{"status":"available","ecli":"ECLI:DE:BGH:2016:290916UXZR58.14.0","court":"BGH","senate":"10. Zivilsenat","decided":"2016-09-29","aktenzeichen":"X ZR 58/14","doktyp":"Urteil","leitsatz":null,"text_plain":"BUNDESGERICHTSHOF\nIM NAMEN DES VOLKES\n\nURTEIL\nX ZR 58/14\nVerkündet am:\n29. September 2016\nAnderer\nJustizangestellte\nals Urkundsbeamtin\nder Geschäftsstelle\nin der Patentnichtigkeitssache\n\nECLI:DE:BGH:2016:290916UXZR58.14.0\n\nDer X. Zivilsenat des Bundesgerichtshofs hat auf die mündliche Verhandlung\nvom 29. September 2016 durch die Richter am Bundesgerichtshof Dr. Bacher,\nGröning, Dr. Grabinski und Hoffmann sowie die Richterin Dr. Kober-Dehm\n\nfür Recht erkannt:\n\nAuf die Berufung der Beklagten wird das Urteil des 2. Senats\n(Nichtigkeitssenats) des Bundespatentgerichts vom 30. Mai\n2014 abgeändert.\n\nDas europäische Patent 1 622 826 wird mit Wirkung für die\nBundesrepublik Deutschland für nichtig erklärt, soweit sein Gegenstand über folgende Fassung der Patentansprüche hinausgeht:\n\n1. Mikromechanisches Uhrwerkbauteil bestehend aus Diamant, mit einer ersten Oberfläche und einer hierzu als geätzte Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche, die aufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei die erste\nund die zweite Oberfläche aus Diamant (Ci) bestehen und\ndie die geätzte Flanke bildende zweite Oberfläche eine mittlere Rauigkeit Rrms ≤ 500 nm aufweist, der Winkel zwischen\nder ersten und der zweiten Oberfläche um weniger als 2°\nvon der Senkrechten abweicht und seine Dicke senkrecht\nzur ersten Oberfläche zwischen 0,5 µm und 3000 µm beträgt.\n\n2. Uhrwerkbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,\ndass seine Stärke in Richtung der zweiten Oberfläche zwischen 10 µm und 500 µm beträgt.\n\nECLI:DE:BGH:2016:290916UXZR58.14.0\n\n3. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass seine Stärke in Richtung der zweiten Oberfläche zwischen 30 µm und 200 µm\nbeträgt.\n\n4. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil in seinem\nInnern, seine erste und zweite Oberfläche aus Diamant besteht und zumindest bereichsweise elektrisch leitend dotiert\nist.\n\n5. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Zahnrad, Unruh,\nFeder, Ziffernblatt, Lagerstein, Wellen, Grundplatte, Blocker, Hemmung und/oder Zeiger ist.\n\n6. Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Uhrwerkbauteils mit einer ersten Oberfläche und einer hierzu\nals geätzte Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche, die\naufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei die\nerste und die zweite Oberfläche aus Diamant (Ci) bestehen\nund die die geätzte Flanke bildende zweite Oberfläche eine\nmittlere Rauigkeit Rrms ≤ 500 nm aufweist, der Winkel zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche um weniger\nals 2° von der Senkrechten abweicht und seine Dicke senkrecht zur ersten Oberfläche zwischen 0,5 µm und 3000 µm\nbeträgt, mit den folgenden Schritten:\n\na) Abscheiden einer ersten Schicht aus Diamant (Ci) auf\neinem Substratmaterial,\n\nb) Strukturieren einer Kante zwischen der ersten und der\ndie Flanke bildenden zweiten Oberfläche durch mindestens einen Ätzschritt unter Verwendung einer Ätzmaske\nauf der ersten Oberfläche, welche getrennt von der ersten Schicht oder gleichzeitig mit der ersten Schicht geätzt wird, wobei das Verhältnis der Ätzgeschwindigkeiten von erster Schicht und Ätzmaske derart eingestellt\nwird, dass zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche eine im Wesentlichen rechtwinklige Kante ausgebildet wird.\n\n7. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass der Ätzschritt trockenchemisch unter\nZuhilfenahme eines Plasmas durchgeführt wird.\n\n8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass\nder Ätzschritt eine reaktive und/oder physikalische Komponente enthält.\n\n9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass\nbei dem Ätzschritt reaktives lonenätzen verwendet wird.\n\n10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Ätzmaske und die erste Schicht in\nein oder mehreren Ätzschritten gemeinsam oder getrennt\nvoneinander geätzt werden.\n\n11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Durchführen des mindestens\neinen Ätzschrittes zur Strukturierung des Bauteils umfassenden Verfahrens eine Strukturierung des Substratmateri-\n\nals durchgeführt wird und das strukturierte Substratmaterial\nals Ätzmaske verwendet wird.\n\n12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mit Sauerstoff, Fluor und/oder Chlor als\nreaktiver Komponente geätzt wird.\n\n13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem Edelgas der Gruppe 8 des\nPeriodensystems als physikalische Komponente geätzt\nwird.\n\n14. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass während des Ätzschrittes eine\nBiasspannung an dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n15. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 10-1000 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n16. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 250-800 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n17. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 350-700 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n18. Verfahren nach den Ansprüchen 6 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzschritt ein- oder mehrmals in unterschiedlichen oder periodischen Abständen unterbrochen\nwird.\n\n19. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass während der Unterbrechung des Ätz-\n\nschrittes eine Reinigung der Substratoberfläche, beispielsweise von Redepositionen, durchgeführt wird.\n\nIm Übrigen wird die Klage abgewiesen.\n\nDie weitergehende Berufung wird zurückgewiesen.\n\nDie Kosten des Rechtsstreits werden gegeneinander aufgehoben.\n\nVon Rechts wegen\n\nTatbestand:\n\n1 Die Beklagte ist Inhaberin des am 16. April 2004 unter Inanspruchnahme\nder Priorität einer deutschen Patentanmeldung vom 17. April 2003 angemeldeten, mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland erteilten europäischen\nPatents 1 622 826 (Streitpatent), das 23 Patentansprüche umfasst. Die nebengeordneten Ansprüche 1 und 10, auf die die Unteransprüche 2 bis 9 sowie\n11 bis 23 jeweils direkt oder indirekt rückbezogen sind, lauten in der Verfahrenssprache (Durch- und Unterstreichungen kennzeichnen die vor dem Patentgericht in erster Linie verteidigte Fassung; in eckigen Klammern und Fettdruck\ndie zusätzlichen Merkmale gemäß dem erstinstanzlichen Hilfsantrag II):\n\n\"1. Mikromechanische Uhrwerkbauteile mit einer ersten Oberfläche\nund einer hierzu als [geätzte] Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche, die aufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei\ndie erste und/oder die zweite Oberfläche zumindest bereichsweise\naus Diamant (Ci) bestehen und die die Flanke bildende zweite\n\nOberfläche eine mittlere Rauigkeit ≤ 2 µm [500 nm] aufweist und\ndass der Winkel zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche\num weniger als 2° von der Senkrechten abweicht.\"\n\n\"10. Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Uhrwerkbauteils nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer ersten\nOberfläche und einer hierzu als [geätzte] Flanke ausgebildeten\nzweiten Oberfläche, die aufeinander im Wesentlichen senkrecht\nstehen, wobei die erste und/oder die zweite Oberfläche zumindest\nbereichsweise aus Diamant (Ci) bestehen und die die Flanke bildende zweite Oberfläche eine mittlere Rauigkeit ≤ 2 µm [500 nm]\naufweist und dass der Winkel zwischen der ersten und der zweiten\nOberfläche um weniger als 2° von der Senkrechten abweicht, mit\nden folgenden Schritten:\n\na) Abscheiden einer ersten Schicht aus Diamant (Ci) auf einem\nSubstratmaterial,\n\nb) Strukturieren einer Kante zwischen der ersten und der die\nFlanke bildenden zweiten Oberfläche durch mindestens einen\nÄtzschritt unter Verwendung einer Ätzmaske auf der ersten\nOberfläche, welche getrennt von der ersten Schicht oder\ngleichzeitig mit der ersten Schicht geätzt wird, wobei das Verhältnis der Ätzgeschwindigkeiten von erster Schicht und Ätzmaske derart eingestellt wird, dass zwischen der ersten und\nder zweiten Oberfläche eine im Wesentlichen rechtwinklige\nKante ausgebildet wird.\"\n\n2 Die Klägerin hat mit ihrer Nichtigkeitsklage beantragt, das Streitpatent für\nnichtig zu erklären, und dafür geltend gemacht, sein Gegenstand sei nicht so\ndeutlich und vollständig offenbart, dass ein Fachmann die Erfindung ausführen\nkönne, und auch nicht patentfähig. Die Beklagte hat das Streitpatent in den vor-\n\nstehend wiedergegebenen Fassungen und hilfsweise in weiteren beschränkten\nFassungen verteidigt.\n\n3 Das Patentgericht hat das Streitpatent für nichtig erklärt. Mit ihrer dagegen eingelegten Berufung, deren Zurückweisung die Klägerin beantragt, verteidigt die Beklagte das Streitpatent in einer im Wesentlichen ihrem erstinstanzlichen Hilfsantrag II entsprechenden und hilfsweise in der aus dem Tenor ersichtlichen Fassung.\n\nEntscheidungsgründe:\n\n4 I. 1. Das Streitpatent betrifft mikromechanische Uhrwerkbauteile wie\nZahnräder, Unruh, Feder oder Zeiger, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung.\nSeiner Beschreibung zufolge sind solche herkömmlicherweise aus Metall oder\nanderen Festkörpern gearbeiteten mikromechanischen Bauteile in für den Einsatz in Uhren erforderlichen Abmessungen zwar bereits aus Diamant erzeugt\nworden; es sei aber bisher nicht gelungen, diese Teile so zu produzieren, dass\nsie für den Einsatz in einem mikromechanischen Getriebe wie in einem Uhrwerk\ngeeignet seien. Beim Ausschneiden der gewünschten Formen aus zunächst auf\nein Substrat abgeschiedenen Diamantschichten mittels eines bestimmten Laser-Verfahrens entstünden an den Oberflächen überaus raue Schnittflächen,\ndie aufgrund der thermischen Wirkung des Lasers zudem nicht senkrecht auf\nder flächig ausgedehnten Scheibenoberfläche stünden.\n\n5 Zur Verbesserung schlägt das Streitpatent, merkmalsmäßig in der patentgerichtlichen Nummerierung gegliedert, das folgende mikromechanische\nUhrwerkbauteil (Patentanspruch 1 in der zuletzt verteidigten Fassung; in Fett-\n\ndruck gemäß Hilfsantrag hinzugefügtes Merkmal) und ein Verfahren zu dessen\nHerstellung (Patentanspruch 6) vor:\n\nPatentanspruch 1:\n\n1.1 Mikromechanisches Uhrwerkbauteil bestehend aus Diamant mit\n1.2 einer ersten Oberfläche und einer hierzu als geätzte Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche,\n1.3 die zueinander im Wesentlichen senkrecht stehen,\n1.6 und zwar so, dass der Winkel zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche um weniger als 2° von der Senkrechten abweicht.\n1.4 Die erste und die zweite Oberfläche bestehen aus Diamant (Ci).\n1.5 Die die geätzte Flanke bildende zweite Oberfläche weist eine mittlere Rauigkeit Rrms ≤ 500 nm auf.\n1.7 Die Dicke des Bauteils senkrecht zur ersten Oberfläche beträgt\nzwischen 0,5 µm und 3000 µm.\n\nPatentanspruch 6:\n\n6.1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Uhrwerkbauteils\nmit einer ersten Oberfläche und einer hierzu als geätzte Flanke\nausgebildeten zweiten Oberfläche, die aufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei die erste und die zweite Oberfläche\naus Diamant (Ci) bestehen und die die geätzte Flanke bildende\nzweite Oberfläche eine mittlere Rauigkeit von Rrms ≤ 500 nm aufweist, und dass der Winkel zwischen der ersten und der zweiten\nOberfläche um weniger als 2° von der Senkrechten abweicht und\ndass seine Dicke senkrecht zur ersten Oberfläche zwischen\n0,5 μm und 3000 μm beträgt, mit folgenden Schritten:\n6.2 Abscheiden einer ersten Schicht aus Diamant auf einem Substratmaterial;\n\n6.3 Strukturieren einer Kante zwischen der ersten und der die Flanke\nbildenden zweiten Oberfläche\n6.4 durch mindestens einen Ätzschritt\n6.5 unter Verwendung einer Ätzmaske auf der Oberfläche.\n6.6 Die Ätzmaske wird getrennt von der ersten Schicht oder gleichzeitig mit dieser geätzt.\n6.7 Das Verhältnis der Ätzgeschwindigkeiten von erster Schicht und\nÄtzmaske wird derart eingestellt, dass zwischen der ersten und\nder zweiten Oberfläche eine im Wesentlichen rechtwinklige Kante\ngebildet wird.\n\n6 2. a) Nach Merkmal 1.4 in der mit dem Hauptantrag verteidigten Fassung bestehen die erste und zweite Oberfläche aus Diamant; dies schließt nicht\naus, dass das geschützte Bauteil andere Oberflächen aufweist, für welche diese Anforderung nicht gilt. In der Fassung des Hilfsantrags ist das nach Patentanspruch 1 geschützte mikromechanische Uhrwerkbauteil ausschließlich\naus Diamant gefertigt; das Verfahren nach Patentanspruch 6 betrifft die Herstellung eines mikromechanischen Uhrwerkbauteils mit den Merkmalen von Patentanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags.\n\n7 b) Die angestrebte (möglichst) rechtwinklige Stellung der beiden\nOberflächen zueinander bei gleichzeitig verringerter Rauigkeit der zweiten\nOberfläche (Merkmal 1.5) soll in Übereinstimmung mit der Beschreibung durch\neine bestimmte verfahrensmäßige Behandlung des Bauteils erzielt werden.\nDiese kommt im Anspruch allerdings nur rudimentär dadurch zum Ausdruck,\ndass die zweite Oberfläche zur ersten Oberfläche hin als \"geätzte\" Flanke ausgebildet wird. Dafür in Betracht kommende Verfahren sind in der Beschreibung\nerläutert (Abs. 6 aE f., 25 ff.).\n\n8 Wird ein Erzeugnis durch ein Herstellungsverfahren definiert, ist Gegenstand des Patentanspruchs trotz der Umschreibung durch das Herstellungsverfahren das Erzeugnis als solches, das unabhängig von seinem Herstellungsweg\ndie Voraussetzungen für die Patentierbarkeit erfüllen muss. In dieser Art der\nUmschreibung liegt nicht zwangsläufig eine Bestimmung des Schutzes für das\nErzeugnis durch den zu seiner Kennzeichnung angegebenen Verfahrensweg\n(BGH, Beschluss vom 30. März 1993 - X ZB 13/90, BGHZ 122, 144, 154 f. =\nGRUR 1993, 651, 655 - Tetraploide Kamille; vgl. auch Urteil vom 24. März 2016\n- X ZR 47/14, Rn. 12). Vielmehr ist durch Auslegung des Anspruchs zu ermitteln, ob und inwieweit sich aus dem angegebenen Herstellungsweg durch diesen bedingte Merkmale des daraus erhaltenen Erzeugnisses ergeben, die das\nErzeugnis als anspruchsgemäß qualifizieren (BGH, Urteil vom 19. Juni 2001\n- X ZR 159/98, GRUR 2001, 1129, 1133 - Zipfelfreies Stahlband; Urteil vom\n19. Mai 2005 - X ZR 188/01, GRUR 2005, 749, 750 f. - Aufzeichnungsträger).\n\n9 Die an diesen Grundsätzen orientierte Auslegung von Patentanspruch 1\nin der Fassung des Hauptantrags ergibt, dass es nicht darauf ankommt, gerade\ndie zweite Oberfläche aus Diamant dem Verfahrensschritt der Ätzung zu unterziehen, sondern allein darauf, dass die Flanke danach in dem angestrebten\nWinkelverhältnis zur ersten Oberfläche steht und die reduzierte Oberflächenrauigkeit erreicht ist. Für dieses Verständnis spricht bereits, dass mit Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung auch Uhrwerkbauteile geschützt waren, deren\nOberflächen nur bereichsweise aus Diamant bestanden, so dass die Flanke\nnicht an einer vollflächig diamantenen Oberfläche herausgearbeitet werden\nkonnte. Hinzu kommt, dass das Verfahren der Ätzung zwar eingesetzt wird, um\nbessere Ergebnisse als mit der bekannten Laser-Technik zu erzielen, der als\nSachanspruch formulierte Anspruch 1 insoweit aber keine Merkmale enthält,\nwelche die Verwirklichung der Merkmale 1.3/1.6 und 1.5 gerade dem Einsatz\ndes Ätzverfahrens an einer Diamant-Oberfläche zuweisen.\n\n10 c) Demgegenüber ist Patentanspruch 6 aus fachmännischer Sicht,\nanders als der Sachanspruch, in Übereinstimmung mit der Beschreibung dahin\nzu verstehen, dass der Ätzschritt (Merkmal 6.4) verfahrensgemäß an einer bereits mit einer Diamantschicht versehenen Oberfläche vorgesehen ist. Dafür\nspricht schon die Abfolge der im Anspruch in Übereinstimmung mit dem erteilten (Verfahrens-)Anspruch 10 mit \"a)\" und \"b)\" untergliederten Verfahrensschritte. Danach wird zunächst auf ein Substrat eine erste Schicht aufgebracht, bei\nder es sich im Lichte der Beschreibung um die Diamantschicht handelt. Denn in\nallen Ausführungsbeispielen wird zunächst, wie aus den nachstehend eingefügten Teilabbildungen B, C und D von Figur 2\n\nersichtlich, zunächst eine Diamantschicht 2 auf eine Substratschicht 1 als Träger abgeschieden. Darüber wird eine weitere Siliciumschicht 3 aufgebracht, aus\nder Ätzmasken 3a und 3b strukturiert werden (Bild C) und entlang deren Kanten\nwird der Ätzschritt zur Herausbildung der Flanken 2a und 2b an der Diamantschicht vollzogen (Bild D). Dass die Abfolge dieser Verfahrensschritte nur bei\nausschließlich aus Diamant bestehenden Bauteilen eingehalten, das Verfahren\naber gleichsam in umgekehrter Schrittfolge durchgeführt werden soll, wenn\n(nur) die Oberflächen der Bauteile diamanten sind, ist aus fachmännischer Sicht\nnicht anzunehmen.\n\n11 II. Das Patentgericht hat seine Entscheidung, soweit für das Berufungsverfahren von Bedeutung, im Wesentlichen wie folgt begründet.\n\n12 Ein anspruchsgemäßes Uhrwerkbauteil ergebe sich für den Fachmann in\nnaheliegender Weise aus der deutschen Übersetzung (D1) der europäischen\nPatentschrift 732 635. Dieses Dokument offenbare ein mikromechanisches\nBauteil für Uhrwerke mit zwei Oberflächen aus Diamant mit einem Reibungskoeffizienten \"deutlich unter 0,1\". Dies erfülle die Vorgaben von Merkmal 1.6, weil\ndieser Reibungskoeffizient einem Wert Rrms von 30 nm entspreche.\n\n13 Die Winkelabweichung von weniger als 2° von der Senkrechten gemäß\nMerkmal 6 könne keine erfinderische Tätigkeit begründen. Durch das in D1 beschriebene anisotrope Ätzen i. V. mit einer Ätzmaske und einem \"senkrechtem\nAngriff\" (D1 S. 14 Z. 10 ff.) sei dieser Toleranzwert bei der Winkelabweichung\nvon der Senkrechten aufgrund des gleichen Verfahrensschritts prinzipiell erreichbar. Soweit es bei Anwendung des in D1 beschriebenen Verfahrens zu\nerheblichen Abweichungen von der Vertikalen durch an den Kanten der Körper\nentstehende Überstände kommen soll, ergebe sich aus dem Fachartikel von\nRangelow und H. Löschner (Reactive Ion Etching for microelectrical mechanical\n\nsystem fabrication, in J. Vac. Sci. Techn. 19952394 ff.) für ein Ätzverfahren wie\nin D1 beschrieben eine geschätzte Winkelabweichung der vertikalen Flanke von\nder Senkrechten von 2,2°. Vor diesem Hintergrund sei davon auszugehen, dass\nder zur Vermeidung von Reibungsverlusten bei Präzisionsteilen wie Uhrwerkbauteilen auf Minimierung von Toleranzen bzw. Winkelabweichungen bedachte\nFachmann am Prioritätstag die beanspruchte Winkelabweichung von der Senkrechten unterhalb von 2° erzielen konnte.\n\n14 III. Das Streitpatent ist nach ständiger Rechtsprechung ohne Sachprüfung für nichtig zu erklären, soweit es nicht mehr verteidigt wird. Es hat darüber hinaus auch in der mit dem Hauptantrag verteidigten Fassung keinen Bestand, sondern nur in dem aus dem Tenor ersichtlichen Umfang des Hilfsantrags.\n\n15 1. Der Gegenstand von Patentanspruch 1 in der Fassung des\nHauptantrags kann nicht als auf einer erfinderischen Tätigkeit beruhend gelten,\nweil er dem Fachmann durch den in D1 dokumentierten Stand der Technik nahegelegt war (Art. 56 EPÜ).\n\n16 a) Der nach den patentgerichtlichen Feststellungen zum Diplom-Ingenieur der Werkstoff- bzw. Fertigungstechnik mit Hochschulabschluss ausgebildete und über mehrjährige Erfahrung auf dem Gebiet der Oberflächenbearbeitung von feinmechanischen Bauteilen verfügende Fachmann soll nach Ansicht der Klägerin zudem über mehrjährige Erfahrung auf dem Gebiet der Bearbeitung von Diamantwerkstoffen verfügen. Dafür liegen indes keine zureichenden Anhaltspunkte vor. Der Einsatz von Diamant auf dem Gebiet der mikromechanischen Uhrwerkbauteile war zwar ausweislich der Beschreibung des Streitpatents am Prioritätstag bekannt. Daraus ergibt sich aber lediglich, dass der\nFachmann sich der Einsatzmöglichkeiten dieses Werkstoffs auf seinem Gebiet\n\nbewusst war und bei erkanntem Bedarf einen Spezialisten für den Werkstoff\nDiamant hinzugezogen hätte.\n\n17 b) Nach den Feststellungen des Patentgerichts lassen sich mit dem\nin D1 offenbarten Verfahren mikromechanische Uhrwerkbauteile mit aus Diamant bestehenden Oberflächen herstellen, deren Rauigkeitsgrad ganz erheblich unter dem oberen Grenzwert des mit Merkmal 1.5 beanspruchten Bereichs\nliegt.\n\n18 aa) Allerdings werden nach der Lehre von D1 nicht die diamantenen\nOberflächen dem Ätzschritt unterzogen, sondern die in dem Dokument als erstes kristallines Basismaterial bezeichneten, vorzugsweise aus ein- oder polykristallinem Silicium oder Siliciumoxid bzw. -nitirid, Molybdän, Germanium\noder speziell kristallisiertem oder gesintertem Aluminiumoxid (D1 S. 2 Z. 22 ff.)\nhergestellten Grundkörper, auf die anschließend in näher beschriebenen Heizdraht- oder Mikrowellenplasmaverfahren eine Schicht aus einem härteren Material wie Diamant abgeschieden wird. Lediglich in einer kursorisch beschriebenen alternativen Ausführungsform wird das Überzugmaterial aus Diamant vor\nder Formgebung durch das lithografische Strukturierungsverfahren aufgebracht\nund danach dem Ätzschritt unterzogen. Dies betrifft aber nur eine im Verhältnis\nzur Gesamtstärke der Teile (zwischen 100 und 200 μm) zu vernachlässigende\nSchicht auf Ober- und gegebenenfalls Unterseite zwischen 0,1 und 3 μm (Beschreibung S. 7 Z. 30 f. übergreifend).\n\n19 Diese Abweichungen in der Verfahrensführung rechtfertigen keine abweichende Beurteilung der Patentfähigkeit von Patentanspruch 1, weil dieser\nals Sachanspruch nicht voraussetzt, dass gerade diamantene Oberflächen dem\nÄtzschritt unterzogen werden, sondern lediglich, dass die angestrebte Winkel-\n\ngenauigkeit und der erwünschte reduzierte Rauigkeitsgrad unter Einsatz dieser\nArt der Oberflächengestaltung erzielt wird (oben Rn. 9).\n\n20 bb) Die Beklagte hat in der mündlichen Verhandlung bestimmte mit\ndem Verfahren nach D1 angeblich nicht erzielbare Vorzüge in der Oberflächenbeschaffenheit von streitpatentgemäßen Bauteilflanken beschrieben. Die streitpatentgemäße Herstellung sei insoweit überlegen, als die Diamantschicht bei\nAufbringen auf die geätzte Siliciumflanke nach D1 ungerichtet und durch eine\nsehr schwache Oberflächenterminierung gekennzeichnet und die entstehende\nFlanke zudem nachteilig wasserstoffterminiert sei und sich außerdem bei Reibkontakt verändere. Demgegenüber sei die streitpatentgemäß geätzte Kante\nkonturentreu konserviert und sauerstoff- bzw. fluorterminiert und bei hydrophiler\nOberfläche sehr stabil sowie von sehr hoher Oberflächenspannung, vorteilhafter\nÖlhaltung und gerichteter Oberflächenstruktur. Dieses Vorbringen, das durch\nschriftsätzlichen Vortrag in der Berufungsbegründung, spätestens in der Replik\n(§ 117 i. V. mit § 112 Abs. 3 Nr. 2c PatG, §§ 530, 296 Abs. 1 ZPO) in den\nRechtsstreit einzuführen gewesen wäre, stellt die Richtigkeit und Vollständigkeit\nder patentgerichtlichen Feststellungen nicht infrage, insbesondere nicht, dass\nmit dem in D1 offenbarten Verfahren Rauigkeitswerte unterhalb des mit Patentanspruch 1 beanspruchten Grenzwertes von höchstens Rrms 500 nm erzielt\nwerden. Die vermeintlichen zusätzlichen Vorzüge können für die Beurteilung\nder Patentfähigkeit schon deshalb nicht unterscheidend herangezogen werden,\nweil die zusätzlichen stofflichen Merkmale in Patentanspruch 1 und auch in der\nBeschreibung nicht erwähnt sind und das Ätzverfahren (\"geätzte Flanke\") jedenfalls im Anspruch nicht hinreichend spezifiziert ist.\n\n21 c) Die Berufung beanstandet auch zu Unrecht, dass das Patentgericht die Erzielung einer Winkelabweichung der vertikalen Flanke von weniger\n\nals 2° von der Senkrechten nicht als Ergebnis einer erfinderischen Tätigkeit anerkannt hat.\n\n22 Der Privatgutachter R. der Beklagten hat aufgezeigt, dass in dem\nim patentgerichtlichen Urteil erwähnten Fachbeitrag von Rangelow und Löschner mit dem in D1 angewandten RIE-Verfahren (reactive ion etching) einerseits\nbeim vertikalen Ätzen Abweichungen von (nur) 0,1 µm bei einer Strukturhöhe\nvon 100 µm gezeigt würden, dass sich aber beim Ätzen Temperaturschwankungen auswirken und Abweichungen von der Senkrechten (Überstände) insbesondere an der Strukturober- und -unterkante herbeiführen könnten. Die aus\nFigur 7b des genannten Beitrags ersichtlichen, durch Wärmeeinfluss bedingten\nAbweichungen von der Senkrechten hat der Gutachter auf mindestens 2,2° geschätzt und mit Blick auf diese Zusammenhänge darauf hingewiesen, dass die\nBesonderheiten des in D1 vorgeschlagenen Verfahrens, nämlich die Anordnung\nder Basisplatte 20 oberhalb einer mit Aushöhlungen oder Durchbrechungen\nversehenen Trägerplatte 10 (vgl. Figur 1 in D1) und die daraus resultierende\nungenügende thermische Ankopplung unterschiedliche Temperaturen des Basismaterials hervorrufen und die Winkelgenauigkeit der senkrechten Flanke beeinträchtigen könnten (Gutachten R. S. 4).\n\n23 Das Patentgericht hat auf der Grundlage der vom Gutachter geschätzten\nAbweichung angenommen, dass am Prioritätstag des Streitpatents dennoch\neine Abweichung von weniger als 2° erreicht werden konnte. Konkrete Zweifel\nan der Richtigkeit und Vollständigkeit der diesbezüglichen, von der Fachkunde\nseiner technischen Richter getragenen Feststellungen bestehen mit Blick auf\ndie allgemein technisch möglichen Verbesserungen der Prozessabläufe auch\nauf diesem Gebiet in den mehr als sieben Jahren zwischen der Veröffentlichung\ndes Beitrags von Ramelow und Löschner und dem Prioritätstag des Streitpatents und angesichts der vielfältigen Modifikationsmöglichkeiten bei der Einstel-\n\nlung der zahlreichen den Ätzprozess beeinflussenden Parametern wie insbesondere Druck, Temperatur, Gaszusammensetzung elektrische Feldstärke,\n-richtung und -frequenz (vgl. Gutachten W. S. 3) nicht.\n\n24 Vor diesem Hintergrund hält die Schlussfolgerung des Patentgerichts,\nder Fachmann habe aufgrund der Offenbarung in D1 Anlass gehabt, dieses\nVerbesserungspotential zu nutzen, der Überprüfung im Berufungsverfahren\nstand.\n\n25 2. Patentanspruch 1 hat aber in der mit dem Hilfsantrag verteidigten\nFassung Bestand, in der das mikromechanische Bauteil (massiv) aus Diamant\nbesteht.\n\n26 a) aa) Dieser Gegenstand ist durch D1 nicht nahegelegt. Nach deren\nLehre ist die geätzte Flanke, wie ausgeführt, an einem Korpus vorzugsweise\naus ein- oder polykristallinem Silicium oder ähnlichen kristallinen Materialien\nausgebildet, auf den anschließend Diamant abgeschieden wird (oben Rn. 18).\nEine hinreichend konkrete Anregung dafür, stattdessen an einem aus massivem Diamant hergestellten Körper eine geätzte Flanke auszubilden, gibt D1\nnicht und schon in Anbetracht der Unterschiede in den Materialeigenschaften\n(vgl. etwa die Veröffentlichung der internationalen Anmeldung WO 99/37437 [im\nFolgenden: D4] S. 1 Z. 20 ff.) kann auch nicht davon ausgegangen werden,\ndass der Fachmann das Bauteil nur aufgrund seines Fachwissens statt aus Silicium aus Diamant gebildet hätte, zumal er sich dann vollständig von dem in D1\nbeschriebenen Verfahren hätte lösen müssen. Eine hinreichend konkrete Anregung gibt insoweit auch nicht der Hinweis in D1 auf die erwähnte alternative\nVerfahrensführung, bei der die Ober- und gegebenenfalls auch die Unterseite\ndes Siliciumkörpers vor dem Ätzschritt mit einer Diamantschicht versehen wird.\nDies mag aus fachmännischer Sicht gegebenenfalls vorteilhaft erscheinen,\n\nwenn es nur darauf ankommt, dass diese Flächen diamanten überzogen sind.\nZu einer Weiterentwicklung dieser Verfahrensvariante dahin, zuerst die gesamten Flanken zu überziehen und anschließend zu ätzen, regt dies aber nicht an.\n\n27 bb) Auch D4 legt den Gegenstand von Patentanspruch 1 in der Fassung des Hilfsantrags nicht nahe.\n\n28 D4 betrifft spezielle Schneidwerkzeuge, beispielsweise Skalpelle für bestimmte augenchirurgische Eingriffe (Beschreibung S. 10) und Verfahren zu\nihrer Herstellung. Sie werden zwar ebenfalls (ausschließlich) aus Diamant gefertigt; die der als Flanke ausgebildeten Oberfläche des Uhrwerkbauteils entsprechende Schneidkante wird aber entsprechend dem Einsatzzweck als\nSchneidwerkzeug mit hoher Schärfe (D4 S. 2 Z. 31 ff.) spitzwinklig - in der Diktion des Dokuments: mit abnehmender Schichtdicke - hergestellt. Mikromechanische Uhrwerkbauteile sollen dagegen als Bestandteile eines Uhrwerkmechanismus mechanisch zusammenwirken und dafür an bestimmten Berührungsflächen in möglichst reibungslosen Kontakt treten. Dazu muss die Flanke möglichst senkrecht zur ersten Oberfläche stehen. In D4 ist keine hinreichend konkrete, zu solchen Gegenständen führende fachliche Anregung zu sehen. Das\ngilt unbeschadet des Umstands, dass die tabellarisch festgehaltenen Messwerte für die Anwendung des dortigen Verfahrens bei einer bestimmten Einstellung\nder Prozessparameter einen Winkel von 90° ausweisen. Auch dieser Messwert\nist im Zusammenhang mit einem Verfahren zur Herstellung von Schneidkanten\nmit abnehmender Schichtdicke ermittelt worden und es kann nicht angenommen werden, dass der Fachmann dadurch eine zum Gegenstand von Patentanspruch 1 hinführende Anregung erhielt.\n\n29 b) Die Klägerin macht geltend, das Streitpatent offenbare hinsichtlich des\nRauigkeitsgrades (Merkmal 1.5) den Gegenstand der Erfindung nicht so deutlich und vollständig, dass ein Fachmann diese ausführen kann (Art. 138 Abs. 1\nBuchst. b EPÜ). Sie vermag aber, was ihr als Klägerin obliegt, die tatsächlichen\nVoraussetzungen dieses Nichtigkeitsgrundes nicht darzulegen.\n\n30 Soweit in D4 lediglich eine Oberflächenrauigkeit von weniger als 5 µm\nbeschrieben ist, während es beim Streitpatent um eine solche von unter 500 nm\ngeht, kann schon nicht ohne Weiteres davon ausgegangen werden, dass der in\nD4 beschriebene Wert den am Prioritäts- oder Anmeldetag dieses Dokuments\nfeinsten technisch herstellbaren Rauigkeitsgrad für Diamantoberflächen darstellte. Es ist zudem nicht ersichtlich, dass der Fachmann die in D4 und anderen Entgegenhaltungen (Krauss et al.: Ultrananocrystalline diamond thin films for\nMEMS and moving mechanical assembly devices, in Diamond and Related Materials\n10 (2001) S. 1952 ff. [D2]; Erdemir et al.: Tribological properties of nanocrystalline diamond films, in Surface and Coatings Technology 120-121 (1999) S. 565 ff. [D3]) angegebenen Parameter nicht so einstellen konnte, dass sich der in Merkmal 3 vorgegebene Wert ergab.\n\n31 3. Mit Patentanspruch 1 in der Fassung des Hilfsantrags haben die darauf rückbezogenen Unteransprüche 2 bis 5 Bestand. Das gilt auch für Unteranspruch 4, dessen Gegenstand hinsichtlich der zumindest bereichsweisen\nelektrischen Dotierung entgegen der Ansicht der Klägerin so deutlich und vollständig offenbart ist, dass ein Fachmann die Erfindung ausführen kann.\n\n32 Dass das Streitpatent insoweit kein Ausführungsbeispiel enthält, ist für\nsich unschädlich (BGH, Urteil vom 13. Juli 2010 - Xa ZR 126/07, GRUR 2010,\n916 - Klammernahtgerät). Dafür, dass die nach dem Vorbringen der Beklagten\nam Prioritätstag bekannte Dotierung von Diamantschichten den Fachmann vor\n\nProbleme gestellt hätte, die er nicht ohne erfinderische Tätigkeit aufzuwenden\nbewältigen konnte, ist nichts Konkretes vorgetragen und auch nichts ersichtlich.\nBereits die über vier Jahre vor Anmeldung des Streitpatents veröffentlichte D4\nschlägt - im dort formulierten Patentanspruch 9 - eine dotierte Diamantschicht\nvor.\n\n33 4. Bestand hat auch der auf ein Herstellungsverfahren gerichtete Patentanspruch 6 in der Fassung des Hilfsantrags, die mit derjenigen des Hauptantrags deckungsgleich ist.\n\n34 a) Der Gegenstand dieses Anspruchs ist neu.\n\n35 aa) Das Verfahren nach Patentanspruch 6 ist gegenüber D1 neu, weil\nder Ätzschritt (Merkmal 6.4) beim dort beschriebenen Verfahren an einem Korpus aus ein- oder polykristallinem Silicium oder ähnlichen Materialien (oben\nRn. 18) erfolgt und nicht an Oberflächen aus Diamant.\n\n36 bb) Gegenüber dem Gegenstand von D4 ist die Lehre von Patentanspruch 6 neu, weil D4 lediglich Verfahren zur Herstellung einer Schneidkante\nmit einem Profil abnehmender Schichtdicke offenbart. Soweit, wie erwähnt, im\nRahmen einer tabellarischen Zusammenstellung für eine bestimmte Einstellung\nder Prozessparameter ein Winkel von 90° angegeben ist, erfüllt dies nicht die in\nder Rechtsprechung des Bundesgerichtshofs in Übereinstimmung mit den Beschwerdekammern des Europäischen Patentamtes gestellte Anforderung einer\nunmittelbaren und eindeutigen Offenbarung des patentierten Gegenstands.\n\n37 b) Nach dem gesamten Inhalt der Verhandlungen (§ 286 ZPO) kann\nnicht die Wertung getroffen werden, dass der Gegenstand von Patentanspruch 6 sich für den Fachmann in naheliegender Weise aus dem Stand der\nTechnik ergeben hätte.\n\n38 aa) Das in D1 offenbarte Verfahren sieht für die Herstellung möglichst\nglatter Flächen von mikromechanischen Bauteilen zwar wie das Streitpatent die\nSchritte der Ätzung und der Aufbringung einer Diamantschicht vor. Die dafür\nvorgesehenen Verfahren sind jedoch, wie ausgeführt, konträr angelegt, weil\nnach D1 ein Korpus geätzt und dann mit Diamant überzogen wird, während\nnach Patentanspruch 6 mit Diamant überzogene Oberflächen durch einen Ätzschritt behandelt werden. Eine Anregung für dieses Verfahren bietet D1 nicht,\nund zwar auch nicht mit dem dort kursorisch erwähnten alternativen Verfahren\n(oben Rn. 26).\n\n39 Dass mit dem Verfahren nach D1 - unbeschadet einer eventuellen Oberflächengestaltung minderer Qualität (oben Rn. 20) - Rauigkeitswerte sogar\ndeutlich unterhalb der Obergrenze des vom Streitpatent zuletzt beanspruchten\nBereichs (ab 500 nm) erzielbar sein sollen, ist für die Beurteilung der Patentfähigkeit von Patentanspruch 6 ohne Einfluss, weil es dafür unerheblich ist, wenn\nein neuer und auf erfinderischer Tätigkeit beruhender Gegenstand im Vergleich\nzum Stand der Technik keinen erkennbaren Vorteil bietet (BGH, Beschluss vom\n30. Juni 2015 - X ZB 1/15, GRUR 2015, 983 - Flugzeugzustand).\n\n40 bb) Aus den bereits genannten Gründen (oben Rn. 28) bietet auch\ndas in D4 offenbarte Verfahren zur Gestaltung von Schneidwerkzeugen keine\nhinreichend konkrete Anregung für ein Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Uhrwerkbauteilen mit den Merkmalen von Patentanspruch 6.\n\n41 IV. Die Kostenentscheidung beruht auf § 121 Abs. 2 Satz 2 PatG i. V. mit\n§ 92 Abs. 1, § 97 Abs. 1 ZPO.\n\nBacher Gröning Grabinski\n\nHoffmann Kober-Dehm\n\nVorinstanz:\nBundespatentgericht, Entscheidung vom 30.05.2014 - 2 Ni 14/12 (EP) -","source":null,"source_url":null,"url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2016-09-29/x-zr-58-14","cited_norms":[{"jurabk":"PatG","ref":"§ 112","ref_norm":"112","n":1},{"jurabk":"PatG","ref":"§ 121","ref_norm":"121","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 97","ref_norm":"97","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 286","ref_norm":"286","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 296","ref_norm":"296","n":1},{"jurabk":"ZPO","ref":"§ 530","ref_norm":"530","n":1}],"authoritative_source":null,"attribution":null,"source_info":{"name":"nu:legal Deutsches Recht","operator":"Nulegal GmbH","terms":"https://recht.nulegal.eu/nutzungsbedingungen","attribution":"Source: nu:legal – recht.nulegal.eu","license_url":"https://recht.nulegal.eu/license","url":"https://recht.nulegal.eu/rechtsprechung/bgh/2016-09-29/x-zr-58-14","retrieved":"2026-10-24 08:01:29.676897+00:00"},"card":{"id":"bgh/2016-09-29/x-zr-58-14","court":"BGH","court_id":"bgh","court_as_stated":"BGH","panel":"10. 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Mikromechanisches Uhrwerkbauteil bestehend aus Diamant, mit einer ersten Oberfläche und einer hierzu als geätzte Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche, die aufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei die erste\nund die zweite Oberfläche aus Diamant (Ci) bestehen und\ndie die geätzte Flanke bildende zweite Oberfläche eine mittlere Rauigkeit Rrms ≤ 500 nm aufweist, der Winkel zwischen\nder ersten und der zweiten Oberfläche um weniger als 2°\nvon der Senkrechten abweicht und seine Dicke senkrecht\nzur ersten Oberfläche zwischen 0,5 µm und 3000 µm beträgt.\n\n2. Uhrwerkbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,\ndass seine Stärke in Richtung der zweiten Oberfläche zwischen 10 µm und 500 µm beträgt.\n\nECLI:DE:BGH:2016:290916UXZR58.14.0\n\n3. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass seine Stärke in Richtung der zweiten Oberfläche zwischen 30 µm und 200 µm\nbeträgt.\n\n4. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil in seinem\nInnern, seine erste und zweite Oberfläche aus Diamant besteht und zumindest bereichsweise elektrisch leitend dotiert\nist.\n\n5. Uhrwerkbauteil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Zahnrad, Unruh,\nFeder, Ziffernblatt, Lagerstein, Wellen, Grundplatte, Blocker, Hemmung und/oder Zeiger ist.\n\n6. Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Uhrwerkbauteils mit einer ersten Oberfläche und einer hierzu\nals geätzte Flanke ausgebildeten zweiten Oberfläche, die\naufeinander im Wesentlichen senkrecht stehen, wobei die\nerste und die zweite Oberfläche aus Diamant (Ci) bestehen\nund die die geätzte Flanke bildende zweite Oberfläche eine\nmittlere Rauigkeit Rrms ≤ 500 nm aufweist, der Winkel zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche um weniger\nals 2° von der Senkrechten abweicht und seine Dicke senkrecht zur ersten Oberfläche zwischen 0,5 µm und 3000 µm\nbeträgt, mit den folgenden Schritten:\n\na) Abscheiden einer ersten Schicht aus Diamant (Ci) auf\neinem Substratmaterial,\n\nb) Strukturieren einer Kante zwischen der ersten und der\ndie Flanke bildenden zweiten Oberfläche durch mindestens einen Ätzschritt unter Verwendung einer Ätzmaske\nauf der ersten Oberfläche, welche getrennt von der ersten Schicht oder gleichzeitig mit der ersten Schicht geätzt wird, wobei das Verhältnis der Ätzgeschwindigkeiten von erster Schicht und Ätzmaske derart eingestellt\nwird, dass zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche eine im Wesentlichen rechtwinklige Kante ausgebildet wird.\n\n7. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass der Ätzschritt trockenchemisch unter\nZuhilfenahme eines Plasmas durchgeführt wird.\n\n8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass\nder Ätzschritt eine reaktive und/oder physikalische Komponente enthält.\n\n9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass\nbei dem Ätzschritt reaktives lonenätzen verwendet wird.\n\n10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Ätzmaske und die erste Schicht in\nein oder mehreren Ätzschritten gemeinsam oder getrennt\nvoneinander geätzt werden.\n\n11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Durchführen des mindestens\neinen Ätzschrittes zur Strukturierung des Bauteils umfassenden Verfahrens eine Strukturierung des Substratmateri-\n\nals durchgeführt wird und das strukturierte Substratmaterial\nals Ätzmaske verwendet wird.\n\n12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mit Sauerstoff, Fluor und/oder Chlor als\nreaktiver Komponente geätzt wird.\n\n13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem Edelgas der Gruppe 8 des\nPeriodensystems als physikalische Komponente geätzt\nwird.\n\n14. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass während des Ätzschrittes eine\nBiasspannung an dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n15. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 10-1000 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n16. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 250-800 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n17. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass eine Biasspannung von 350-700 Volt\nan dem Substrat anliegt bzw. angelegt wird.\n\n18. Verfahren nach den Ansprüchen 6 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzschritt ein- oder mehrmals in unterschiedlichen oder periodischen Abständen unterbrochen\nwird.\n\n19. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch\ngekennzeichnet, dass während der Unterbrechung des Ätz-\n\nschrittes eine Reinigung der Substratoberfläche, beispielsweise von Redepositionen, durchgeführt wird.\n\nIm Übrigen wird die Klage abgewiesen.\n\nDie weitergehende Berufung wird zurückgewiesen.\n\nDie Kosten des Rechtsstreits werden gegeneinander aufgehoben.","basis":"court_formula","source":null},"tenor_status":"held","cited_norms":[{"id":"PatG/112","law":"PatG","abbreviation":"PatG","ref":"112","label":"§ 112 PatG","mentions":1},{"id":"PatG/121","law":"PatG","abbreviation":"PatG","ref":"121","label":"§ 121 PatG","mentions":1},{"id":"ZPO/97","law":"ZPO","abbreviation":"ZPO","ref":"97","label":"§ 97 ZPO","mentions":1},{"id":"ZPO/286","law":"ZPO","abbreviation":"ZPO","ref":"286","label":"§ 286 ZPO","mentions":1},{"id":"ZPO/296","law":"ZPO","abbreviation":"ZPO","ref":"296","label":"§ 296 ZPO","mentions":1},{"id":"ZPO/530","law":"ZPO","abbreviation":"ZPO","ref":"530","label":"§ 530 ZPO","mentions":1}],"cited_norms_basis":"extracted_from_text","normenkette":null,"proceeding":{"entries":[],"has_records":false,"note":"No Verfahrensgang record names this decision. 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