ndes Gettermaterials in dem ersten Hohlraum unterscheidet.\n\n5. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume dasselbe Gettermaterial wie\nder erste Hohlraum enthält, jedoch in einer geringeren Menge\nbzw. Fläche, bezogen auf das Volumen des Hohlraums.\n\n6. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gettermaterial zumindest in Teilbereichen\nstrukturiert ist.\n\n7. Verfahren zum Herstellen eines Bauteils wie in einem der Ansprüche 1 bis 6 definiert, umfassend die folgenden Schritte:\n\na) Bereitstellen eines in den Bereichen des ersten Hohlraums\nmit einem ersten Gettermaterial beschichteten flächigen\nSubstrats oder einer solchen, ggf. flächig ausgebildeten\nKappenstruktur,\n\nb) Justieren des flächigen Substrats oder der Kappenstruktur\nzu einem entsprechenden Kappen- oder Substratgegenstück,\n\nc) Einbringen des Paars aus flächigem Substrat und ggf. flächig ausgebildeter Kappenstruktur in eine Prozesskammer,\n\nd) Fluten der Prozesskammer mit einem Prozessgas, enthaltend eine oder bestehend aus einer Gassorte A, die von\n\ndem oder einem ersten Gettermaterial absorbiert werden\nkann, und ggf. einer Gassorte B, die von diesem Gettermaterial nicht oder in substantiell geringerem Ausmaß absorbiert werden kann, wobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA und Gassorte B mit dem Partialdruck PB vorliegt,\n\ne) In-Kontakt-Bringen von Kappenstruktur und Substrat und\nVerbinden dieser beiden Teile mit Hilfe einer geeigneten\nVerbindungstechnik,\n\nf) Aktivieren des ersten Gettermaterials derart, dass es Moleküle der Gassorte A absorbiert.\n\n8. Verfahren nach Anspruch 7 zum Herstellen eines Bauteils mit\nmehr als zwei Hohlräumen und Gettermaterialien zumindest in\nden beiden ersten Hohlräumen, wobei das Prozessgas zusätzlich eine weitere Gassorte C aufweist und das Gettermaterial im\nersten Hohlraum eine gegenüber der Gasmischung erste Absorptionseigenschaft und das Gettermaterial im zweiten Hohlraum eine gegenüber der Gasmischung zweite Absorptionseigenschaft hat, wobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA,\ndie Gassorte B mit dem Partialdruck PB und die Gassorte C mit\ndem Partialdruck PC vorliegt.\n\nIm Übrigen wird die Klage abgewiesen.\n\nVon den erstinstanzlichen Kosten des Rechtsstreits tragen die\nKlägerin zwei Drittel und der Beklagte ein Drittel. Die Kosten des\nBerufungsverfahrens trägt die Klägerin.\n\nVon Rechts wegen\n\nTatbestand:\n\n1 Der Beklagte ist Inhaber des mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland erteilten europäischen Patents 2 004 542 (Streitpatents), das am 4. April\n2007 unter Inanspruchnahme einer deutschen Priorität vom 6. April 2006 angemeldet wurde und ein mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Hohlräumen sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung betrifft. Die Patentansprüche 1 und 7, auf die fünf bzw. zwei weitere Ansprüche zurückbezogen sind, lauten:\n\n1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer\nKappenstruktur, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens\neinen ersten und einen zweiten Hohlraum umschließen, die gegeneinander\nund gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, wobei wenigstens in dem\nersten Hohlraum (5) ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator,\nResonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und/oder RF-Switch\nangeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.\n\n7. Verfahren zum Herstellen eines Bauteils wie in einem der Ansprüche 1 bis 6\ndefiniert, umfassend die folgenden Schritte:\na) Bereitstellen eines in den Bereichen des ersten Hohlraums mit einem\nersten Gettermaterial beschichteten flächigen Substrat oder einer solchen, ggfs. flächig ausgebildeten Kappenstruktur,\nb) Justieren des flächigen Substrats oder der Kappenstruktur zu einem entsprechenden Kappen- oder Substrat-Gegenstück,\nc) Einbringen des Paars aus flächigem Substrat und ggfs. flächig ausgebildeter Kappenstruktur in eine Prozesskammer,\nd) Fluten der Prozesskammer mit einem Prozessgas, enthaltend eine oder\nbestehend aus einer Gassorte B, die von diesem Gettermaterial nicht oder in substantiell geringem Ausmaß absorbiert werden kann, wobei die\nGassorte A mit dem Partialdruck PA und Gassorte B mit dem Partialdruck\nPB vorliegt,\ne) In-Kontakt-Bringen von Kappenstruktur und Substrat und Verbinden dieser beiden Teile mit Hilfe einer geeigneten Verbindungstechnik,\nf) Aktivieren des ersten Gettermaterials derart, dass es Moleküle der Gassorte A absorbiert.\n\n2 Die Klägerin hat das Streitpatent wegen unzulässiger Erweiterung, nicht\nausführbarer Offenbarung und fehlender Patentfähigkeit angegriffen. Der Beklagte hat das Schutzrecht mit Haupt- und Hilfsantrag in zwei geänderten Fassungen verteidigt.\n\nDas Patentgericht hat das Streitpatent für nichtig erklärt. Dagegen richtet\n3\nsich die Berufung des Beklagten, der seine erstinstanzlichen Anträge weiterverfolgt. Die Klägerin tritt dem Rechtsmittel entgegen.\n\nEntscheidungsgründe:\n\n4 Die zulässige Berufung hat Erfolg und führt zur Abweisung der Klage,\nsoweit der Beklagte das Streitpatent noch verteidigt.\n\n5 I. Das Streitpatent betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Hohlräumen sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.\n\n6 1. Nach den Ausführungen in der Streitpatentschrift waren mit Hilfe\nder Mikrosystemtechnik hergestellte Bauteile (mikroelektrische mechanische\nSysteme = MEMS) im Stand der Technik für die miniaturisierte und kostengünstige Herstellung von Sensoren und Aktoren etabliert. Unterschiedliche Sensoren\nerforderten je nach Auslegung einen bestimmten Arbeitsdruck, um die mechanische Dämpfung durch umgebendes Gas der Arbeitsweise des Sensors anzupassen. So würden resonante Drehratensensoren typischerweise mit einem\nArbeitsdruck im Bereich von einem Mikrobar bis zu einigen Millibar betrieben,\nBeschleunigungssensoren hingegen in der Regel bei einigen hundert Millibar. In\neiner Tabelle werden als typische Werte für Drehratensensoren 0,1 mbar und\nfür Beschleunigungssensoren 300 bis 700 mbar angegeben (Abs. 3).\n\n7 Die erforderliche hermetische Verkapselung werde bei dem so genannten Wafer-Level-Packaging in einem Stadium durchgeführt, in dem die Senso-\n\nren noch auf dem zur Herstellung eingesetzten Wafer angeordnet seien. Hierbei\nwerde ein Kappenwafer mit dem Sensorwafer gefügt, so dass jeder Sensorchip\nmit einem entsprechenden Gehäusechip fest verbunden werde. Erst danach\nwerde das Waferpaar in einzelne Chips vereinzelt (Abs. 6).\n\n8 Bei der Gehäusung würden das in der Prozesskammer befindliche Gas\nsowie der Prozessdruck in dem entstehenden Hohlraum eingeschlossen.\nDadurch würden alle Bauteile des Wafers in Rahmen der Prozessuniformität mit\ndem gleichen Kavitätendruck versehen. In der Regel könne hierdurch ein Kavitätendruck von 1 bis 10 mbar erreicht werden. Um einen niedrigeren Druck zu\nerreichen, müssten zusätzliche funktionelle Schichten, sog. Getterschichten,\neingebaut werden, die gezielt Gasmoleküle absorbierten (Abs. 8).\n\n9 2. Der Erfindung liegt vor diesem Hintergrund das technische Problem zugrunde, auf möglichst einfache Art Bauteile zur Verfügung zu stellen, die\nmindestens zwei Hohlräume mit unterschiedlichem Gasdruck aufweisen.\n\n10 3. Zur Lösung dieses Problems schlägt das Streitpatent ein Bauteil und ein Verfahren vor, deren Merkmale sich wie folgt gliedern lassen (Änderungen gegenüber der erteilten Fassung sind hervorgehoben):\n\n11 a) Patentanspruch 1\n\n1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil\n\n1.1 mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so durch einen hermetisch schließenden Bondrahmen miteinander verbunden sind, dass\n1.1.1 sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschließen,\n1.1.2 die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind.\n\n1.2 Wenigstens In dem ersten Hohlraum (5) ist ein Drehratensensor und in dem zweiten Hohlraum ein Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel,\nBolometer und/oder RF-Switch angeordnet.\n\n1.3 Der erste Hohlraum weist einen anderen Innendruck auf als\nder zweite Hohlraum.\n\n1.4 Der erste der beiden Hohlräume ist mit einem Gettermaterial\nversehen und\n\n1.5 sein Innendruck ist aufgrund des Gettermaterials anders einen\nanderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der Innendruck des zweiten Hohlraums.\n\n12 b) Patentanspruch 7\n\n7. Verfahren zum Herstellen eines Bauteils wie in einem der Ansprüche 1 bis 6 definiert, umfassend die folgenden Schritte:\n\na) Bereitstellen eines in den Bereich des ersten Hohlraums mit\neinem ersten Gettermaterial beschichteten flächigen Substrats\noder einer solchen, gegebenenfalls flächig ausgebildeten\nKappenstruktur,\n\nb) Justieren des flächigen Substrats oder der Kappenstruktur zu\neinem entsprechenden Kappen- oder Substratgegenstück,\n\nc) Einbringen des Paars aus flächigem Substrat und ggf. flächig\nausgebildeter Kappenstruktur in eine Prozesskammer,\n\nd) Fluten der Prozesskammer mit einem Prozessgas, enthaltend\neine oder bestehend aus einer Gassorte A, die von dem oder\neinem ersten Gettermaterial absorbiert werden kann, und ggf.\neiner Gassorte B, die von diesem Gettermaterial nicht oder\nnicht substantiell geringerem Ausmaß absorbiert werden kann,\nwobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA und Gassorte B\nmit dem Partialdruck PB vorliegt,\n\ne) In-Kontakt-Bringen von Kappenstruktur und Substrat und Verbinden dieser beiden Teile mit Hilfe einer geeigneten Verbindungstechnik,\n\nf) Aktivieren des ersten Gettermaterials derart, dass es Moleküle\nder Gassorte A absorbiert.\n\n13 4. Ein Beispiel für das Verfahren gemäß Patentanspruch 7 und ein\ndamit hergestelltes Bauteil nach Patentanspruch 1 ist in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 4 der Streitpatentschrift schematisch dargestellt.\n\n14 Auf die untenliegende Schicht mit zwei unterschiedlichen Sensoren wird\nein Deckel aufgebracht, so dass zwei abgeschlossene Hohlräume entstehen. In\ndiesen Hohlräumen herrscht zunächst der gleiche Gasdruck, der durch die Partialdrücke P1 und P2 von zwei in der Prozesskammer vorhandenen Gasen bestimmt wird. In einem der beiden Hohlräume ist ein Gettermaterial angeordnet,\ndas nach Aktivierung das zweite Gas absorbiert. Dadurch entspricht der Druck\nin diesem Hohlraum dem Druck P1 (Abs. 27 f.).\n\n15 5. Einige Merkmale bedürfen näherer Betrachtung.\n\n16 a) Ein Bauteil im Sinne von Merkmal 1 ist eine einzelne Einheit, die\nfür den in Rede stehenden Zweck, also als Beschleunigungs- und Drehratensensor eingesetzt werden kann.\n\n17 Die Beschreibung des Streitpatents unterscheidet insoweit zwischen den\neinzelnen Bauteilen und größeren Einheiten wie etwa Wafern, aus denen sich\nsolche Bauteile am Ende des Produktionsprozesses durch Trennen gewinnen\nlassen (Abs. 14). Anders als in der Anmeldung wird in Patentanspruch 1 Vorrichtungsschutz nur für ein Bauteil beansprucht, nicht für größere Einheiten.\nDas in Patentanspruch 7 geschützte Verfahren wird zwar an einem Wafer\ndurchgeführt; es dient aber ebenfalls der Herstellung eines Bauteils im Sinne\nvon Patentanspruch 1, also einer einzelnen Einheit, die einen Beschleunigungsund einen Drehratensensor aufweist.\n\n18 b) Zentrale Bedeutung kommt dem in den Merkmalen 1.4 und 1.5\nsowie 7 a und f vorgesehenen Gettermaterial zu.\n\n19 aa) Dieses Material hat die Funktion, eine der in der Prozesskammer\neingesetzten und deshalb in den Hohlräumen verbliebenen Gassorten zu absorbieren und damit eine Druckänderung herbeizuführen.\n\n20 Das Streitpatent ermöglicht es auf diese Weise, zwei Hohlräume mit\nunterschiedlichem Druck herzustellen, ohne dass die Druckverhältnisse während des Produktionsvorgangs geändert werden müssen. Diese Anforderung\nwird in Merkmal 1.5 dahin formuliert, dass der Innendruck des ersten Hohlraums aufgrund des Gettermaterials anders ist als der Innendruck des zweiten\nHohlraums.\n\n21 bb) Die Auswahl eines geeigneten Materials bleibt dem Fachmann\nüberlassen.\n\n22\n\nDie Beschreibung führt beispielhaft im Stand der Technik bekannte Metalle oder Legierungen an, insbesondere Barium, Aluminium, Titan, Zirkonium\nund Eisen. Um die aufgezeigte Funktion zu erzielen, muss das Gettermaterial\nauf das zu absorbierende Gas abgestimmt sein. Seine Absorptionsfähigkeit\nmuss so hoch sein, dass sich der in den Merkmalen 1.3 und 1.5 vorgesehene\nDruckunterschied einstellt.\n\n23 c) Das Ausmaß des nach den Merkmalen 1.3 und 1.5 erforderlichen\nDruckunterschieds ist in Patentanspruch 1 nicht ausdrücklich vorgegeben.\n\n24 aa) Eine mittelbare Vorgabe ergibt sich aus Merkmal 1.2, wonach der\neine Hohlraum einen Drehratensensor und der andere einen Beschleunigungssensor aufweisen muss. Aus dieser Festlegung ergibt sich, dass die Druckverhältnisse so eingestellt werden müssen, dass sie für den Betrieb solcher Sensoren geeignet sind.\n\n25 Auch insoweit legt sich Patentanspruch 1 allerdings weder auf die in der\nerwähnten Tabelle angeführten Werte (die sich um drei Zehnerpotenzen voneinander unterscheiden) noch auf die im Text der Beschreibung als typisch bezeichneten Werte (die sich jedenfalls um mehr als eine Zehnerpotenz voneinander unterscheiden) fest. Damit gehören zum geschützten Gegenstand auch\nAusgestaltungen, bei denen beide Sensoren mit einem außerhalb des üblichen\nBereichs liegenden Druck betrieben werden und die beiden Hohlräume deshalb\neinen geringeren Druckunterschied aufweisen.\n\n26 bb) Aus der Kombination der Merkmale 1.3 und 7 d ergibt sich für das\nVerfahren nach Patentanspruch 7 die Anforderung, dass das Gettermaterial\nden Druckunterschied jedenfalls auch dadurch bewirken muss, dass es eines\nder zugeführten Prozessgase absorbiert. Damit sind Ausgestaltungen ausgeschlossen, bei denen lediglich Gas absorbiert wird, das durch Kontamination,\nOberflächendesorption und Materialausgasung in den Hohlraum gelangt.\n\n27\n\nSchadgase in dem zuletzt genannten Sinne sind nach der Beschreibung\nbei der Auswahl und Anordnung des Gettermaterials zwar ebenfalls zu berücksichtigen (Abs. 40). Nach dem Verfahrensmerkmal 7 d muss das Gettermaterial\naber auch eines der Gase absorbieren, die als Prozessgas eingesetzt werden,\nalso während der Herstellung des Bauteils zugeführt werden.\n\n28 cc) Patentanspruch 1 enthält keine dem Verfahrensmerkmal 7 d entsprechende Festlegung. Aus dem bereits oben aufgezeigten Zusammenhang\nzwischen den Merkmalen 1.2 und 1.5 ergibt sich aber, dass aufgrund des Gettermaterials Druckverhältnisse bestehen müssen, die den Betrieb der beiden\nunterschiedlichen Sensortypen ermöglichen. Auch wenn Patentanspruch 1 insoweit keine Mindestdifferenz festlegt, hat dies zur Folge, dass die Druckverhältnisse in den beiden Hohlräumen sich in wesentlichem Umfang voneinander\nunterscheiden müssen.\n\n29 II. Das Patentgericht hat seine Entscheidung, soweit für das Berufungsverfahren noch von Interesse, im Wesentlichen wie folgt begründet:\n\n30 Der Gegenstand von Patentanspruch 1 beruhe nicht auf erfinderischer\nTätigkeit. Die US-amerikanische Patentschrift 6 713 828 (E3) offenbare ein mikroelektromechanisches System mit der Merkmalsgruppe 1.1. In der Beschreibung werde darauf hingewiesen, dass in den gegeneinander und hermetisch\ngegen die Außenumgebung abgedichteten Hohlräumen sowohl Drehratensensoren als auch Beschleunigungssensoren angeordnet werden könnten. Daraus erhalte der Fachmann die Anregung, in einem der beiden Hohlräume einen Drehratensensor und in dem anderen einen Beschleunigungssensor anzuordnen, wie dies die Merkmale 1.2 und 1.3 vorsähen. Die Entgegenhaltung lehre ferner eine titanhaltige Metallisierungsschicht, die im ersten Hohlraum angebracht sei und dem Auffangen (gettering) von störendem Gas in Form von Sauerstoff diene. Damit sei Merkmal 1.4 verwirklicht. Für den Fachmann sei zudem\nersichtlich, dass der Innendruck des ersten Hohlraums aufgrund des dort ange-\n\nbrachten Gettermaterials zwangsläufig anders sein müsse als im zweiten Hohlraum. Dies genüge zur Verwirklichung von Merkmal 1.5.\n\n31 Die gesondert verteidigten Ansprüche 2 und 6 seien ebenfalls durch die\nE3 nahegelegt.\n\n32 Auch der Gegenstand von Patentanspruch 7 beruhe nicht auf erfinderischer Tätigkeit. Ausgehend von E3 gelange der Fachmann in Kombination mit\nder Veröffentlichung von G. Longom et al. (Q-Factor Enhancement for MEMS\nDevices: the Role of the Getter Film, International Symposium on Microelectronics, 2005, S. 801 ff., E5) zu dem beanspruchten Verfahren. Die Entgegenhaltungen offenbarten die Merkmale 7 a und 7 b. E5 lehre, das Bauteil-Paar im\nRahmen der Herstellung in eine Vakuum-Prozesskammer einzubringen, wie\ndies Merkmal 7 c vorsehe, und diese anschließend mit einem Prozessgas in\nForm eines Trägergases zu fluten. Dieses enthalte als Verunreinigung ein\nRestgas, welches der Gassorte A entspreche. Das Trägergas sei ein Edelgas\nund entspreche der Gassorte B. Aufgrund seiner geringen Bindungsneigung\nwerde es zwangsläufig nicht wesentlich vom Gettermaterial absorbiert. Damit\nsei Merkmal 7 d verwirklicht. Die Veröffentlichung offenbare darüber hinaus die\nMerkmale 7 e und 7 f. Das angebrachte Gettermaterial müsse zunächst aktiviert\nwerden und bewirke auch ein Auffangen des mit dem Trägergas eingebrachten\nRestgases.\n\n33 III. Diese Beurteilung hält den Angriffen der Berufung nicht stand.\n\n34 1. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 war dem Fachmann ausgehend von E3 nicht nahegelegt.\n\n35 a) Der zwischen den Parteien umstrittenen Frage, ob E3 oder die\neuropäische Patentanmeldung 1 167 969 (E7) als nächstliegender Stand der\nTechnik anzusehen ist, kommt in diesem Zusammenhang keine Bedeutung zu.\n\n36\n\nOb sich dem Fachmann ein bestimmter Stand der Technik als möglicher\nAusgangspunkt seiner Bemühungen anbot, hängt nach ständiger Rechtsprechung des Senats nicht davon ab, ob es sich hierbei um den nächstliegenden\nStand der Technik handelt. Die Einordnung eines bestimmten Ausgangspunkts\nals - aus Ex-post-Sicht - nächstkommender Stand der Technik ist insoweit weder ausreichend noch erforderlich. Die Wahl des Ausgangspunkts bedarf stets\neiner Rechtfertigung. Diese liegt in der Regel in dem Bemühen des Fachmanns,\nfür einen bestimmten Zweck eine bessere oder andere Lösung zu finden, als\nsie der Stand der Technik zur Verfügung stellt (BGH, Urteil vom 16. Dezember\n2008 - X ZR 89/07, BGHZ 179, 168 = GRUR 2009, 382 - Olanzapin; Urteil vom\n5. Oktober 2016 - X ZR 78/14, GRUR 2017, 148 Rn. 42 f. ­ Opto-Bauelement;\nUrteil vom 31. Januar 2017 - X ZR 119/14, GRUR 2017, 498 Rn. 28 - Gestricktes Schuhoberteil).\n\n37 b) E3 offenbart einen mikromechanischen Drucksensor.\n\n38 E3 setzt Sensoren dieses Typs als bekannt voraus und befasst sich mit\ndem Problem, einen kostengünstigen, zuverlässigen und robusten Sensor zur\nVerfügung zu stellen (Sp. 1 Z. 55-62). Als Lösung wird ein Halbleiterbauteil vorgeschlagen, das einen Wandler (Transducer) und einen elektrischen Schaltkreis in einer Vakuumkammer umfasst (Sp. 1 Z. 65-67).\n\n39 Ein Ausführungsbeispiel für einen Drucksensor ist in der nachfolgend\nwiedergegebenen Figur 2 dargestellt.\n\n40 Diese Ausführungsform enthält mehrere Wandler (30) mit unterschiedlicher Druckempfindlichkeit, einen Referenzkondensator (32) und einen Schaltkreis (34) (Sp. 4 Z. 34-39). Diese Komponenten werden auf einem Wafer (26)\nausgebildet. Dieser wird anschließend elektrostatisch mit einem Glassubstrat\n(24) verbunden (Sp. 4 Z. 43-48).\n\n41 In dem fertigen Bauteil sind die Wandler (30) in Hohlräumen (36) angeordnet, der Schaltkreis in einem Hohlraum (40) oder (38) (Sp. 4 Z. 60-67; Sp. 8\nZ. 15-17). Ein weiterer Hohlraum (54) enthält eine mikrobearbeitete Oberflächenvorrichtung (Sp. 5 Z. 1-3; Sp. 8 Z. 17 f.). Eine solche Vorrichtung kann aus\neinem Resonator, einem Gyroskop oder einem Beschleunigungssensor bestehen (Sp. 12 Z. 14-17).\n\n42 Auch an anderer Stelle wird die Eignung der eingesetzten Fertigungsprozesse für solche Bauteile mehrfach erwähnt (Sp. 2 Z. 43-48; Sp. 8 Z. 7-11;\nSp. 10 Z. 61-64). An den beiden zuletzt zitierten Stellen wird ausgeführt, die\nunterschiedlichen Bauteile seien erfolgreich auf Chips (dies) hergestellt worden,\ndie sich auf demselben Maskenset befunden hätten wie die Drucksensoren.\n\n43 Das näher beschriebene Ausführungsbeispiel ist unter anderem in den\nnachfolgend wiedergegebenen Figuren 4 und 15 dargestellt.\n\n44 Wafer (26) und Substrat (24) sind durch eine umlaufende Schicht aus\nPolysilizium abgedichtet. Weil die Vorrichtung in einer Vakuumkammer hergestellt wird, herrscht in den abgedichteten Hohlräumen ebenfalls ein Vakuum\n(Sp. 6 Z. 56-60).\n\n45 Auf dem Glassubstrat (24) kann eine Beschichtung (86) angebracht werden, die aus Titan, Platin und Gold (Ti/Pt/Au) bestehen kann. Titan dient hierbei\nzur Adhäsion und zum Gettern von Sauerstoff, der aus dem Glas ausdiffundiert\n(Sp. 10 Z. 33-38). Eine Beschichtung mit diesem Bezugszeichen ist in der oben\ndargestellten Figur 4 im Hohlraum (36) dargestellt.\n\n46\n\nAn anderer Stelle der Beschreibung wird ausgeführt, auf das Substrat\nwerde vor der Verbindung mit dem Wafer eine Reihe von metallischen Elektrodenschichten aufgebracht, die aus Titan, Platin und Gold bestehen könnten und\ndie elektrische Verbindungen zwischen den Wandlern (30), dem Referenzkondensator (32) und dem Schaltkreis (34) sowie zu elektrischen Anschlüssen\naußerhalb der Hohlräume definierten (Sp. 6 Z. 66 bis Sp. 7 Z. 5).\n\n47 c) Ob damit neben den Merkmalen 1 und 1.4 auch die Merkmalsgruppe 1.1 offenbart ist, kann dahingestellt bleiben. Jedenfalls sind die Merkmale 1.2, 1.3 und 1.5 nicht vorweggenommen.\n\n48 aa) Merkmal 1.4 ist entgegen der Auffassung der Berufung in E3 offenbart.\n\n49 Wie bereits oben ausgeführt wurde, überlässt das Streitpatent die Auswahl eines geeigneten Gettermaterials im Sinne von Merkmal 1.4 dem Fachmann. Angesichts dessen ist der Einsatz des Gettermaterials Titan zur Offenbarung dieses Merkmals ausreichend. Titan gehört zudem zu den Materialien, die\nin der Beschreibung des Streitpatents ausdrücklich als in Betracht kommend\nangeführt werden (Abs. 9).\n\n50 bb) Nicht eindeutig und unmittelbar offenbart ist Merkmal 1.2.\n\n51 (1) Offenbart ist allerdings der Einsatz verschiedener Sensortypen auf\neinem Chip.\n\n52 Sowohl in der Beschreibung von E3 als auch in den in der Entgegenhaltung formulierten Ansprüchen 7 bis 10 wird ausgeführt, dass anstelle des\nDrucksensors in Hohlraum (36) auch andere Sensortypen angeordnet sein\nkönnen, wie sie auch im Streitpatent aufgezählt werden. Darüber hinaus ist mit\nder im Hohlraum (54) angeordneten Oberflächenvorrichtung ein weiterer Sensor auf demselben Chip vorhanden. Entgegen der Auffassung der Berufung\nmuss diese Vorrichtung auch nicht zwingend als Kondensator ausgebildet sein.\n\nNach den bereits erwähnten Ausführungen in der Beschreibung kann es sich\nvielmehr um einen Resonator, ein Gyroskop oder einen Beschleunigungssensor\nhandeln, also wiederum um einen Sensortyp, den auch das Streitpatent vorsieht.\n\n53 (2) Nicht eindeutig und unmittelbar offenbart ist jedoch, dass auf\ndemselben Chip zwei unterschiedliche Sensorenarten angeordnet sind, für deren Betrieb unterschiedliche Druckverhältnisse erforderlich sind, wie dies insbesondere für Beschleunigungs- und Drehratensensoren der Fall ist.\n\n54 Dabei kann zugunsten der Klägerin unterstellt werden, dass der Fachmann auch ohne ausdrückliche Erwähnung in E3 davon ausging, dass nicht\njeder Sensortyp unter denselben Druckverhältnissen betrieben werden kann.\nAus dieser Erkenntnis ergab sich indes nicht die eindeutige Schlussfolgerung,\ndass die in E3 offenbarten Vorrichtungen Sensorenarten mit unterschiedlichen\nAnforderungen an den Betriebsdruck auf demselben Chip kombinieren.\n\n55 Wie bereits oben dargelegt wurde, wird in E3 ausgeführt, die Hohlräume\nwiesen ein Vakuum auf, weil die Herstellung in einer Vakuumkammer erfolge.\nDem lassen sich keine Hinweise auf unterschiedliche Druckverhältnisse in den\neinzelnen Hohlräumen entnehmen.\n\n56 Die Ausführungen zu dem Ausführungsbeispiel mit Drucksensoren und\neiner weiteren mikrobearbeiteten Oberflächenvorrichtung geben schon deshalb\nkeinen weitergehenden Aufschluss, weil die Funktion dieser zweiten Vorrichtung nicht explizit benannt wird und deshalb die Möglichkeit offenbleibt, dass sie\nunter denselben Druckverhältnissen betrieben werden kann wie ein Drucksensor.\n\n57 Der Hinweis auf die erfolgreiche Anordnung von Bauteilen mit anderen\nFunktionen mit demselben Maskensatz wirft zwar die Frage auf, wie die hierfür\nerforderlichen Druckverhältnisse geschaffen werden können. Der in diesem Zusammenhang gegebene Hinweis, diese Anordnungen seien zu Testzwecken\n\nhergestellt worden, lässt es aber als möglich erscheinen, dass auf die Einstellung unterschiedlicher Druckverhältnisse verzichtet worden ist.\n\n58 cc) Vor diesem Hintergrund sind auch die Merkmale 1.3 und 1.5 nicht\neindeutig und unmittelbar offenbart.\n\n59 Die absorbierende Wirkung des im Hohlraum (36) angeordneten Gettermaterials kann zwar zu einer Beeinflussung der Druckverhältnisse führen, wenn\ndieser gegenüber dem benachbarten Hohlraum (54) abgedichtet ist, was zugunsten der Klägerin unterstellt werden kann. Mangels eines eindeutigen Hinweises darauf, dass die beiden in diesen Hohlräumen angeordneten Sensoren\nunterschiedliche Druckverhältnisse benötigen, kann hieraus jedoch nicht die\neindeutige Schlussfolgerung gezogen werden, dass ein Druckunterschied in\ndem hierfür erforderlichen Umfang besteht.\n\n60 Gegen eine diesbezügliche Schlussfolgerung spricht zudem der Umstand, dass E3 als Funktion des Gettermaterials ausschließlich die Absorption\nvon aus dem Glas austretendem Sauerstoff beschreibt. Diese Angabe deutet\neher darauf hin, dass das Gettermaterial nur zur Kompensation von störenden\nEinflüssen eingesetzt wird, um die bei der Herstellung bestehenden Druckverhältnisse dauerhaft beizubehalten, nicht aber zur Erzeugung einer wesentlichen\nDruckdifferenz, die den Betrieb von unterschiedlichen Sensorentypen mit unterschiedlichen Anforderungen an den Betriebsdruck ermöglicht.\n\n61 d) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts ergab sich aus E3\nkeine hinreichende Anregung, auf einem einzelnen Bauteil einen Drehratenund einen Beschleunigungssensor anzubringen und den hierfür erforderlichen\nDruckunterschied durch Anbringung eines Gettermaterials herbeizuführen.\n\n62 Wie bereits oben dargelegt wurde, ergeben sich aus dem Umstand, dass\ndie in E3 geschilderte Vorgehensweise dort ausdrücklich als für beide Sensortypen geeignet bezeichnet wird und dass E3 mehrfach auf die erfolgreiche Herstellung unterschiedlicher Sensortypen mit demselben Maskenset hinweist, kei-\n\nne konkreten Anhaltspunkte dafür, dass dabei auch die für den jeweiligen Typ\nerforderlichen unterschiedlichen Druckverhältnisse hergestellt wurden.\n\n63 Bei dieser Ausgangslage ergab sich weder aus E3 alleine noch aus einer\nergänzenden Heranziehung des allgemeinen Fachwissens eine hinreichende\nAnregung, mit Hilfe von Gettermaterial einen Druckunterschied in diesem Sinne\nzu erzeugen.\n\n64 2. Aus der Veröffentlichung von Yazdi et al. (Micromachined Inertial\nSensors, Proceedings of the IEEE 1998, 1640-1655, E6) ergeben sich ebenfalls\nkeine diesbezüglichen Anregungen.\n\n65 In E6 wird ausgeführt, insbesondere im Automobilsektor bestehe ein\ngroßes Bedürfnis nach mikromechanischen Inertialsensoren, die aus Beschleunigungsmessern und Gyroskopen bestünden (S. 1640 links unter I). Der Einsatz\nvon Mikromechanik könne die Sensorengröße um Größenordnungen verringern\nund erlaubt die Integration der Elektronik auf demselben Siliziumchip (S. 1630\nrechts Abs. 2).\n\n66 Daraus mag sich die Veranlassung ergeben haben, nach Wegen zu suchen, um die in E3 offenbarte Technologie auch für die Kombination von Beschleunigungsmessern und Gyroskopen auf einem Chip einsetzen zu können.\nAuch aus dieser zusätzlichen Information folgte für den Fachmann aber noch\nnicht die Veranlassung, die in E3 offenbarte Anordnung von Gettermaterial nicht\nnur zur Kompensation störender Einflüsse einzusetzen, sondern zur Erzeugung\neines Druckunterschieds, der die Kombination solcher Sensoren auf einem\nChip ermöglicht.\n\n67 3. Aus E5 ergaben sich keine weitergehenden Anregungen.\n\n68 a) E5 befasst sich mit der Verbesserung bekannter MEMS-Gehäuse,\nfür deren Herstellung die Vakuum-Wafer-Bonding-Technologie eingesetzt wird.\n\n69\n\nIn E5 wird unter anderem hervorgehoben, dass solche Bauteile je nach\nFunktion unterschiedliche Druckverhältnisse benötigen. In Tabelle 1 werden\nhierzu Werte angegeben, deren Größenordnung den in der Patentschrift genannten weitgehend entspricht. Das Zusammenfügen unter Vakuum auf\nWaferebene wird als anspruchsvoll bezeichnet. Um Lebenserwartung und Zuverlässigkeit zu verbessern, sei eine kontrollierte Einkapselung der Atmosphäre\nerforderlich (S. 802 links). Als in Betracht kommende Verbindungsmethode wird\ndas eutektische Bonding hervorgehoben (S. 802 rechts), je nach Verarbeitungsmethode etwa mit Mischungen aus Gold und Silizium, Gold und Germanium, Aluminium und Silizium oder Gold und Zinn (S. 803 links).\n\n70 Um ein geeignetes Vakuum mit einem Gesamtdruck von 0,1 µbar oder\nweniger und eine langfristige Stabilität zu gewährleisten, sei der Einsatz eines\nnicht flüchtigen (non-evaporable) Gettermaterials in Form einer Zirkoniumlegierung erforderlich. Diese Materialien könnten alle aktiven Gase chemisch absorbieren, insbesondere Wasser, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid, Sauerstoff, Stickstoff und Wasserstoff (S. 803 links). Der Getterfilm habe genügend Absorptionskapazität, um alle Gasverunreinigungen zu entfernen, die durch Ausgasung\ninterner Oberflächen sowie durch kleine Leckagen und Permeationen verursacht würden (S. 803 rechts).\n\n71 Vor diesem Hintergrund berichtet E5 über Versuche mit verschiedenen\nVorrichtungen, die mittels eutektischer Gold-Silizium-Technologie hergestellt\nworden seien. Bei der Herstellung solcher Vorrichtungen sei auf ein kontrolliertes Verfahren zur Gasfüllung zu achten. Nur Inertgase oder Gase, die den Getter nicht verbrauchten oder dessen Sorptionsleistung nicht veränderten, dürften\nin die Hohlräume verfüllt werden (S. 804 links unten und rechts oben).\n\n72 Bei der Darstellung der Ergebnisse wird zunächst der Zusammenhang\nzwischen Qualitätsfaktor und Innendruck aufgezeigt. Hierbei wird ausgeführt,\nder Innenraumdruck in der Vakuumkammer könne auf einen beliebigen Wert\nzwischen 0,1 µbar und 1000 mbar eingestellt werden. Der gemessene Quali-\n\ntätsfaktor sei aber lediglich ein Maß für den Gesamtdruck im Innenraum. Deshalb sei eine Reihe von Restgasanalysen durchgeführt worden (S. 805 links).\n\n73 Hierzu seien zunächst je eine Probe mit und ohne Getter eingesetzt worden, die beide keine Auffüllung aufgewiesen hätten. Die Probe ohne Getter habe ein Vakuum im Bereich von 1 mbar gezeigt, hauptsächlich aufgrund der\nAusgasung der inneren Oberflächen während des Erhitzens im Laufe des Produktionsprozesses. Die Probe mit Getter habe einen Druck von 0,41 mbar aufgewiesen; dieser sei durch die Edelgase dominiert worden, die bei den durchgeführten Metallisierungsprozessen freigesetzt würden (S. 806 rechts).\n\n74 Zur weiteren Erforschung seien drei weitere Proben mit Getter untersucht\nworden, von denen zwei mit und eine ohne Auffüllung versehen gewesen seien.\nSchon die erste dieser Proben sei mit einem Druck von 0,18 mbar von Interesse für die praktische Anwendung. Die zweite Probe mit einem Druck von\n0,07 mbar zeige, dass dieses Ergebnis durch Feinabstimmung des Auffüllvorgangs verbessert werden könne. Aus der dritten Probe ergebe sich, dass ein\nGesamtdruck von bis zu 0,1 µbar erzielt werden könne (S. 807 links).\n\n75 b) Daraus ergab sich für den Fachmann keine Anregung, innerhalb\ndesselben Produktionsprozesses durch gezielte Auswahl und Anordnung des\nGettermaterials unterschiedliche Druckverhältnisse in unterschiedlichen Hohlräumen herzustellen, die den Betrieb von unterschiedlichen Sensorentypen ermöglichen.\n\n76 E5 zeigt zwar in plausibler Weise auf, dass der Gasdruck in einem Hohlraum durch Einsatz eines geeigneten Gettermaterials beeinflusst werden kann.\nZugleich zeigt die Entgegenhaltung aber auf, dass der Befüllung, also der Auswahl der während des Produktionsprozesses eingesetzten Gase und den dabei\nherrschenden Druckverhältnissen, ebenfalls entscheidende Bedeutung zukommt. Daraus ergab sich ohne zusätzlichen Hinweis nicht die Anregung, bei\nunveränderten Produktionsbedingungen allein durch die Variation von Art oder\n\nAnordnung des Gettermaterials Druckunterschiede herbeizuführen. E5 zeigt\neine solche Vorgehensweise nicht auf.\n\n77 4. Für den Gegenstand von Patentanspruch 7 gilt nichts anderes.\n\n78 Vor dem aufgezeigten Hintergrund ergab sich weder aus E3 noch aus E5\neine Anregung, einen Druckunterschied durch Auswahl und Anordnung des\nGettermaterials und der Prozessgase herbeizuführen.\n\n79 IV. Die Entscheidung erweist sich nicht aus anderen Gründen als im\nErgebnis zutreffend.\n\n80 1. Dass sich aus anderen Entgegenhaltungen eine weitergehende\nAnregung ergeben könnte, ist weder geltend gemacht noch sonst ersichtlich.\n\n81 2. Entgegen der Auffassung der Klägerin ist die Erfindung im Streitpatent so offenbart, dass ein Fachmann sie ausführen kann.\n\n82 a) Dabei kann zugunsten der Klägerin unterstellt werden, dass der\nFachmann am Prioritätstag nicht ohne weiteres in der Lage war, einen Hohlraum mit einem Druck von rund 0,1 mbar, wie er typischerweise für einen\nDrehratensensor eingesetzt wird, mit einem anderen Hohlraum zu kombinieren,\nin dem der Druck mehr als 200 mbar beträgt.\n\n83 Unter dieser Prämisse war es zwar nicht ohne erfinderisches Zutun möglich, im zweiten Hohlraum einen Betriebsdruck zu erzeugen, der innerhalb des\nin der Tabelle in Abs. 3 der Streitpatentschrift als typisch angegebenen Bereichs für Beschleunigungssensoren liegt. Wie bereits im Zusammenhang mit\nder Auslegung des Streitpatents dargelegt wurde, haben die Zahlenwerte aus\ndieser Tabelle aber keinen unmittelbaren Niederschlag in Patentanspruch 1\ngefunden. Deshalb reicht es aus, wenn der Betriebsdruck jedenfalls die für Beschleunigungssensoren erforderliche Größenordnung erreicht. Diese wird in der\nBeschreibung des Streitpatents mit einigen hundert Millibar angegeben. Diese\nVoraussetzung ist bei einem Druck von rund 200 mbar noch erfüllt.\n\n84 b) An einer ausführbaren Offenbarung fehlt es auch nicht deshalb,\nweil das Streitpatent einen weitergehenden Druckbereich beansprucht.\n\n85 Nach der Rechtsprechung des Senats ist es bei einem Merkmal, das in\nverallgemeinerter Form beansprucht ist, nicht generell erforderlich, dass die\nPatentschrift dem Fachmann für jede denkbare Ausführungsform einen gangbaren Weg zu deren Verwirklichung aufzeigt. Die Frage, ob die Erfindung ausführbar offenbart ist, bedarf in solchen Fällen stets einer wertenden Betrachtung. Welches Maß an Verallgemeinerung zulässig ist, richtet sich im Einzelfall\ndanach, ob der mit der jeweiligen Anspruchsfassung erschlossene Schutz sich\nim Rahmen dessen hält, was dem Patent aus Sicht des Fachmanns unter Berücksichtigung der Beschreibung und der darin enthaltenen Ausführungsbeispiele als allgemeinste Form der technischen Lehre zu entnehmen ist, durch die\ndas der Erfindung zu Grunde liegende Problem gelöst wird (BGH, Beschluss\nvom 11. September 2013 - X ZB 8/12, BGHZ 198, 205 = GRUR 2013, 1210\nRn. 21 - Dipeptidyl-Peptidase-Inhibitoren; Urteil vom 17. Januar 2017 -\nX ZR 11/15, GRUR 2017, 493 Rn. 36 - Borrelioseassay).\n\n86 Nach diesen Grundsätzen kann ein nur in einer Richtung begrenzter\nWertebereich ausführbar offenbart sein, wenn sich die Erfindung nicht in der\nEröffnung eines bestimmten Bereichs erschöpft, sondern eine darüber hinausgehende, verallgemeinerbare Lehre aufzeigt, die es dem Fachmann erstmals\nermöglicht, nach weiteren Verbesserungsmöglichkeiten zu suchen und den im\nPatent konkret aufgezeigten Höchstwert zu übertreffen. Wenn diese Voraussetzungen vorliegen, beruht eine spätere Erfindung, die den vom Patent aufgezeigten Ansatz nutzt und durch zusätzliche oder abgewandelte Maßnahmen zu\nweiteren Verbesserungen führt, auf dem Beitrag, den das Patent zum Stand der\nTechnik geleistet hat (BGH, Urteil vom 12. März 2019 - X ZR 32/17, GRUR\n2019, 713 Rn. 42 - Cer-Zirkonium-Mischoxid I).\n\n87 Im Streitfall zeigt das Streitpatent eine verallgemeinerbare Lehre auf, die\nes dem Fachmann unabhängig von konkreten Druckbereichen ermöglicht, trotz\ngleicher Druckverhältnisse während des Herstellungsvorgangs unterschiedliche\nHohlräume mit unterschiedlichen Druckverhältnissen zu erzeugen. Es hat damit\neinen neuen Weg aufgezeigt, auf dem im Wege der Optimierung noch größere\n\nDruckunterschiede herbeigeführt werden können. Bei dieser Ausgangslage ist\ndie Erfindung auch ohne Vorgabe eines konkreten Druckbereichs ausführbar\noffenbart.\n\n88 3. Entgegen der Auffassung der Klägerin ist die mit dem Hauptantrag\nverteidigte Kombination aus einem Beschleunigungs- und einem Drehratensensor in den ursprünglich eingereichten Unterlagen, die als WO 2007/113325\n(NK4) veröffentlicht sind, als zur Erfindung gehörend offenbart.\n\n89 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob jede beliebige Kombination zwischen zwei der in der Anmeldung angeführten Arten von Sensoren und sonstigen Bauteilen in der erforderlichen Weise offenbart ist. Für eine Kombination\naus Beschleunigungs- und Drehratensensor ist diese Frage jedenfalls deshalb\nzu bejahen, weil diese in den einleitenden Passagen der Beschreibung (NK4\nS. 1 Z. 38 bis S. 2 Z. 3 = Patentschrift Abs. 3) und die weiteren Ausführungen in\nder Patentschrift das Bestreben erkennen lassen, eine möglichst große Anzahl\nan verschiedenen Kombinationen zu ermöglichen.\n\n90 V. Der Rechtsstreit ist zur Entscheidung reif.\n\n91 Das Streitpatent erweist sich in der mit dem Hauptantrag verteidigten\nFassung aus den oben aufgezeigten Gründen als rechtsbeständig.\n\n92 VI. Die Kostenentscheidung beruht auf § 121 Abs. 2 PatG in Verbindung mit § 91 Abs. 1 und § 92 Abs. 1 ZPO.\n\nBacher Grabinski Hoffmann\n\nMarx Rensen\n\nVorinstanz:\nBundespatentgericht, Entscheidung vom 16.05.2018 - 6 Ni 66/16 (EP) -","source":null,"source_url":null,"url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2020-09-01/x-zr-153-18","cited_norms":[{"jurabk":"PatG","ref":"§ 121","ref_norm":"121","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 92","ref_norm":"92","n":1}],"authoritative_source":null,"attribution":null,"source_info":{"name":"nu:legal Deutsches Recht","operator":"Nulegal GmbH","terms":"https://recht.nulegal.eu/nutzungsbedingungen","attribution":"Source: nu:legal – recht.nulegal.eu","license_url":"https://recht.nulegal.eu/license","url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2020-09-01/x-zr-153-18","retrieved":"2026-10-24 08:01:37.086791+00:00"},"card":{"id":"bgh/2020-09-01/x-zr-153-18","court":"BGH","court_id":"bgh","court_as_stated":"BGH","panel":"10. Zivilsenat","date":"2020-09-01","dockets":["X ZR 153/18"],"decision_type":"Urteil","ecli":"ECLI:DE:BGH:2020:010920UXZR153.18.0","ids":{"ecli":"ECLI:DE:BGH:2020:010920UXZR153.18.0"},"cite_as":"BGH, Urteil vom 01.09.2020 – X ZR 153/18","url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2020-09-01/x-zr-153-18","headnotes":[],"leitsatz_status":"not_captured","tenor":{"text":"Auf die Berufung des Beklagten wird das Urteil des 6. Senats\n(Nichtigkeitssenats) des Bundespatentgerichts vom 16. Mai 2018\nabgeändert.\n\nDas europäische Patent 2 004 542 wird mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland dadurch teilweise für nichtig erklärt, dass\ndie Patentansprüche folgende Fassung erhalten:\n\n1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so durch einen hermetisch\nschließenden Bondrahmen miteinander verbunden sind, dass\nsie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung\nabgedichtet sind, wobei in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor und in dem zweiten Hohlraum ein Beschleunigungssensor angeordnet ist und wobei der erste Hohlraum einen anderen Innendruck aufweist als der zweite Hohlraum, dadurch\ngekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und dass sein Innendruck aufgrund dieses Gettermaterials anders ist als der Innendruck des\nzweiten Hohlraums.\n\n2. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der\nerste Hohlraum aufgrund dieses Gettermaterials auch eine\nandere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.\n\n3. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume kein Gettermaterial enthält.\n\n4. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume ein zweites Gettermaterial\nenthält, dessen Gasabsorptionseigenschaften sich von denen\ndes Gettermaterials in dem ersten Hohlraum unterscheidet.\n\n5. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass\nder zweite der beiden Hohlräume dasselbe Gettermaterial wie\nder erste Hohlraum enthält, jedoch in einer geringeren Menge\nbzw. Fläche, bezogen auf das Volumen des Hohlraums.\n\n6. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gettermaterial zumindest in Teilbereichen\nstrukturiert ist.\n\n7. Verfahren zum Herstellen eines Bauteils wie in einem der Ansprüche 1 bis 6 definiert, umfassend die folgenden Schritte:\n\na) Bereitstellen eines in den Bereichen des ersten Hohlraums\nmit einem ersten Gettermaterial beschichteten flächigen\nSubstrats oder einer solchen, ggf. flächig ausgebildeten\nKappenstruktur,\n\nb) Justieren des flächigen Substrats oder der Kappenstruktur\nzu einem entsprechenden Kappen- oder Substratgegenstück,\n\nc) Einbringen des Paars aus flächigem Substrat und ggf. flächig ausgebildeter Kappenstruktur in eine Prozesskammer,\n\nd) Fluten der Prozesskammer mit einem Prozessgas, enthaltend eine oder bestehend aus einer Gassorte A, die von\n\ndem oder einem ersten Gettermaterial absorbiert werden\nkann, und ggf. einer Gassorte B, die von diesem Gettermaterial nicht oder in substantiell geringerem Ausmaß absorbiert werden kann, wobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA und Gassorte B mit dem Partialdruck PB vorliegt,\n\ne) In-Kontakt-Bringen von Kappenstruktur und Substrat und\nVerbinden dieser beiden Teile mit Hilfe einer geeigneten\nVerbindungstechnik,\n\nf) Aktivieren des ersten Gettermaterials derart, dass es Moleküle der Gassorte A absorbiert.\n\n8. Verfahren nach Anspruch 7 zum Herstellen eines Bauteils mit\nmehr als zwei Hohlräumen und Gettermaterialien zumindest in\nden beiden ersten Hohlräumen, wobei das Prozessgas zusätzlich eine weitere Gassorte C aufweist und das Gettermaterial im\nersten Hohlraum eine gegenüber der Gasmischung erste Absorptionseigenschaft und das Gettermaterial im zweiten Hohlraum eine gegenüber der Gasmischung zweite Absorptionseigenschaft hat, wobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA,\ndie Gassorte B mit dem Partialdruck PB und die Gassorte C mit\ndem Partialdruck PC vorliegt.\n\nIm Übrigen wird die Klage abgewiesen.\n\nVon den erstinstanzlichen Kosten des Rechtsstreits tragen die\nKlägerin zwei Drittel und der Beklagte ein Drittel. Die Kosten des\nBerufungsverfahrens trägt die Klägerin.","basis":"court_formula","source":null},"tenor_status":"held","cited_norms":[{"id":"PatG/121","law":"PatG","abbreviation":"PatG","ref":"121","label":"§ 121 PatG","mentions":1},{"id":"ZPO/92","law":"ZPO","abbreviation":"ZPO","ref":"92","label":"§ 92 ZPO","mentions":1}],"cited_norms_basis":"extracted_from_text","normenkette":null,"proceeding":{"entries":[],"has_records":false,"note":"No Verfahrensgang record names this decision. That says nothing about whether earlier or later decisions exist."},"fundstellen":[],"provenance":{"source":null,"source_url":null,"retrieved_at":"2026-10-24T08:01:37.086791+00:00","text_quality":"native","attribution":null},"ai_summary":null,"ai_summary_available":false}}