{"status":"available","ecli":"ECLI:DE:BGH:2018:270318UXZR143.15.0","court":"BGH","senate":"10. Zivilsenat","decided":"2018-03-27","aktenzeichen":"X ZR 143/15","doktyp":"Urteil","leitsatz":null,"text_plain":"Berichtigt durch Beschluss\nvom 19. Juni 2018\nAnderer\nJustizangestellte\nals Urkundsbeamtin\nder Geschäftsstelle\n\nBUNDESGERICHTSHOF\nIM NAMEN DES VOLKES\nURTEIL\nX ZR 143/15 Verkündet am:\n27. März 2018\nAnderer\nJustizangestellte\nals Urkundsbeamtin\nder Geschäftsstelle\n\nin der Patentnichtigkeitssache\n\nECLI:DE:BGH:2018:270318UXZR143.15.0\n\nDer X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat auf die mündliche Verhandlung\nvom 20. Februar 2018 durch den Vorsitzenden Richter Prof. Dr. Meier-Beck, die\nRichter Dr. Grabinski und Dr. Bacher sowie die Richterinnen Dr. Kober-Dehm\nund Dr. Marx\n\nfür Recht erkannt:\n\nDie Berufung gegen das Urteil des 6. Senats (Nichtigkeitssenats)\ndes Bundespatentgerichts vom 1. Oktober 2015 wird auf Kosten\nder Beklagten zurückgewiesen.\n\nVon Rechts wegen\n\nTatbestand:\n\n1 Die Beklagte ist Inhaberin des mit Wirkung für die Bundesrepublik\nDeutschland erteilten europäischen Patents 754 103, das am 29. März 1995\nunter Inanspruchnahme einer Priorität vom 8. April 1994 angemeldet worden ist\nund ein Verfahren zum Steuern der Konfiguration für laserinduziertes Zerstören\nund Abtragen betrifft. Patentanspruch 1, auf den 27 weitere Patentansprüche\nzurückbezogen sind, lautet in der Verfahrenssprache:\n\nA method for laser induced breakdown (LIB) of a material with a pulsed laser\nbeam, the material being characterized by a relationship of fluence breakdown\nthreshold versus laser pulse width that exhibits a rapid and distinct change in\nslope at a characteristic laser pulse width, said method comprising the steps of:\na) generating a beam of one or more laser pulses in which each pulse\nhas a pulse width equal to or less than said characteristic laser pulse\nwidth; and\nb) focusing said beam to a point at or beneath the surface of the material.\n\n2 Die Klägerin, die von der Beklagten wegen Verletzung des Streitpatents\ngerichtlich in Anspruch genommen wird, hat geltend gemacht, das Streitpatent\noffenbare die Erfindung nicht so, dass der Fachmann sie ausführen könne. Sein\nGegenstand gehe ferner über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus und sei nicht patentfähig. Die Beklagte hat das Schutzrecht in der\nerteilten Fassung und hilfsweise in sechs geänderten Fassungen verteidigt.\n\n3 Das Patentgericht hat das Streitpatent für nichtig erklärt. Dagegen wendet sich die Berufung der Beklagten, die ihre erstinstanzlichen Anträge weiterverfolgt und sechs zusätzliche Hilfsanträge stellt. Die Klägerin tritt dem Rechtsmittel entgegen.\n\nEntscheidungsgründe:\n\n4 Die zulässige Berufung ist unbegründet.\n\n5 I. Das Streitpatent betrifft ein Verfahren zur laserinduzierten Zerstörung\nvon Material.\n\n6 1. Nach den Ausführungen im Streitpatent waren im Stand der Technik\nVerfahren bekannt, um Material mit Hilfe von gepulsten Laserstrahlen zu zerstören. Diese Verfahren hätten den Nachteil, dass die Wirkung des Strahls über\nden fokussierten Bereich oder Punkt hinausreiche, wobei der betroffene Bereich\nmitunter mehrfach größer sei als der fokussierte Punkt.\n\n7 Das Streitpatent betrifft das technische Problem, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem der von der Zerstörung betroffene Bereich besser\neingegrenzt werden kann.\n\n8 2. Zur Lösung dieses Problems schlägt die erteilte Fassung des Streitpatents ein Verfahren vor, dessen Merkmale sich wie folgt gliedern lassen:\n\na) Das Verfahren dient der laserinduzierten Zerstörung (laser induced breakdown, LIB) von Material mit einem gepulsten\nLaserstrahl.\n\nb) Das Material wird charakterisiert durch eine Beziehung zwischen dem für eine Zerstörung zu erreichenden Schwellenwert\nfür die Fluenz (fluence breakdown threshold) und der Pulsbreite\ndes Lasers (laser pulse width), deren Steigung bei einer charakteristischen Pulsbreite eine rasche und ausgeprägte Änderung zeigt.\n\nc) Zur Zerstörung wird ein Strahl mit einem oder mehreren Laserimpulsen erzeugt, deren Pulsbreite gleich oder geringer ist als\ndie für das Material charakteristische Pulsbreite.\n\nd) Der Strahl wird auf einen Punkt an oder unter der Oberfläche\ndes Materials fokussiert.\n\n9 3. Einige Merkmale bedürfen näherer Betrachtung.\n\n10 a) Laserinduzierte Zerstörung von Material im Sinne von Merkmal a ist,\nwie das Patentgericht zu Recht ausgeführt hat, jede irreversible Veränderung\neines Materials durch Einwirkung eines Laserstrahls.\n\n11 Nach den Ausführungen in der Beschreibung kann die Zerstörung unterschiedliche Ursachen haben, die kumulativ auftreten können. Patentanspruch 1\nenthält keine Festlegung auf eine dieser Ursachen.\n\n12 Entgegen der Auffassung der Beklagten führen die Ausführungen in der\nBeschreibung, laserinduzierte optische Zerstörung von Dielektrika bestehe\nhauptsächlich aus drei Schritten, nämlich Erzeugung und Multiplikation freier\nElektronen, Plasmaerhitzung und Deformation oder Zerstörung des Materials\n(S. 6 Z. 49-51), nicht zu einer abweichenden Beurteilung. Diese Ausführungen\nbeziehen sich nur auf Dielektrika und damit nicht auf die in Ausführungsbeispiel\n1 eingesetzten Metalle wie Gold (S. 4 Z. 8, S. 5 Z. 3 f.), Silber (S. 5 Z. 17-19)\nund Aluminium (S. 5 Z. 19). Darüber hinaus werden an anderen Stellen der Beschreibung sowohl im Zusammenhang mit dem Stand der Technik (S. 2 Z. 16)\nals auch im Zusammenhang mit der Erfindung (S. 8 Z. 5-9) andere Zustandsveränderungen wie Schmelzen und Verdampfen angeführt.\n\n13 Ebenfalls nicht zu einer abweichenden Beurteilung führt der Umstand,\ndass bei den in der Streitpatentschrift geschilderten Ausführungsbeispielen die\n\ndurch Plasma emittierte Energie als Indikator dafür herangezogen wird, ob es\nzu einer Materialzerstörung gekommen ist. Diesem Umstand ist zwar zu entnehmen, dass es bei den betreffenden Versuchen zu einer Plasmabildung gekommen ist. Die genannte Messmethode wurde nach der Beschreibung aber\nnur bei den Versuchen mit nicht lichtdurchlässigem Material eingesetzt. Bei\nVersuchen mit lichtdurchlässigem Material wurde demgegenüber die Veränderung der durch die Probe hindurchtretenden Energie gemessen (S. 2 Z. 43). Ob\ndie Bildung von Plasma in der Probe auch hierfür von Bedeutung ist, lässt sich\nder Beschreibung nicht entnehmen.\n\n14 b) Ein gepulster Laserstrahl besteht gemäß Merkmal c aus einem oder\nmehreren Laserimpulsen. Die Dauer eines einzelnen Impulses wird in der\nStreitpatentschrift in Einklang mit dem gängigen wissenschaftlichen Sprachgebrauch als Pulsbreite (pulse width) bezeichnet. Der in der deutschen Übersetzung verwendete Ausdruck \"Impulsbreite\" ist, wie das Patentgericht in seinem\ngemäß § 83 PatG erteilten Hinweis unangegriffen ausgeführt hat, hingegen\neher missverständlich.\n\n15 Als typische Pulsbreiten für die geschilderten Ausführungsbeispiele werden in der Beschreibung des Streitpatents beispielhaft Pulsbreiten im Bereich\nvon einigen Hundert Picosekunden (1 ps = 10-12 s) und weniger bei einer Frequenz im Bereich von einem Kilohertz genannt (S. 4 Z. 20-22). Bei diesen Werten werden in einer Sekunde rund 1000 Impulse erzeugt, die insgesamt aber\nnur einige Hundert Nanosekunden (1 ns = 10-9 s) andauern.\n\n16 c) Die Fluenz (fluence) bezeichnet die Energieflussdichte, also das Maß\nan Energie, das mit dem Laserstrahl auf einer bestimmten Fläche des Materials\naufgebracht wird. In der Beschreibung des Streitpatents werden Werte zwischen 0,1 und 100 Joule pro Quadratzentimeter (J/cm²) als vorzugswürdig bezeichnet (S. 3 Z. 17-19).\n\n17 d) Von besonderer Bedeutung ist die in Merkmal b definierte charakteristische Pulsbreite.\n\n18 aa) Maßgeblich für diesen Wert ist die Beziehung zwischen dem Mindestmaß an Fluenz, das erreicht werden muss, um eine Zerstörung des Materials zu erzielen, und der Pulsbreite des hierzu eingesetzten Strahls.\n\n19 Bei relativ großen Pulsbreiten (etwa im Bereich von Nanometern) stehen\ndie beiden genannten Größen in einer festen Beziehung. Der Schwellenwert\nder Fluenz ändert sich entsprechend der Quadratwurzel der Pulsbreite. Er wird\nfolglich umso kleiner, je geringer die Pulsbreite ist.\n\n20 Von einem bestimmten Wert an ist dieser Zusammenhang aufgehoben\n(S. 2 Z. 47-49). Eine weitere Verringerung der Pulsbreite führt dann nur noch zu\neiner relativ geringfügigen oder zu keiner Absenkung des Schwellenwerts mehr.\nIn mathematischer Terminologie kann dies dahin ausgedrückt werden, dass die\nBeziehung zwischen Schwellenwert und Pulsbreite eine rasche und ausgeprägte Änderung ihrer Steigung erfährt. Der Wert, bei dem diese Änderung eintritt,\nbezeichnet die charakteristische Pulsbreite im Sinne von Merkmal b.\n\n21 bb) Der Wert der charakteristischen Pulsbreite hängt nach der Beschreibung des Streitpatents von dem Material ab, das zerstört werden soll.\n\n22 In der Streitpatentschrift wird der charakteristische Wert für Gold bei\neiner Wellenlänge von 800 Nanometer mit rund 7 Picosekunden angegeben.\nBei diesem Wert sei die thermische Diffusionslänge gleich groß wie die Absorptionstiefe. Dies wird als unerwartet bezeichnet (S. 4 Z. 51-57 mit Figur 3).\n\n23 Für Siliziumdioxid (Glas) wird der charakteristische Wert mit rund 10\nPicosekunden angegeben. Wenn die Pulsbreite auf Werte unter einigen Pico-\n\nsekunden sinke, steige der Schwellenwert sogar wieder an (S. 6 Z. 19-23 mit\nFigur 8).\n\n24 Für (Augen-)Hornhaut wird ebenfalls angegeben, der feste Zusammenhang zwischen Schwellenwert und Pulsbreite bestehe bis zu einer Pulsbreite\nvon etwa 10 Picosekunden, während bei Werten von einigen wenigen Picosekunden kaum noch eine Veränderung auftrete (S. 6 Z. 37-39 mit Figur 9).\n\n25 cc) Die charakteristische Pulsbreite stellt gemäß Merkmal b nicht einen\nVerfahrensschritt dar, sondern eine für das jeweilige Material charakteristische\nEigenschaft. Diese ist erforderlich zur Verwirklichung von Merkmal c.\n\n26 Die Beschaffung von Informationen darüber, ob ein bestimmtes Material\ndiese Eigenschaft hat und wie groß seine charakteristische Pulsbreite ist, bildet\nkeinen Bestandteil des geschützten Verfahrens. Dieses erfordert lediglich, dass\nein Material eingesetzt wird, das diese Eigenschaft aufweist. Auf welche Weise\ndie dafür erforderlichen Informationen erlangt werden, überlässt das Streitpatent dem Fachmann.\n\n27 e) Nach Merkmal c muss zur Zerstörung des Materials eine Pulsbreite\neingesetzt werden, die nicht größer ist als die für dieses Material charakteristische Pulsbreite.\n\n28 Hierzu muss die charakteristische Pulsbreite nicht exakt bekannt sein. Es\ngenügt, wenn der eingesetzte Laserstrahl eine Pulsbreite hat, bei der mit hinreichender Sicherheit davon ausgegangen werden kann, dass sie die charakteristische Pulsbreite nicht übersteigt.\n\n29 Unterhalb dieser Grenze bleibt die Auswahl der eingesetzten Pulsbreite\ndem Fachmann überlassen. So wird in der Beschreibung des Streitpatents im\nZusammenhang mit der Bestrahlung von Gold ausgeführt, um die Zerstörungs-\n\nwirkung auf einen kleineren Punkt zu beschränken, müsse anstelle der charakteristischen Pulsbreite von rund 7 Picosekunden ein deutlich kleinerer Wert gewählt werden, etwa in der Größenordnung von 100 Femtosekunden (1 fs\n= 10-15 s) oder kürzer (S. 4 Z. 54 f.).\n\n30 f) Entgegen der Auffassung der Beklagten ergibt sich aus den Merkmalen b und c nicht die implizite Festlegung, dass der Laserstrahl eine Wellenlänge aufweist, bei der eine charakteristische Pulsbreite im Sinne von Merkmal b\nauftritt.\n\n31 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob es Materialien gibt, die nicht bei\nallen zur Materialzerstörung geeigneten Wellenlängen eine charakteristische\nPulsbreite in diesem Sinne aufweisen. Selbst wenn dies zu bejahen wäre, könnten Patentanspruch 1 keine Festlegungen bezüglich der Wellenlänge entnommen werden. Aus dem Umstand, dass die Merkmale b und c Festlegungen nur\nhinsichtlich der Pulsbreite treffen, ergibt sich vielmehr, dass in Bezug auf die\nWellenlänge keine zusätzlichen Anforderungen bestehen.\n\n32 Hinweise auf eine weitergehende Festlegung lassen sich auch der Beschreibung des Streitpatents nicht entnehmen. Dort wird zwar ausgeführt, bei\nden geschilderten Ausführungsbeispielen seien Laserstrahlen mit Wellenlängen\nvon 800 Nanometer (S. 3 Z. 36 f.; S. 4 Z. 47; S. 5 Z. 14), 770 Nanometer (S. 6\nZ. 39 f.) und 780 Nanometer (S. 7 Z. 51) eingesetzt worden. Ferner wird dargelegt, die beschriebenen Probleme im Stand der Technik träten vor allem bei\nnicht absorbierbaren Wellenlängen auf (S. 2 Z. 25 f.) und für das erfindungsgemäße Verfahren seien Wellenlängen im Bereich zwischen 200 Nanometer und\n1 Mikrometer vorzugswürdig (S. 3 Z. 18 f.). Dem lässt sich aber nicht entnehmen, dass ein Zusammenhang zwischen der eingesetzten Wellenlänge und\ndem Auftreten einer charakteristischen Pulsbreite im Sinne von Merkmal b besteht und dass deshalb nicht nur die Pulsbreite, sondern auch die Wellenlänge\ninsoweit an das zu bearbeitende Material angepasst werden müssen.\n\n33 g) Wie viele Pulse auf eine bestimmte Stelle des Materials gelenkt werden, um die angestrebte Zerstörungswirkung zu erzielen, ist in Patentanspruch 1 nicht festgelegt.\n\n34 aa) Aus dem Umstand, dass der Laserstrahl gemäß Merkmal c auch\nmehrere Pulse umfassen darf, folgt zwar nicht zwingend, dass mehrere Pulse\nauf dieselbe Stelle gelenkt werden. Patentanspruch 1 schließt diese Verfahrensweise aber auch nicht ausdrücklich aus. Damit bleibt die konkrete Ausgestaltung des Verfahrens insoweit dem Fachmann überlassen.\n\n35 Aus der Schilderung von Ausführungsbeispiel 2 ergibt sich keine abweichende Beurteilung. Dort wird zwar ausgeführt, jede Stelle auf der Probe sei nur\neinmal durch den Laser beleuchtet worden (S. 5 Z. 57 f.). Dies bezieht sich aber\nnur auf eines von drei Ausführungsbeispielen. Für die Beispiele 1 und 3 finden\nsich weder entsprechende Angaben noch sonstige Hinweise darauf, dass die\nnur einmalige Bestrahlung von entscheidender Bedeutung ist.\n\n36 bb) Entgegen der Auffassung der Beklagten ist den Merkmalen a und d\nauch nicht zu entnehmen, dass ein einzelner Laserimpuls jedenfalls geeignet\nsein muss, eine Materialzerstörung zu bewirken.\n\n37 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob sich aus den in den Figuren 2 und 3\ndargestellten Messwerten ergibt, dass in den Ausführungsbeispielen, mit denen\ndiese Werte ermittelt wurden, jeder einzelne Laserimpuls mit einer Pulsbreite\ngemäß den Merkmalen b und c zu einer Materialzerstörung geführt hat. Selbst\nwenn dies zu bejahen wäre, hätte dies in der erteilten Fassung von Patentanspruch 1 jedenfalls keinen Niederschlag gefunden. Als Kriterium für die Eignung\neines Laserstrahls zur Materialzerstörung sieht Merkmal c lediglich vor, dass\ndie charakteristische Pulsbreite im Sinne von Merkmal b nicht überschritten\nwird, nicht aber, dass die Pulsbreite oder ein sonstiger Parameter darüber hin-\n\naus so festgelegt ist, dass bereits ein einzelner Laserimpuls zu einer Materialzerstörung führt.\n\n38 II. Das Patentgericht hat seine Entscheidung im Wesentlichen wie folgt\nbegründet:\n\n39 Der Gegenstand des Streitpatents gehe nicht über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus. In der Anmeldung werde der Begriff \"characteristic\" zwar nicht in direktem Zusammenhang mit der Pulsbreite\nverwendet. Aus dem Gesamtzusammenhang ergebe sich jedoch, dass sich für\nbestimmte Materialien wie Gold, Hornhaut und Siliziumdioxid-Glas charakteristische Kurven ergäben.\n\n40 Die Erfindung sei auch so offenbart, dass der Fachmann, ein Diplom-Physiker mit Erfahrung auf dem Gebiet laserinduzierter Materialabtragung, sie\nausführen könne. Im Zusammenhang mit den Figuren 3 und 8 sei deutlich und\nvollständig offenbart, wie eine rasche und ausgeprägte Steigungsänderung definiert bzw. feststellbar sei. Vor diesem Hintergrund lasse sich aus dem Verlauf\nder in Figur 9 dargestellten Kurve eine erkennbare Steigungsänderung entnehmen.\n\n41 Der Gegenstand des Streitpatents sei aber in der Veröffentlichung von\nSherman et al (K3) vollständig offenbart. Dort würden in den Figuren 1a und 1b\nfür Kupfer und Molybdän Beziehungen zwischen dem für eine Zerstörung zu\nerreichenden Schwellenwert für die Fluenz und der Pulsbreite dargestellt. Diese\nzeigten eine rasche und ausgeprägte Steigungsänderung unterhalb von 1000\nPicosekunden. Ferner sei das Erzeugen eines Strahls mit einem oder mehreren\nLaserpulsen beschrieben, deren Pulsbreite gleich oder geringer sei als die für\ndas Material charakteristische Pulsbreite. Der von der Beklagten erhobene Einwand, die in K3 veröffentlichten Daten seien unzuverlässig und zweifelhaft, sei\n\nunerheblich, weil in K3 alle vom Streitpatent beanspruchten Merkmale offenbart\nseien.\n\n42 Der mit Hilfsantrag 1 verteidigte Gegenstand sei durch die Veröffentlichung von Soileau et al (K4) und die US-Patentschrift 5 223 692 (K14) nahegelegt. In K4 werde die laserinduzierte Zerstörung und Bearbeitung von Siliziumdioxid-Quarzglas mit einem gepulsten Laserstrahl offenbart. Dieses Material\nweise zwangsläufig dieselben charakteristischen Eigenschaften in Bezug auf\nPulsbreite und Schwellenwert auf wie das in einem der Ausführungsbeispiele\nder Streitpatentschrift eingesetzte Material. Die in K4 eingesetzte Pulsbreite\nliege im einstelligen Picosekundenbereich, was der charakteristischen Pulsbreite entspreche. K4 offenbare auch, dass der Laserstrahl auf einen Punkt unterhalb der Oberfläche fokussiert werde. Das in K4 nicht offenbarte Merkmal, wonach das Material entlang eines vorbestimmten Pfades bearbeitet werde, sei\ndurch K14 nahegelegt.\n\n43 Der mit Hilfsantrag 1a verteidigte Gegenstand gehe über den Inhalt der\nursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus. In der Anmeldung seien als metallische Materialien lediglich Gold, Aluminium sowie eine Silberschicht auf Glas\noffenbart, und zwar in Zusammenhang mit bestimmten Pulsbreiten und Energiewerten. Dem sei nicht zu entnehmen, dass das Verfahren für jedes Metall\nohne nähere Angaben zu Pulsbreite und Energie beansprucht würden.\n\n44 Der mit Hilfsantrag 2 verteidigte Gegenstand sei ebenfalls durch K4 und\nK14 nahegelegt. In K4 sei die Steuerung der Laserpulse mit einem Mikroprozessor offenbart. Der in der ersten Zeile von Tabelle VI angegebene Leistungswert PB weise eine Toleranz knapp unterhalb von 10 % auf und liege damit im\nbeanspruchten Bereich. Dass es sich hierbei nur um einen Messwert und nicht\num die tatsächlich vom Laser bereitgestellte Leistung handle, sei unerheblich,\nweil der Fachmann generell das Ziel habe, Schwankungen der Laserleistung zu\nbegrenzen.\n\n45 Hilfsantrag 3 sei unzulässig, weil er wie Hilfsantrag 1a auf Schutz für ein\nMaterial aus nicht näher spezifiziertem Metall gerichtet sei.\n\n46 Der mit Hilfsantrag 4 verteidigte Gegenstand sei durch K3 und K14\nnahegelegt. Aus K3 sei bereits bekannt gewesen, dass die charakteristischen\nPulsbreiten der bearbeiteten Materialien nicht nur auf Basis von Berechnungen,\nsondern auch auf Grundlage experimenteller Daten bestimmt worden seien.\n\n47 Der mit Hilfsantrag 5 verteidigte Gegenstand sei durch K4 und die Veröffentlichung von Deckman et al (K9) nahegelegt. Der Fachmann entnehme K4,\ndass der Laserstrahl auf einen Punkt in der Nähe bzw. an der Oberfläche des\nMaterials fokussiert werde und dass er ein räumliches Gaußprofil aufweise.\nHierbei lese er mit, dass es sich um eine in Bezug auf die Ausbreitungsrichtung\nlaterale Verteilung handle und die Strahlung in der Mitte am intensivsten sei. Da\nK4 lediglich Grundlagen der Wechselwirkung eines Laserstrahls mit Siliziumdioxid-Glas behandle, habe der anwendungsorientierte Fachmann ferner Veranlassung gehabt, Veröffentlichungen wie K9 heranzuziehen, die sich mit der Anwendung von Picosekunden-Laserpulsen in Bezug auf das genannte Material\nbezögen. Aus K9 ergebe sich für den Fachmann, dass der Radius des durch\nMaterialabtragung bzw. Ablation entstandenen Lochs weniger als 60 % des\nRadius des Laserstrahls betrage.\n\n48 III. Diese Beurteilung hält der Überprüfung im Berufungsverfahren\nstand.\n\n49 1. Zu Recht ist das Patentgericht zu dem Ergebnis gelangt, dass in der\nVeröffentlichung von Sherman et al (Transient response of metals to ultrashort\npulse excitation, Optical Engineering 1989, 1114-1120, K3) alle in der erteilten\nFassung von Patentanspruch 1 vorgesehenen Merkmale offenbart sind.\n\n50 a) In K3 wird über Versuche zur Zerstörung von Metallspiegeln durch\nLaserpulsstrahlung berichtet.\n\n51 In den Versuchen wurden Spiegel aus Kupfer, Molybdän und mit Gold\nbeschichtetem Edelstahl mit Laserstrahlen bestrahlt, die eine Wellenlänge von\n9,3 Mikrometer und vier unterschiedliche Pulsbreiten (2,5 und 50 Picosekunden\nsowie 15 und 80 Nanosekunden) aufwiesen. Um festzustellen, ob die Bestrahlung zu einer Beschädigung geführt hat, wurden unter anderem Änderungen\nder Reflexionseigenschaften in Abhängigkeit von der Anzahl der Impulse beobachtet und die Oberfläche der Spiegel nach mehr als 100 Impulsen unter\neinem Mikroskop auf sichtbare Beschädigungen untersucht.\n\n52 Anhand der gewonnenen Messwerte, die mit Messwerten aus einer\nfrüheren Veröffentlichung von Figueira et al (Damage threshold of metal\nsurfaces for short pulse IR lasers, IEEE J. Quantum Electron. 1982, 1381-1386,\nB2) kombiniert werden, wird in K3 ausgeführt, bei Molybdän und Kupfer sei der\nSchwellenwert für eine Beschädigung bei kurzen Pulsen (mit einer Pulsbreite\nvon weniger als 500 Picosekunden) unabhängig von der Pulsbreite, während er\nbei längeren Pulsen (mit einer Pulsbreite von mehr als einer Nanosekunde)\nentsprechend den Beobachtungen in vielen früheren Veröffentlichungen mit der\nQuadratwurzel der Pulsbreite ansteige. In Figur 1 a wird die kritische Pulsbreite\nfür Kupfer mit 640 Picosekunden und für Molybdän mit 380 Picosekunden angegeben. Für Spiegel aus mit Gold beschichtetem Edelstahl wird hingegen berichtet, der Schwellenwert sei bei allen eingesetzten Pulsbreiten unabhängig\nvon der Pulsbreite gewesen.\n\n53 Zur Erklärung wird in K3 die Hypothese aufgestellt, unterhalb einer bestimmten Pulsbreite werde die Energie des Laserstrahls nur noch von den\nElektronen aufgenommen, nicht mehr vom Atomgitter (lattice). Ausgehend davon wird ein Zwei-Temperaturen-Modell entwickelt, das als einzigen freien Parameter eine Elektron-Phonon-Kopplungskonstante g aufweist. Die bei Spiegeln\n\naus mit Gold beschichtetem Edelstahl beobachtete Besonderheit wird auf die\nStärke der Goldschicht und die geringe Wärmeleitfähigkeit des Edelstahls zurückgeführt.\n\n54 b) Damit sind, wie das Patentgericht im Einzelnen zutreffend dargelegt\nhat, nicht nur die Merkmale a und d, sondern auch die Merkmale b und c offenbart.\n\n55 aa) Dass sich K3 vor allem mit der Bestrahlung derselben Stelle mit\nmehreren Impulsen (multi-shot) befasst, steht der Offenbarung der Merkmale a\nund d nicht entgegen, weil diese aus den oben dargelegten Gründen keine Beschränkung auf einen einzigen Impuls pro Stelle (single-shot) vorsehen.\n\n56 bb) Der in K3 für Molybdän und Kupfer beschriebene Übergang zwischen einem Bereich, in dem der Schwellenwert für die zur Zerstörung erforderliche Fluenz mit der Quadratwurzel der Pulsbreite ansteigt, und einem darunter\nliegenden Bereich, in dem er weitgehend konstant ist, stellt einen Bereich dar,\nin dem die Funktion des Schwellenwerts eine charakteristische Änderung der\nSteigung aufweist. Die Pulsbreite, bei der diese Änderung auftritt, ist die charakteristische Pulsbreite im Sinne von Merkmal b.\n\n57 cc) Dass die in K3 für Kupfer und Molybdän als charakteristisch angegebenen Werte von 640 und 380 Picosekunden deutlich über dem in der Streitpatentschrift für Gold angegebenen Wert von 7 Picosekunden liegt und dass\nder charakteristische Wert für unedle Metalle nach dem von der Klägerin im\nVerletzungsrechtsstreit eingereichten Privatgutachten (B4) sogar unterhalb von\n3 Picosekunden liegen soll, führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n58 Dabei kann dahingestellt bleiben, welcher Wert zutreffend ist. Der in K3\neingesetzte, zu einer Materialzerstörung führende Impuls von 2,5 Picosekunden\n\nweist eine Pulsbreite auf, die nach allen vertretenen Auffassungen unterhalb\ndes charakteristischen Werts liegt. Damit ist Merkmal c offenbart.\n\n59 c) Dass die in K3 eingesetzte Wellenlänge von 9,3 Mikrometer um mehr\nals den Faktor 10 größer ist als die in den Ausführungsbeispielen des Streitpatents eingesetzten Wellenlängen, ist unerheblich.\n\n60 Wie bereits oben dargelegt wurde, ergibt sich aus den Merkmalen b und\nc keine Festlegung hinsichtlich der eingesetzten Wellenlänge. Deshalb kann\noffenbleiben, ob die in K3 eingesetzten Metalle auch bei einer Wellenlänge von\n9,3 Mikrometer eine charakteristische Pulsbreite aufweisen. Für eine Offenbarung dieser Merkmale ist ausreichend, dass sie diese Eigenschaft jedenfalls bei\nden in der Streitpatentschrift genannten Wellenlängen aufweisen und dass die\nin K3 eingesetzte Impulsbreite von 2,5 Picosekunden unterhalb des charakteristischen Werts liegt.\n\n61 d) Dass die in K3 geschilderten Untersuchungen eher darauf gerichtet\nsind, eine Materialzerstörung an zur Umlenkung von Laserstrahlen eingesetzten\nSpiegeln zu vermeiden, führt ebenfalls nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n62 Dieser Gesichtspunkt mag dazu führen, dass ein Fachmann, der Laserstrahlen zur Zerstörung von Material einsetzen will, aus K3 nur in begrenztem\nUmfang Anregungen zur Weiterentwicklung des Stands der Technik entnehmen\nkann. Für die Frage der Neuheit ist indes allein ausschlaggebend, ob alle in\nPatentanspruch 1 vorgesehenen Merkmale in K3 offenbart sind. Dies hat das\nPatentgericht aus den oben dargelegten Gründen zu Recht bejaht.\n\n63 Dem steht nicht entgegen, dass der Fachmann ausgehend von K3 auch\neine Pulsbreite von deutlich über 7 Picosekunden als zur Anwendung des geschützten Verfahrens geeignet ansehen konnte. Entscheidend ist, dass alle\n\nMerkmale verwirklicht sind, wenn das in K3 geschilderte Verfahren mit einer\nPulsbreite von 2,5 Picometer durchgeführt wird. Einer korrekten Darstellung der\nhierfür ausschlaggebenden wissenschaftlichen Zusammenhänge bedarf es\nhierbei nicht.\n\n64 Ungeachtet des mit den Versuchen angestrebten Ziels, eine Beschädigung der zur Umlenkung von Laserstrahlen eingesetzten Spiegel zu vermeiden,\nist das in K3 geschilderte Verfahren jedenfalls auch als Verfahren zur Materialzerstörung anzusehen. Zur Erreichung des angestrebten Ziels werden die\nuntersuchten Materialien in K3 einer Strahlung ausgesetzt, die zu einer Zerstörung führt. Dies reicht für eine zur Verneinung der Neuheit führende Offenbarung aus. Dass die Zerstörung einem weitergehenden Zweck dient, ist insoweit\nunerheblich.\n\n65 e) Vor diesem Hintergrund führen die von der Beklagten erhobenen\nEinwände gegen die in K3 angewendete wissenschaftliche Methodik ebenfalls\nnicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n66 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob es aus fachmännischer Sicht zutreffend oder zumindest vertretbar war, die bei den in K3 geschilderten Versuchen\ngewonnenen Messwerte mit Messwerten einer früheren Veröffentlichung zu\nkombinieren, und ob die in K3 in Figur 1 dargestellten Messwerte auch eine\nabweichende Interpretation im Sinne einer durchgängigen Abhängigkeit zwischen dem Schwellenwert der für die Zerstörung erforderlichen Fluenz und der\nPulsbreite zulassen. Für die Verneinung der Neuheit ist ausreichend, dass in K3\neine Auflösung dieses Zusammenhangs von einem bestimmten Wert an aufgezeigt wird und dass jedenfalls die eingesetzte Pulsbreite von 2,5 Picometer objektiv unterhalb der charakteristischen Pulsbreite im Sinne der Merkmale b und\nc liegt.\n\n67 Der Stellungnahme von Elsayed-Ali (Physical Review Letters 1990,\n1846, B3), in der Kritik an den in K3 aufgestellten Hypothesen geäußert wird,\nkommt angesichts dessen ebenfalls keine Bedeutung zu. Unabhängig davon\nwendet sich diese Kritik nicht gegen die Annahme, dass ein fester Zusammenhang zwischen Schwellenwert und Pulsbreite von einem bestimmten Wert an\nnicht mehr besteht, sondern gegen die konkrete Bestimmung der Konstante g.\n\n68 2. Hinsichtlich des erstmals in zweiter Instanz gestellten Hilfsantrags 0a\nergibt sich keine abweichende Beurteilung.\n\n69 a) Nach Hilfsantrag 0a soll in Patentanspruch 1 vor \"said method comprising\" eingefügt werden:\n\nwherein said relationship and the characteristic pulse width refer to the scenario\nwhich applies when illuminating a location of the material only once\n\n70 b) Die damit vorgesehene Beschränkung auf die einmalige Bestrahlung\njeder einzelnen Fläche (single-shot) betrifft allein die in Merkmal b vorgesehenen Festlegungen zur Beschaffenheit des zu zerstörenden Materials, nicht aber\ndie das Bestrahlungsverfahren betreffenden Merkmale a und d.\n\n71 Ebenso wie mit der erteilten Fassung wird mit dieser Fassung folglich\nauch Schutz beansprucht für Verfahren, bei denen eine bestimmte Stelle des\nMaterials mit mehreren Laserimpulsen bestrahlt wird oder bei denen nicht jeder\neinzelne Laserimpuls geeignet ist, eine Materialzerstörung herbeizuführen. Mit\ndem zusätzlichen Merkmal wird lediglich die Pulsbreite des Laserstrahls näher\nspezifiziert, nicht aber ein sonstiger Parameter wie dessen Wellenlänge oder\ndessen Eignung zur Materialzerstörung durch einen einzigen Impuls.\n\n72 c) Damit sind die mit dieser Fassung beanspruchten Merkmale ebenfalls vollständig in K3 offenbart.\n\n73 Wie bereits oben dargelegt wurde, liegt die in K3 eingesetzte Pulsbreite\nvon 2,5 Picosekunden unterhalb der charakteristischen Pulsbreite, die sich\nnach dem Streitpatent und den Ausführungen in B4 für Kupfer und Molybdän\nergibt. Dieser Wert bezieht sich auch nach dem Vortrag der Beklagten auf eine\nEinzelbestrahlung. Folglich sind die Merkmale b und c auch in der mit Hilfsantrag 0a verteidigten Fassung in K3 offenbart.\n\n74 3. Zu Recht hat das Patentgericht den mit Hilfsantrag 1 verteidigten\nGegenstand als durch den Stand der Technik nahegelegt angesehen.\n\n75 a) Nach Hilfsantrag 1 sind folgende Änderungen vorgesehen:\n\n- An die Stelle von Patentanspruch 1 sollen zwei nebengeordnete Patentansprüche 1 und 23 treten, die beide ein Verfahren zur\nMaterialbearbeitung (machining) mittels laserinduzierter Zerstörung betreffen. Nach Patentanspruch 1 soll transparentes, nicht\naus biologischem Gewebe bestehendes Material unterhalb der\nOberfläche bestrahlt werden, nach Patentanspruch 23 Metall\nauf der Oberfläche.\n\n- Der Laserstrahl soll eine Wellenlänge im Bereich von 800 Nanometer bis 2 Mikrometer aufweisen.\n\n- der Laserstrahl soll entlang eines vorbestimmten Pfads in einer\ntransversalen Richtung bewegt werden (scanning), so dass die\nZerstörung in einem vorbestimmten Muster im bzw. auf dem\nMaterial bewirkt wird.\n\n76 b) Entgegen den Ausführungen des Patentgerichts zu dem insoweit inhaltsgleichen Hilfsantrag 1a geht der damit beanspruchte Gegenstand auch\nhinsichtlich Patentanspruch 23 nicht über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus.\n\n77 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob sich bereits den Ausführungen in\nder Beschreibung entnehmen lässt, dass die in den geschilderten Beispielen\neingesetzten Metalle nur als Beispiele ausgewählt werden. Dass ein Verfahren\nmit den in der Anmeldung beschriebenen Merkmalen grundsätzlich für alle Metalle beansprucht wird, ergibt sich jedenfalls aus dem in der Anmeldung formulierten Anspruch 2, dessen Wortlaut mit der erteilten Fassung von Patentanspruch 7 übereinstimmt und der ausdrücklich vorsieht, dass das Material ein\nMetall ist.\n\n78 Der beanspruchte Gegenstand geht auch nicht deshalb über den Inhalt\nder ursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus, weil der genannte Unteranspruch zusätzlich eine Pulsweite von 10 bis 10000 Femtosekunden und eine\nEnergie von 1 Nanojoule bis 1 Mikrojoule vorsieht. Den ursprünglich eingereichten Unterlagen lässt sich nicht entnehmen, dass diese beiden zusätzlichen\nMerkmale bei der Bestrahlung von Metallen zwingend verwirklicht sein müssen,\num die erfindungsgemäße Wirkung zu erzielen. Die Klägerin zieht dies nicht in\nZweifel. Sie macht im Zusammenhang mit Hilfsantrag 1' - der die beiden zusätzlichen Merkmale vorsieht - vielmehr geltend, in den genannten Bereichen für\nPulsbreite und Energie stecke nichts Besonderes.\n\n79 c) Der Gegenstand der Patentansprüche 1 und 23 in der mit Hilfsantrag 1 verteidigten Fassung ist aber durch die Veröffentlichung von Soileau et al\n(Picosecond damage studies at 0.5 and 1 µm, Optical Engineering 1983, 424-\n430, K4) und den Umstand nahegelegt, dass die darin geschilderten Wirkungen\nvon kurzen Pulsbreiten vor dem Prioritätstag in einer Vielzahl von Veröffentlichungen für zahlreiche Einsatzzwecke als vielversprechend bezeichnet wurden.\n\n80 aa) In K4 werden die Ergebnisse einer Versuchsreihe vorgestellt, bei der\nSiliziumdioxid und monokristallines Natriumchlorid mit Laserstrahlen unterschiedlicher Wellenlänge und Pulsbreite bestrahlt wurden, und zwar jeder Punkt\nnur einmal (K4 S. 425 links letzter Absatz).\n\n81 Zum Stand der Technik wird ausgeführt, die Wirkungsweise von laserinduzierter Zerstörung von Material unter der Oberfläche (bulk laser-induced damage) werde auch nach fünfzehn Jahren der Erforschung nicht vollständig verstanden. Die Interpretation von einzelnen Datenpunkten sei schwierig, weil von\nProbe zu Probe Unterschiede auftreten könnten und weil eine komplexe Wechselwirkung zwischen den Schwellenwerten und der Frequenz, der Pulsbreite\nund der Fokussierung bestehe.\n\n82 Aus den Tabellen mit den ermittelten Messwerten geht unter anderem\nhervor, dass Siliziumdioxid mit Pulsbreiten zwischen 3,5 und 175 Picosekunden\nbestrahlt wurde (K4 Tabellen V und VI). Bei der Bewertung der Ergebnisse wird\nausgeführt, der Schwellenwert des für eine Materialzerstörung erforderlichen\nelektrischen Feldes (threshold field, EB) sei bei Natriumchlorid im Nanosekundenbereich weitgehend unabhängig von der Pulsbreite, während sich im Bereich von einigen Picosekunden eine Abhängigkeit einstelle, die sich dem Verhältnis zur inversen Quadratwurzel der Pulsbreite annähere. Dies führe dazu,\ndass der Schwellenwert für die Fluenz bei Pulsbreiten unter 10 Picosekunden\nfast konstant sei (K4 S. 428 links unten). Für Siliziumdioxid sei ein ähnlicher,\naber weniger ausgeprägter Trend in der Beziehung zwischen der Pulsbreite und\ndem Schwellenwert des elektrischen Feldes festgestellt worden (K4 S. 428\nrechts unten).\n\n83 bb) Ob hieraus, wie das Patentgericht angenommen hat, zu entnehmen\nist, dass Siliziumdioxid mit einer Pulsbreite bestrahlt wurde, die unterhalb der\nfür dieses Material charakteristischen Pulsbreite im Sinne der Merkmale b und c\nliegt, kann dahingestellt bleiben. Aus den aufgezeigten Ausführungen ergab\n\nsich jedenfalls die Anregung, eine Pulsbreite in diesem Bereich in Betracht zu\nziehen.\n\n84 Die charakteristische Pulsbreite von Siliziumdioxid wird in der Streitpatentschrift mit rund 10 Picosekunden angegeben. Die in K4 offenbarten Messwerte stehen damit zwar nicht vollständig in Einklang, weil der Schwellenwert\nfür die Fluenz bei einigen Versuchsreihen auch bei Werten unterhalb von 10\nPicosekunden noch in gewissem Umfang abgesunken ist. Selbst wenn zugunsten der Beklagten unterstellt wird, dass diese Abweichungen auf Besonderheiten des in K4 eingesetzten Materials beruht, ergaben sich für den Fachmann\naus dem Umstand, dass in K4 für Natriumchlorid eine vollständige Aufhebung\ndes Zusammenhangs zwischen dem Schwellenwert der Fluenz und der Pulsbreite unterhalb von 10 Picosekunden und für Siliziumdioxid ein in dieselbe\nRichtung deutender Trend aufgezeigt wurden, aber deutliche Hinweise darauf,\ndass es auch für Siliziumdioxid eine Pulsbreite gibt, von der an der Schwellenwert der Fluenz weitgehend gleich bleibt. Dies gilt umso mehr, als bei einer der\nVersuchsreihen der Schwellenwert für die Fluenz bei einer Verringerung der\nPulsbreite unter einen Wert von 9,5 Picosekunden sogar angestiegen ist (K4\nTabelle VI Z. 1-4).\n\n85 Entgegen der Auffassung der Beklagten führt der Umstand, dass die in\nK4 dargestellten Schwellenwerte für die Fluenz auch von der Breite des fokussierten Strahls abhängen, nicht zu einer abweichenden Beurteilung. Der von\nder Beklagten angeführte Umstand, dass die Strahlbreite insoweit nicht von\nunmittelbarer Bedeutung ist, wird in K4 ausdrücklich angesprochen. Hierbei\nwird die Vermutung geäußert, die beobachteten Schäden könnten durch extrinsische Eigenschaften verursacht worden sein (K4 S. 430 links). Vor diesem Hintergrund hatte der Fachmann keinen Grund zu der Annahme, die in K4 berichteten Ergebnisse könnten auf einem grundlegenden Fehler beruhen und deshalb von vornherein als Grundlage für weitere Versuche ungeeignet sein. Die in\nK4 nach Abwägung aller relevanten Gesichtspunkte gezogenen Schlussfolge-\n\nrungen deuteten vielmehr darauf hin, dass Pulsbreiten im Bereich von wenigen\nPicosekunden besondere Vorteile bieten können.\n\n86 cc) Ob sich, wie das Patentgericht des Weiteren angenommen hat, bereits hieraus eine hinreichende Anregung ergab, Pulsbreiten in einem Bereich,\nin dem der Schwellenwert der Fluenz nicht mehr absinkt, als Alternative für alle\nbekannten Einsatzzwecke von Laserstrahlen in Betracht zu ziehen, bedarf keiner Entscheidung. Aus mehreren im Zeitraum zwischen der Veröffentlichung\nvon K4 und dem Prioritätstag erschienenen Abhandlungen ergaben sich für den\nFachmann nämlich Hinweise darauf, dass der Einsatz von solchen Pulsbreiten\nfür den Abtrag von Material mittels Laserstrahlen von Vorteil sein kann. Jedenfalls diese - jeweils in dieselbe Richtung deutenden - Hinweise gaben dem\nFachmann hinreichenden Anlass, den Einsatz solcher Pulsbreiten auch für den\nMaterialabtrag bei transparenten, nicht aus biologischem Gewebe bestehenden\nMaterialien und bei Metallen in Betracht zu ziehen.\n\n87 (1) Zu diesen Veröffentlichungen gehört die Veröffentlichung von Stern\net al (Cornea Ablation by Nanosecond, Picosecond, and Femtosecond Lasers\nat 532 and 625 nm, Archives of Ophthalmology 1989, 587-592, K6).\n\n88 (a) In K6 wird über Versuche zur Entfernung von (Augen-)Hornhaut\n(corneal excisions) mit Laserimpulsen mit Pulsbreiten zwischen 65 Femtosekunden und 8 Nanosekunden berichtet.\n\n89 Als Ergebnis wird unter anderem mitgeteilt, bei Pico- und Femtosekundenimpulsen (K6 S. 588 mitte) sei die Exzisionsmorphologie stark verbessert.\nBei 30 Picosekunden sei das Ausmaß der Gewebeschädigung so geringfügig,\ndass sich keine zusätzlichen Verbesserungen durch noch kürzere Impulse\nergäben. Eine lichtmikroskopische Aufnahme zeige sogar, dass Impulse im Bereich von Femtosekunden oder einer Picosekunde eine neue Art der Gewebe-\n\nschädigung verursachten, die möglicherweise durch Schockwellen hervorgerufen werde (K6 S. 590 rechts oben).\n\n90 Bei der Bewertung der Ergebnisse wird in K6 die Vermutung geäußert,\ndie gesteigerte Abtragungseffizienz bei Pulsbreiten von einer Picosekunde und\ndarunter könne auf einem nicht linearen optischen Prozess beruhen. Als besonders vielversprechend wird die Anwendung von Picosekundenlasern bei der\nnicht invasiven Glaskörperchirurgie bezeichnet. Hierbei wird die Erwartung geäußert, dass bei Picosekundenlasern mit Impulsenergien knapp über dem Abtragschwellenwert weniger Schäden eintreten als bei Nanosekundenlasern.\n\n91 (b) Dies steht in Einklang mit den bereits in K4 angestellten Erwägungen\nund bestätigt diese im Hinblick auf einen konkreten Anwendungsfall.\n\n92 Zwar ergeben sich aus K6 keine ausdrücklichen Hinweise darauf, dass\nbestimmte oder alle Materialien eine charakteristische Pulsbreite im Sinne von\nMerkmal b aufweisen. In der in K6 wiedergegebenen Tabelle 2 nimmt der zur\nAblation erforderliche Schwellenwert vielmehr auch für Pulsbreiten unter einer\nPicosekunde mit abnehmender Pulsbreite weiter ab. Im darauf bezogenen Text\nwird es zudem als interessant und für die Entwicklung eines theoretischen Modells möglicherweise nützlich bezeichnet, dass die beobachteten Schwellenwerte annähernd zur Quadratwurzel der Pulsbreite in Beziehung stehen. Im gleichen Zusammenhang wird aber der Vorbehalt geäußert, die ermittelten Werte\nseien möglicherweise nicht zuverlässig, weil die eingesetzten Laser unterschiedliche Betriebsparameter aufgewiesen hätten (K6 S. 588 rechts). Darüber\nhinaus wird die generelle Einschätzung geäußert, Picosekundenlaser seien gegenüber Nanosekundenlasern überlegen (K6 S. 591 links).\n\n93 (c) Hieraus ergab sich für den Fachmann die Anregung, Pulsbreiten von\neinigen wenigen Picosekunden auch für andere Materialien in Betracht zu ziehen.\n\n94 Zwar betrifft K6 einen relativ speziellen Anwendungsfall und die dafür\npräsentierten Ergebnisse geben keinen sicheren Aufschluss darüber, welche\nAuswirkungen der Einsatz solch kleiner Pulsbreiten bei anderen Materialien\nzeitigen wird. Der Umstand, dass sich diese Pulsbreiten für ein bereits etabliertes Anwendungsgebiet mit eher hohen Anforderungen an die Präzision als vielversprechend erwiesen, gab dennoch Veranlassung, sie auch für den Materialabtrag bei anderen Materialien in Betracht zu ziehen.\n\n95 Dem steht nicht entgegen, dass in K6 eine Pulsbreite von 30 Picosekunden als besonders vorteilhaft bezeichnet und ergänzend berichtet wird, bei geringeren Pulsbreiten sei eine neue Art der Gewebeschädigung beobachtet worden. Aus diesen Darlegungen ergab sich für den Fachmann zwar, dass weiterer\nAufklärungsbedarf bestand. Die in K6 geäußerten positiven Einschätzungen\ngaben aber Anlass, diesbezüglich weiter fortzuschreiten und hierbei näher zu\nuntersuchen, ob und bei welchen Pulsbreiten die in K6 offenbarte neue Art der\nGewebeschädigung auch bei anderen Materialien auftritt.\n\n96 (2) Anregungen in dieselbe Richtung ergaben sich aus der Veröffentlichung von Frederickson et al (Precise Ablation of Skin With Reduced Collateral\nDamage Using the Femtosecond-Pulsed, Terawatt Titanium-Sapphire Laser,\nArchives of Dermatology 1993, 989-993, K5).\n\n97 (a) K5 befasst sich mit dem Einsatz von Lasern zur Behandlung von\nHautleiden.\n\n98 In K5 wird ausgeführt, der therapeutische Einsatz von Lasern für den genannten Zweck sei weitgehend von Wärmeenergie abhängig. Die unbeabsichtigte Schädigung von umliegendem Gewebe könne durch adäquate Auswahl\nvon Wellenlänge, Pulsbreite und Intensität verbessert werden. Systematische\nStudien hätten gezeigt, dass sich die Zone thermisch veränderten Materials mit\nabnehmenden Impulsdauern verkleinere. Dennoch stelle die kollaterale Schädi-\n\ngung infolge des thermischen Mechanismus zur Gewebezerstörung häufig immer noch ein Problem dar (K5 S. 989).\n\n99 Als alternative Möglichkeit werden in K5 Verfahren aufgezeigt, bei denen\ndie Abtragung durch einen von einem Schwellenwert abhängigen Mechanismus\nerfolge. Hierbei würden molekulare Bindungen durch hochenergetische ultraviolette Photonen unmittelbar aufgebrochen und so die thermische Schädigung\nminimiert. Diesen Vorteilen werden gravierende Nachteile gegenübergestellt,\ndie der Einsatz von UV-Licht mit sich bringe (K5 S. 989 f.).\n\n100 Als weitere Alternative wird in K5 ein Titan-Saphir-Laser mit einer Wellenlänge von 800 Nanometer und einer Pulsbreite von rund 100 Femtosekunden vorgestellt. Diese kurzen Impulse seien geeignet, um Elektronen aus ihren\nAtomen zu entfernen, wodurch bei Erreichen eines bestimmten Schwellenwerts\nein Hochtemperaturplasma entstehe. Diese Art der Abtragung sei in den Bereichen der Cornea- und Intraokularchirurgie erfolgreich experimentell untersucht\nworden. Die damit erzielbare Genauigkeit der Gewebeentfernung und Eingrenzung der Schädigung sei vergleichbar mit jener in der ophthalmologischen Mikrochirurgie mittels Excimerlaser. Hierzu wird unter anderem auf K6 Bezug genommen. Die bei diesen Experimenten gewonnenen Ergebnisse deuteten darauf hin, dass die genannte Methode auch für Präzisionshautchirurgie geeignet\nsei (K5 S. 990 rechts).\n\n101 Bei den in K5 beschriebenen Versuchen wurde Rattenhaut mit der zuletzt beschriebenen Methode bestrahlt. Als Ergebnis wird berichtet, bei Intensitäten knapp über dem Schwellenwert trete praktisch keine und bei höheren Intensitäten nur eine minimale kollaterale Schädigung ein.\n\n102 (b) Daraus ergaben sich für den Fachmann zusätzliche Hinweise darauf,\ndass die in K6 geäußerte optimistische Einschätzung berechtigt ist und dass die\ndort offenbarten Erkenntnisse den Einsatz für andere Materialien nahelegen.\n\nDie in K5 und K6 offenbarten Verfahren weisen zwar relativ weitreichende Gemeinsamkeiten auf, weil es sich um biologisches Gewebe handelt und weil der\nletztendlich angestrebte Einsatzzweck im Bereich medizinischer Behandlungen\nliegt. Dennoch ergab sich daraus auch für andere Materialien und Einsatzzwecke die Anregung, Pulsbreiten von einigen wenigen Picosekunden in Betracht\nzu ziehen, zumal die in K6 geäußerte Einschätzung zu den zu Grunde liegenden Mechanismen keinen Zusammenhang mit Besonderheiten von biologischem Gewebe erkennen lässt.\n\n103 (c) Eine zusätzliche Anregung, den Einsatz von besonders geringen\nPulsbreiten auch für nicht aus biologischem Gewebe bestehende Materialien\nund für Metalle in Betracht zu ziehen, ergab sich aus der abschließend in K5\ngeäußerten Einschätzung, es sei zu hoffen, dass Lasersysteme mit ultrakurzen\nImpulsen und hoher Intensität bald aus dem Bereich des Labors in den Bereich\nder kommerziell verfügbaren Ausrüstung überwechseln und dazu beitragen,\nbestehende Probleme mit den damals verfügbaren Geräten zu verringern.\n\n104 Aus dieser allgemein gehaltenen Einschätzung ergaben sich zwar keine\nsicheren Anhaltspunkte dafür, dass solche Lasersysteme auch in anderen bekannten Anwendungsgebieten Vorteile gegenüber bekannten Systemen bieten\nkönnten. Die in K5 und K6 geschilderten positiven Zwischenergebnisse gaben\naber hinreichende Aussicht darauf, dass entsprechende Versuche Erfolg zeitigen könnten.\n\n105 (3) In dieselbe Richtung wies die Veröffentlichung von Ihlemann et al\n(Nanosecond and Femtosecond Excimer Laser Ablation of Fused Silica, Applied Physics 1992, 363-368, K7).\n\n106 (a) In K7 wird über Versuche zur Bestrahlung von Quarzglas (fused silica) mit Impulsdauern von 20 bis 30 Nanosekunden und von 500 Femtosekunden berichtet.\n\n107 Als Ergebnis wird mitgeteilt, bei Femtosekundenimpulsen seien während\nder ersten Impulse glatt geformte Löcher ausgebildet worden; bei hohen Impulszahlen sei hingegen eine Wellenstruktur in den Abtragskratern entstanden.\nAls mögliche Ursache wird eine starke Zwei-Photonen-Absorption im Glasinneren benannt, die zunächst zur Abtragung von Material an der Vorderseite und\ndadurch zur Bildung scharf strukturierter Löcher führe. Durch weitere Abtragung\nin einem vorhandenen Loch werde die Plasmaexpansion behindert, so dass es\ndurch Erhitzen, Schmelzen und Wiederverfestigen zur der beobachteten Wellenstruktur kommen könne (K7 S. 367 rechts).\n\n108 (b) Diesen Ausführungen konnte der Fachmann zwar ebenfalls nicht mit\nSicherheit entnehmen, dass die Bestrahlung mit einer Pulsbreite im Bereich von\n500 Femtosekunden für die Bearbeitung von nicht aus biologischem Gewebe\nbestehenden Materialien oder Metallen entlang eines vorbestimmten Musters\nbesondere Vorteile bieten würde. Sie bildeten aber eine weitere Bestätigung für\ndie in K5 und K6 geäußerten positiven Einschätzungen und gaben deshalb in\nder Gesamtschau Anlass, den damit vorgezeichneten Weg weiter zu beschreiten.\n\n109 dd) Vor dem aufgezeigten Hintergrund erweist sich der mit Hilfsantrag 1\nverteidigte Gegenstand auch nicht deshalb als patentfähig, weil er die Orientierung an der charakteristischen Pulsbreite als maßgeblichen Faktor identifiziert.\n\n110 Die Bedeutung dieses Parameters für den Eintritt der angestrebten Wirkung geht aus den Entgegenhaltungen K4 bis K7 zwar nicht in derselben Deutlichkeit hervor. Damit zeigt das Streitpatent jedoch lediglich die Wirkungszusammenhänge auf, die den mit diesen Entgegenhaltungen offenbarten oder\nnahegelegten Verfahren zugrunde liegen, nicht aber eine darüber hinausgehende Anweisung zum technischen Handeln. Die Erklärung von Wirkungsursachen und die theoretische Begründung einer bereits bekannten oder nahegelegten Lehre zum technischen Handeln können auch dann nicht zur Beurteilung\n\nder Patentfähigkeit herangezogen werden, wenn sie sich aus wissenschaftlicher\nSicht als überaus verdienstvoll darstellen (BGH, Urteil vom 9. Juni 2011\n- X ZR 68/08, GRUR 2011, 999 Rn. 44 - Memantin).\n\n111 4. Hinsichtlich der Hilfsanträge 1a, 1' und 1b ergibt sich keine abweichende Beurteilung.\n\n112 a) Nach Hilfsantrag 1a soll das Streitpatent lediglich Patentanspruch 23\nund die darauf bezogenen Unteransprüche aus der Fassung von Hilfsantrag 1\numfassen. Dass dieser Gegenstand durch den Stand der Technik nahegelegt\nist, ergibt sich bereits aus den Ausführungen zu Hilfsantrag 1.\n\n113 b) Der mit den Hilfsanträgen 1' und 1b verteidigte Gegenstand entspricht dem Gegenstand der Hilfsanträge 1 bzw. 1a mit der Maßgabe, dass zusätzlich eine Pulsweite von 10 Femtosekunden bis 10 Picosekunden und eine\nEnergie von 1 Nanojoule bis 1 Mikrojoule vorgesehen sind.\n\n114 Diese Änderung ist lediglich geeignet, etwaigen Bedenken im Hinblick\nauf den Inhalt der ursprünglichen Unterlagen zu begegnen, die in Anspruch 2\ndie Beschränkung auf die Zerstörung von Metall zusammen mit den beiden zusätzlichen Merkmalen vorsehen. Hinsichtlich der erfinderischen Tätigkeit ergibt\nsich hingegen, wie auch die Beklagte nicht in Zweifel zieht, keine abweichende\nBeurteilung.\n\n115 5. Der mit Hilfsantrag 2 verteidigte Gegenstand ist ebenfalls durch den\nStand der Technik nahegelegt.\n\n116 a) Nach Hilfsantrag 2 sollen die Patentansprüche 1 und 23 in der Fassung von Hilfsantrag 1 dahin ergänzt werden, dass die Fluktuationen der Laserintensität so gesteuert werden, dass sie kleiner als 10 % sind.\n\n117 b) Entgegen der Auffassung der Klägerin geht der damit verteidigte Gegenstand nicht über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Unterlagen hinaus.\n\n118 Wie die Beklagte zu Recht geltend macht, wird bereits in der Anmeldung\n(K2a S. 26 Z. 12 ff.) ausgeführt, eine exakte Steuerung der Fluktuation sei sehr\nwichtig. Als Beispiel wird hierfür eine Beschränkung auf 10 % angeführt. Damit\nist eine solche Ausgestaltung als zur Erfindung gehörend offenbart.\n\n119 c) Dieses zusätzliche Merkmal führt indes ebenfalls nicht zur Bejahung\nder Patentfähigkeit.\n\n120 Dabei kann dahingestellt bleiben, ob in K4 eine Steuerung offenbart ist,\nmit der die Fluktuation der Laserintensität auf weniger als 10 % begrenzt wird.\nNach den Feststellungen des Patentgerichts hatte der Fachmann unabhängig\ndavon Veranlassung, die Fluktuation durch geeignete Mittel möglichst gering zu\nhalten und hierzu Obergrenzen anzustreben, die in K4 im Ergebnis bereits erreicht wurden. Konkrete Umstände, die Zweifel an der Vollständigkeit oder\nRichtigkeit dieser Feststellungen begründen, zeigt die Berufung nicht auf.\n\n121 6. Der mit den Hilfsanträgen 3 und 3a verteidigte Gegenstand ist ebenfalls durch den Stand der Technik nahegelegt.\n\n122 a) Nach Hilfsantrag 3 soll Patentanspruch 1 in der Fassung von Hilfsantrag 1a dahin geändert werden, dass das Material ein Metallfilm auf einem Substrat ist.\n\n123 Diese Änderung führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung hinsichtlich der erfinderischen Tätigkeit. Die Entgegenhaltungen, die das beanspruchte\nVerfahren für Metalle nahelegen, geben dem Fachmann auch Veranlassung, es\nfür einen Metallfilm auf einem Substrat heranzuziehen.\n\n124 Dem steht nicht entgegen, dass in K3 für einen Spiegel aus mit Gold beschichtetem Edelstahl keine Änderung des Verhältnisses zwischen Schwellenwert und Pulsbreite ermittelt werden konnte. In K3 wird dieses Ergebnis auf die\nStärke der Goldbeschichtung und auf die geringe Wärmeleitfähigkeit von Edelstahl zurückgeführt. Dies gab dem Fachmann vor dem Hintergrund des oben zu\n3 c erörterten Standes der Technik Anlass zu der Erwartung, dass sich mit einer\nanderen Beschichtungsstärke oder einem anderen Substrat ähnliche Ergebnisse zeigen wie mit Kupfer und Molybdän.\n\n125 b) Hilfsantrag 3a sieht ergänzend eine Pulsweite von 10 Femtosekunden bis 10 Picosekunden und eine Energie von 1 Nanojoule bis 1 Mikrojoule\nvor. Diese Ergänzung vermag aus den bereits im Zusammenhang mit den\nHilfsanträgen 1' und 1b genannten Gründen eine abweichende Beurteilung\nnicht zu rechtfertigen.\n\n126 7. Ebenfalls nicht patentfähig ist der mit den Hilfsanträgen 4, 4a und 4b\nverteidigte Gegenstand.\n\n127 a) Nach Hilfsantrag 4 soll die erteilte Fassung von Patentanspruch 1\nwie folgt ergänzt werden:\n\n- Wie bei den vorangegangenen Hilfsanträgen wird ein Verfahren\nzur Materialbearbeitung (machining) mittels laserinduzierter\nZerstörung beansprucht.\n\n- Wie bei den vorangegangenen Hilfsanträgen soll der Laserstrahl entlang eines vorbestimmten Pfads in einer transversalen\nRichtung bewegt werden (scanning), so dass die Zerstörung in\neinem vorbestimmten Muster im bzw. auf dem Material bewirkt\nwird.\n\n- Ferner soll das Verfahren die Bestimmung der charakteristischen Pulsbreite des Materials umfassen.\n\n128 Diese Ergänzung führt im Vergleich zu Hilfsantrag 1 nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n129 Die in Zusammenhang mit Hilfsantrag 1 erörterten Entgegenhaltungen\ngaben dem Fachmann Anlass, eine Pulsbreite einzusetzen, bei der der Schwellenwert der Fluenz nicht weiter abnimmt. Damit hatte der Fachmann Veranlassung, die charakteristische Pulsbreite des Materials im Sinne von Merkmal b zu\nbestimmen.\n\n130 b) Nach Hilfsantrag 4a soll Patentanspruch 1 in der Fassung von Hilfsantrag 4 um das zusätzliche Merkmal aus Hilfsantrag 0a ergänzt werden, wonach sich die Beziehung zwischen Schwellenwert und Pulsbreite und die charakteristische Pulsbreite auf ein Szenario mit einmaliger Bestrahlung beziehen.\n\n131 Diese Ergänzung vermag die erfinderische Tätigkeit aus bereits genannten Gründen auch im Zusammenhang mit Hilfsantrag 4 nicht zu begründen.\n\n132 c) Nach Hilfsantrag 4b soll Patentanspruch 1 in der Fassung von Hilfsantrag 4a dahin ergänzt werden, dass transparentes, nicht aus biologischem\nGewebe bestehendes Material unterhalb der Oberfläche bestrahlt wird.\n\n133 Diese Ergänzung führt aus den zu Hilfsantrag 1 dargelegten Gründen\nauch im vorliegenden Zusammenhang nicht zu einer abweichenden Beurteilung.\n\n134 8. Der mit Hilfsantrag 5 verteidigte Gegenstand ist ebenfalls durch den\nStand der Technik nahegelegt.\n\n135 a) Nach Hilfsantrag 5 soll Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung wie\nfolgt ergänzt werden:\n\n- Wie bei den vorangegangenen Hilfsanträgen wird ein Verfahren\nzur Materialbearbeitung (machining) mittels laserinduzierter\nZerstörung beansprucht.\n\n- Wie bei Hilfsantrag 2 sollen die Fluktuationen der Laserintensität so gesteuert werden, dass sie kleiner als 10 % sind.\n\n- Ergänzend soll der Laserstrahl einen Halbwertsbreiten-\n(FWHM-)Strahlfleck definieren und ein laterales Gaußprofil\naufweisen, bei dem die Fluenz den für eine Zerstörung des Materials erforderlichen Schwellenwert nur im oder nahe dem\nZentrum erreicht oder überschritten wird, so dass der Radius\neines abgetragenen Lochs kleiner ist als 60 % des FWHM-Strahlradius.\n\n136 b) Dieses zusätzliche Merkmal ist, wie das Patentgericht zutreffend entschieden hat, durch die Veröffentlichung von Deckman et al (A drill, fill, and plug\ntechnique for fabricating laser fusion targets, Journal of Vacuum Science &\nTechnology 1981, 1258-1261, K9) nahegelegt.\n\n137 aa) K9 befasst sich mit der Fertigung von Mikroballons aus Glas zur Aufnahme von Gasen für die Röntgenspektroskopie.\n\n138 Zur Befüllung der Ballons wird mit Laserimpulsen von 80 Picosekunden\nein Loch in das Glas gebohrt. Hierzu wird ausgeführt, es sei herausgefunden\nworden, dass Löcher mit einem Durchmesser gefertigt werden könnten, der\ndeutlich kleiner sei als die Größe des fokussierten Laserpunkts. Als Ursache\nhierfür wird angeführt, dass das Profil der Strahlintensität eine Gauß'sche Form\naufweise und nur der intensivste Mittelteil für das Bohrphänomen verantwortlich\nsei (K9 S. 1259). In Tabelle 1 ist unter anderem aufgeführt, dass mit einer\nStrahlbreite von 2,4 Mikrometer ein Loch mit einem Durchmesser von 1,0 Mikrometer gebohrt worden sei.\n\n139 Hieraus ergab sich für den Fachmann, wie das Patentgericht zutreffend\ndargelegt hat, dass die Größe des Bereichs, in dem es zu einer Materialzerstörung kommt, auch dadurch beeinflusst werden kann, dass der Laserstrahl nur\nim Bereich des Zentrums eine Fluenz oberhalb des für die Materialzerstörung\nerforderlichen Schwellenwerts aufweist. Dies gab dem Fachmann entgegen der\nAuffassung der Beklagten Veranlassung, denselben Effekt auch für Laserstrahlen mit kürzerer Pulsbreite in Erwägung zu ziehen, zumal diese schon von Haus\naus eine größere Präzision ermöglichen.\n\n140 IV. Die Kostenentscheidung beruht auf § 121 Abs. 2 PatG und § 97\nAbs. 1 ZPO.\n\nMeier-Beck Grabinski Bacher\n\nKober-Dehm Marx\n\nVorinstanz:\nBundespatentgericht, Entscheidung vom 01.10.2015 - 6 Ni 3/15 (EP) -\n\nBUNDESGERICHTSHOF\nBESCHLUSS\nX ZR 143/15\nvom\n\n19. Juni 2018\n\nin der Patentnichtigkeitssache\n\nhier: Urteilsberichtigung gemäß § 319 Abs. 1 ZPO\n\nECLI:DE:BGH:2018:190618BXZR143.15.0\n\nDer X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat am 19. Juni 2018 durch den\nVorsitzenden Richter Prof. Dr. Meier-Beck, die Richter Gröning und Hoffmann\nsowie die Richterinnen Dr. Kober-Dehm und Dr. Marx\n\nbeschlossen:\n\nDas Urteil vom 27. März 2018 wird wie folgt berichtigt:\n\nIn Randnummer 12 wird die Angabe \"S. 4 Z. 8\" ersetzt durch\n\"S. 4 Z. 58\".\n\nIn Randnummer 13 wird die Angabe \"S. 2 Z. 43\" ersetzt durch\n\"S. 4 Z. 43\".\n\nGründe:\n\n1 Zu Recht macht die Beklagte geltend, dass die beiden von der Änderung\nbetroffenen Angaben unrichtig sind. 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