Die Prüfung gliedert sich in die Prüfungsteile:
1.
Betriebliche Mikrotechnologie-Prozesse,
2.
Mikrotechnologie-Fachaufgaben,
3.
Mitarbeiterführung und Personalmanagement.
Die einzelnen Prüfungsteile können in beliebiger Reihenfolge geprüft werden; dabei ist mit dem letzten Prüfungsteil spätestens zwei Jahre nach dem ersten Prüfungstag des ersten Prüfungsteils zu beginnen.