Die Verfahrenskosten fallen dem Antragsteller oder dem Begünstigten zur Last. Kosten, die infolge unzulässiger oder unbegründeter Antragstellung oder Einwendungen oder im Falle eines Entschädigungsverfahrens durch wesentlich überhöhte Entschädigungsforderungen entstanden sind, sind demjenigen aufzuerlegen, der diese Einwendungen oder diese Entschädigungsforderung erhoben hat. Kosten für Ausgleichsverfahren regeln sich nach § 104 Satz 2.